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Volumn 23, Issue 1, 2005, Pages 224-228

Quantifying acid generation efficiency for photoresist applications

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PHOTOACID GENERATORS (PAG); SENSING MATERIALS;

EID: 31144447585     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1851537     Document Type: Article
Times cited : (5)

References (21)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.