Microfabrication using elastomeric stamp deformation

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 110, Issue 24, 2006, Pages 11986-11990

  Fan, Xiaojuan ^a   Tran, Dat T ^a   Brennan, Daniel P ^a   Oliver, Scott R J ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALCOHOLS; DEFORMATION; ELASTOMERS; FEATURE EXTRACTION; LITHOGRAPHY; NANOTECHNOLOGY; POLYMERS; PROTEINS; SELF ASSEMBLY; STAMPING; THIN FILMS;

CONTACT PRINTING (CP); METAL THIN-FILM PATTERNS; MICROFABRICATION; STRAIGHT-EDGED FEATURES;

MONOLAYERS;

EID: 33745794891     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp054519z     Document Type: Article

References (31)

1. Shinjo, T.; Okuno, T.; Hassdorf, R.; Shigeto, K.; Ono, T. Science 2000, 289, 930.
2. Painter, O.; Lee, R. K.; Scherer, A.; Yariv, A.; O'Brien, J. D.; Dapkus, P. D.; Kim, I. Science 1999, 284, 1819.
3. Colombelli, R.; Srinivasan, K.; Troccoli, M.; Painter, O.; Gmachl, C. F.; Tennant, D. M.; Sergent, A. M.; Sivco, D. L.; Cho, A. Y.; Capasso, F. Science 2003, 302, 1374.
4. Ohtera, Y.; Ohkubo, H.; Miura, K.; Sato, T.; Kawashima, T.; Kawakami, S. Opt. Eng. 2004, 43, 1022.
5. Choi, H. W.; Jeon, C. W.; Dawson, M. D. J. Cryst. Growth 2004, 268, 527.
6. Demers, L. M.; Ginger, D. S.; Park, S.-J.; Li, Z.; Chung, S.-W.; Mirkin, C. A. Science 2002, 296, 1836.
7. Okazaki, S. J. Vac. Sci. Technol. B 1991, 9, 2829.
8. Jeong, H. J.; Markle, D. A.; Owen, G.; Pease, F.; Grenville, A.; von Bünau, R. Solid State Technol. 1994, 37, 39.
9. Pease, R. F. W. J. Vac. Sci Technol. B 1992, 10, 278.
10. Brambley, D.; Martin, B.; Prewett, P. D. Adv. Mater Opt. Electron. 1994, 4, 55.
11. Steingrüber, R.; Golka, S.; Heidrich, H. Microelectron. Eng. 2003, 67-68, 157.
12. Arshak, K.; Mihov, M. J. Optoelectron. Adv. Mater. 2005, 7, 193.
13. Piner, R. D.; Zhu, J.; Xu, F.; Hong, S.; Mirkin, C. A. Science 1999, 285, 661.
14. Kumar, A.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002.
15. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. 1998, 37, 550.
16. Tien, J.; Nelson, C. M.; Chen, S. S. PNAS 2002, 99, 1758.
17. Tan, L.; Kong, Y. P.; Bao, L.-R.; Huang, X. D.; Guo, L. J.; Pang, S. W.; Yee, A. F. J. Vac. Sci. Technol. B 2003, 21, 2742.
18. Rogers, J. A.; Bao, Z.; Baldwin, K.; Dodabalapur, A.; Crone, B.; Raju, V. R.; Kuck, V.; Katz, H.; Amundson, K.; Ewing, J.; Drzaic, P. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2001, 98, 4835.
19. Loo, Y.-L.; Willett, R. L.; Baldwin, K. W.; Rogers, J. A. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 562.
20. Loo, Y.-L.; Willett, R. L.; Baldwin, K. W.; Rogers, J. A. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 7654.
21. Loo, Y.-L.; Hsu, J. W. P.; Willett, R. L.; Baldwin, K. W. West, K. W.; Rogers, J. A. J. Vac. Sci. Technol. B 2002, 20, 2853.
22. Loo, Y.-L.; Lang, D. V.; Rogers, J. A.; Hsu, J. W. P. Nano Lett. 2003, 7, 913.
23. Zaumseil, J.; Meitl, M. A.; Hsu, J. W. P.; Acharya, B. R.; Baldwin K. W.; Loo, Y.-L.; Rogers, J. A. Nano Lett. 2003, 9, 1223.
24. Gates, B. S.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 14986.
25. Delamarche, E.; Schmid, H.; Michel, B.; Biebuyck, H. Adv. Mater. 1997, 9, 741.
26. Sharp, K. G.; Blackman, G. S.; Glassmaker, N. J.; Jagota, A.; Hui. C. Langmuir 2004, 20, 6430.
27. Bietsch, A.; Michel, B. J. Appl. Phys. 2000, 88, 4310.
28. Hui, C. Y.; Jagota, A.; Lin, Y. Y.; Kramer, E. J. Langmuir 2002, 18, 1394.
29. Guo, Q.; Teng, X.; Yang, H. Nano Lett. 2004, 4, 1657.
30. Hasan, M.; Bethell, D.; Brust, M. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 1132.
31. Shi, W.; Sahoo, Y.; Swihart, M. T. Colloids and Surf., A 2004, 246, 109.