Hydrogen induced roughening and smoothing in surface morphology during synchrotron-radiation-excited Ge H4 -source homoepitaxy on Ge(001)

Journal of Applied Physics

Volumn 99, Issue 10, 2006, Pages

  Akazawa, Housei ^a  

^a NONE   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELLIPSOMETRY; EMBEDDED SYSTEMS; GERMANIUM COMPOUNDS; HYDROGEN; MICROMETERS; REAL TIME SYSTEMS; SYNCHROTRON RADIATION; THERMAL EFFECTS;

ACCELERATED MIGRATION; EPITAXIALLY GROWING SURFACE; HOMOEPITAXY; SMOOTHING;

SURFACE ROUGHNESS;

EID: 33744938156     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2194232     Document Type: Article

References (40)

1. D. J. Eaglesham and M. Cerullo, Phys. Rev. Lett. 64, 1943 (1990).
2. G. Capellini, L. D. Gaspare, F. Evangelisti, and E. Palange, Appl. Phys. Lett. 75, 1905 (1999).
3. O. G. Schmidt, C. Lange, and K. Eberl, Appl. Phys. Lett. 75, 1905 (1999).
4. Y.-M. Mo, B. S. Swartzentruber, R. Kariotis, M. B. Webb, and M. G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 63, 2393 (1989).
5. G. M. Ribeiro, A. M. Bratkovski, T. I. Kamins, D. A. A. Ohlberg, and R. S. Williams, Science 279, 353 (1998).
6. F. M. Ross, J. Tersoff, and R. M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 80, 984 (1998).
7. R. A. Rudder, G. G. Fountain, and R. J. Markunas, J. Appl. Phys. 60, 3519 (1986).
8. E. Chason, J. Y. Tsao, K. M. Horn, and S. T. Picraux, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 332 (1989).
9. E. Chason, P. Bedrossian, K. M. Horn, J. Y. Tsao, and S. T. Picraux, Appl. Phys. Lett. 57, 1793 (1990).
10. M. H. Xie, J. Zhang, S. M. Mokler, J. Fernandez, and B. A. Joyce, Surf. Sci. 320, 259 (1994).
11. J. E. V. Nostrand, S. J. Chey, M. A. Hasan, D. G. Cahill, and J. E. Greene, Phys. Rev. Lett. 74, 1127 (1995).
12. T. R. Bramblett, Q. Lu, N. E. Lee, N. Taylor, M. A. Hasan, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 77, 1504 (1995).
13. F. Tsui, D. Barlett, J. Wellman, C. Uher, and R. Clarke, J. Cryst. Growth 150, 960 (1995).
14. A. Sakai and T. Tatsumi, Appl. Phys. Lett. 64, 52 (1994).
15. D. P. Adams, S. M. Yalisove, and D. J. Eaglesham, Appl. Phys. Lett. 63, 3571 (1993).
16. M. H. von Hoegen and A. Golla, Surf. Sci. 337, L777 (1995).
17. M. Copel and R. M. Tromp, Phys. Rev. Lett. 72, 1236 (1994).
18. H. Akazawa, J. Appl. Phys. 97, 106105 (2005).
19. H. Akazawa and J. Takahashi, Rev. Sci. Instrum. 69, 265 (1998).
20. L. Vina, S. Logothetidis, and M. Cardona, Phys. Rev. B 30, 1979 (1984).
21. H. Akazawa, Phys. Rev. B 59, 3184 (1999).
22. H. Akazawa, Surf. Sci. 427&428, 214 (1999).
23. G. Lu and J. E. Crowell, J. Chem. Phys. 98, 3415 (1993).
24. J. J. Koulmann, D. Steinmetz, S. Van, F. Ringeisen, and D. Bolmont, Surf. Sci. 331-333, 409 (1995).
25. H. Akazawa, J. Vac. Sci. Technol. A 20, 60 (2002).
26. M. Li, Y. Z. Hu, E. A. Irene, L. Liu, K. N. Christensen, and D. M. Maher, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 105 (1995).
27. D. E. Aspnes and A. A. Studna, Phys. Rev. B 27, 985 (1983).
28. B. Drevillon and C. Godet, J. Appl. Phys. 64, 145 (1988).
29. B. Cunningham, J. O. Chu, and S. Akbar, Appl. Phys. Lett. 59, 3574 (1991).
30. D. E. Jesson, S. J. Pennycook, J. M. Baribeau, and D. C. Houghton, Phys. Rev. Lett. 71, 1744 (1993).
31. A. G. Cullis, D. J. Robbins, A. J. Pidduck, and P. W. Smith, J. Cryst. Growth 123, 333 (1992).
32. A. G. Cullis, D. J. Robbins, S. J. Barnett, and A. J. Pidduck, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 1924 (1994).
33. Y. Koide, S. Zaima, N. Ohshima, and Y. Yasuda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 0021-4922 28, L690 (1989); Y. Koide, S. Zaima, N. Ohshima, and Y. Yasuda, J. Cryst. Growth 99, 254 (1990).
34. Y. Koide, S. Zaima, N. Ohshima, and Y. Yasuda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 0021-4922 28, L690 (1989); Y. Koide, S. Zaima, N. Ohshima, and Y. Yasuda, J. Cryst. Growth 99, 254 (1990).
35. C. Silvestre, G. G. Jernigan, M. E. Twigg, and P. E. Thompson, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 1933 (1998).
36. H. Akazawa, J. Appl. Phys. 79, 9396 (1996).
37. J. A. Stroscio, D. T. Pierce, M. D. Stiles, A. Zangwill, and L. M. Sander, Phys. Rev. Lett. 75, 4246 (1995).
38. S. M. Scholz, J. Schreiner, and K. Jacobi, Surf. Sci. 331-333, 402 (1995).
39. S. M. Scholz, K. Jacobi, J. T. Zettler, and W. Richter, Surf. Sci. 359, 205 (1996).
40. S. J. Chey, J. E. V. Nostrand, and D. G. Cahill, Phys. Rev. Lett. 76, 3995 (1996).