ITO/Ti/Au Ohmic contacts on n-type ZnO

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 18, 2006, Pages

  Kang, B S ^a   Chen, J J ^a   Ren, F ^a   Li, Y ^a   Kim, H S ^a   Norton, D P ^a   Pearton, S J ^a  

^a J Crayton Pruitt Family Department of Biomedical Engineering   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AU-IN SOLID SOLUTIONS; INDIUM OUTDIFFUSION; SPECIFIC CONTACT RESISTIVITY;

ANNEALING; DIFFUSION; GOLD ALLOYS; HEAT TREATMENT; INDIUM ALLOYS; OPTICAL MICROSCOPY;

OHMIC CONTACTS;

EID: 33646537014     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2198513     Document Type: Article

References (27)

1. D. C. Look, B. Claflin, Ya. I. Alivov, and S. J. Park, Phys. Status Solidi A 201, 2203 (2004).
2. D. C. Look, Mater. Sci. Eng., B 80, 383 (2001).
3. S. J. Pearton, D. P. Norton, K. Ip, Y. W. Heo, and T. Steiner, Prog. Mater. Sci. 50, 293 (2005).
4. Y. I. Alivov, J. E. Van Nostrand, D. C. Look, M. V. Chukichev, and B. M. Ataev, Appl. Phys. Lett. 83, 2943 (2003).
5. Y. I. Alivov, E. V. Kalinina, A. E. Cherenkov, D. C. Look, B. M. Ataev, A. K. Omaev, M. V. Chukichev, and D. M. Bagnall, Appl. Phys. Lett. 83, 4719 (2003).
6. A. Osinsky, J. W. Dong, M. Z. Kauser, B. Hertog, A. M. Dabiran, P. P. Chow, S. J. Pearton, O. Lopatiuk, and L. Chernyak, Appl. Phys. Lett. 85, 4272 (2004).
7. J. W. Dong, A. Osinsky, B. Hertog, A. M. Dabiran, P. P. Chow, Y. W. Heo, D. P. Norton, and S. J. Pearton, J. Electron. Mater. 34, 416 (2005).
8. Dae-Kue Hwang, Soon-Hyung Kang, Jae-Hong Lim, Eun-Jeong Yang, Jin-Yong Oh, Jin-Ho Yang, and Seong-Ju Park, Appl. Phys. Lett. 86, 222101 (2005).
9. A. Tsukazaki, A. Ohtomo, T. Onuma, M. Ohtani, T. Makino, M. Sumiya, K. Ohtani, S. F. Chichibu, S. Fuke, Y. Segawa, H. Ohno, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Nat. Mater. 4, 42 (2005).
10. A. Tsukazaki, M. Kubota, A. Ohtomo, T. Onuma, K. Ohtani, H. Ohno, S. F. Chichibu, and M. Kawasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 44, L643 (2005)
11. J.-H. Lim, C.-K. Kang, K.-K. Kim, I.-K. Park, D.-K. Hwang, and S.-J. Park, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 37, 465 (2006).
12. S.-P. Jung, D. Ullery, C.-H. Lin, H. P. Lee, J.-H. Lim, D.-K. Hwang, J. Y. Kim, E.-J. Yang, and S.-J. Park, Appl. Phys. Lett. 87, 181107 (2005).
13. D. W. Kim, H. Y. Lee, G. Y. Yeom, and Y. J. Sung, J. Appl. Phys. 98, 053102 (2005).
14. J. K. Kim, T. Gessmann, E. F. Schubert, J. Q. Xi, H. Luo, J. Cho, C. Sone, and Y. Park, Appl. Phys. Lett. 88, 013501 (2006).
15. S. Y. Kim, H. W. Jang, and J.-L. Lee, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 1851 (2004).
16. J.-O. Song, W.-K. Hong, Y. Park, J. S. Kwak, and T.-Y. Seong, Appl. Phys. Lett. 86, 133503 (2005).
17. W.-K. Hong, J.-O. Song, H.-G. Hong, K.-Y. Ban, T. Lee, J. S. Kwak, Y. Park, and T.-Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 8, G320 (2005).
18. H.-K. Kim, J. W. Bae, K.-K. Kim, S.-J. Park, T.-Y. Seong, and I. Adesida, Thin Solid Films 447, 90 (2004).
19. A. A. Iliadis, R. D. Vispute, T. Venkatesan, and K. A. Jones, Thin Solid Films 420, 478 (2002).
20. H.-K. Kim, S.-H. Han, T.-Y. Seong, and W.-K. Choi, J. Electrochem. Soc. 148, G114 (2001).
21. K. Ip, Y. W. Heo, K. H. Baik, D. P. Norton, S. J. Pearton, and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 84, 544 (2004).
22. S. H. Kim, S. W. Jeong, D. K. Hwang, S. J. Park, and T. Y. Seong, Electrochem. Solid-State Lett. 8, G198 (2005).
23. H. K. Kim, T. Y. Seong, K. K. Kim, S. J. Park, Y. S. Yoon, and I. Adesida, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 43, 976 (2004).
24. H. K. Kim, K. K. Kim, S. J. Park, T. Y. Seong, and I. Adesida, J. Appl. Phys. 94, 4225 (2003).
25. S. H. Kim, K. K. Kim, S. J. Park, and T. Y. Seong, J. Electrochem. Soc. 152, G169 (2005).
26. H. K. Kim, K. K. Kim, S. J. Park, T. Y. Seong, and Y. S. Yoon, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 41, L546 (2002).
27. Y. M. Lu, W. S. Hwang, and J. S. Yang, Surf. Coat. Technol. 155, 23 (2002).