Electrical charging property of Au nano-particles in a SiON dielectric layer

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 48, Issue 6, 2006, Pages 1552-1555

  Lee, Min Seung ^a   Kim, Jae Hoon ^a   Kim, Eun Kyu ^a   Kim, Won Mok ^b  

^a Hanyang University   (South Korea)

^b Korea Institute of Science and Technology   (South Korea)

Author keywords

Au SiON; Nano floating gate memory; Nano particle; Non volatile memory

Indexed keywords

EID: 33746103664     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (18)

1. S. Tiwari, F. Rana, H. Hanafi, A. Hartstein, E. F. Crabbe and K. Chan, Appl. Phys. Lett. 68, 1377 (1996).
2. Y. Shi, K. Saito, H. Ishikuro and T. Hiramoto, J. Appl. Phys. 84, 2358 (1998).
3. E. Kapetanakis, P. Normand, D. Tsoukalas, K. Beltsios, J. Stoemenos, S. Zhang and J. van den Berg, Appl. Phys. Lett. 77, 3450 (2000).
4. Y. Kim, K. H. Park, T. H. Chung, H. J. Bark, J.-Y. Yi, W. C. Choi, E. K. Kim, J. W. Lee and J. Y. Lee, Appl. Phys. Lett. 78, 934 (2001).
5. A. I. Kingon, J. P. Maria and S. K. Streiffer, Nature (London) 406, 1032 (2000).
6. G. Lucovsky, Y. Wu, H. Niimi, V. Misra and J. C. Phillips, Appl. Phys. Lett. 74, 2005 (1999).
7. H. Iwai and S. Ohmi, Microelectron. Reliabil, 42, 465 (2002).
8. H. C. Lu, E. P. Gusev, T. Gustafsson, E. Garfunkel, M. L. Green, D. Brasen and L. C. Feldman, Appl. Phys. Lett. 69, 2713 (1996).
9. H. C. Lu, E. P. Gusev, T. Gustafsson and E. Garfunkel, J. Appl. Phys. 81, 6992 (1997).
10. P. Poveda and A. Glachant, Surface Science 323, 258 (1995).
11. L. Pinard and J. M. Mackowski, Appl. Opt. 36, 5451 (1997).
12. H. J. Yang, H. M. Lee, J. Y. Kim, J. H. Lee, J. G. Lee, B. S. Cho, C. O. Jeong, K. H. Chung, C. M. Lee and H. N. Hong, J. Korean Phys. Soc. 45, 1263 (2004).
13. D. M. Brown, P. V. Gary, F. K. Heumann, H. R. Philipp and E. A. Taft, J. Electrochem. Soc. 115, 311 (1968).
14. L. He, T. Inokuma and S. Hasegawa, Jpn. J. Appl. Phys. 35, 1503 (1996).
15. V. A. Grisenko, N. D. Dikovskaja and K. P. Mogilnikov, Thin Solid Films 51, 353 (1978).
16. Taeho Lee, Han-Kyoung Ko, Youngsoon Kim, Jinho Ahn, Young-Bae Kim, Kwang Su Kim and Duck-Kyun Choi, J. Korean Phys. Soc. 45, 1308 (2004).
17. J. H. Kim, E. K. Kim, M. S. Song, Y.-H. Kim and J. Kim, J. Korean Phys. Soc. 45, 795 (2004).
18. P. H. Yeh, H. H. Wu, L. J. Chen, P. T. Liu, C. H. Hsu and T. C. Chang, J. Vac. Sci. Technol. A 23, 851 (2005).