A Novel Photometric Method for the Determination of Photoacid Generation Efficiencies Using Benzothiazole and Xanthene Dyes as Acid Sensors

Chemistry of Materials

Volumn 9, Issue 12, 1997, Pages 3222-3230

  Pohlers, G ^a   Scaiano, J C ^a   Sinta, R ^b  

^a UNIVERSITY OF OTTAWA   (Canada)

^b SHIPLEY COMPANY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001575941     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm970587p     Document Type: Article

References (31)

1. Thompson, L. F.; Willson, C. G.; Bowden, M. J. Introduction to Microlithography, 2nd ed.; American Chemical Society: Washington, DC, 1994.
2. Dammel, R.; Doessel, K. F.; Lignau, J.; Theis, J.; Huber, H. L.; Oertel, H. Microelectron. Eng. 1986, 5, 97.
3. Feely, W. E.; Imhof, J.; Stein, C. Polym. Eng. Sci. 1986, 26, 1101.
4. Frechet, J. M. J.; Eichler, E.; Ito, H.; Willson, C. G. Polymer 1983, 24, 995.
5. Frechet, J. M. J.; Matuszczak, S.; Reck, B.; Stoever, H. D.; Willson, C. G. Macromolecules 1991, 24, 1746.
6. Ito, H.; Willson, C. G. Polym. Eng. Sci. 1983, 23, 1012.
7. Thackeray, J. W.; Orsula, G. W.; Canistro, D.; Berry, A. K. J. Photopolym. Sci. Technol. 1989, 2, 429.
8. Pappas, S. P. J. Imaging Technol. 1985, 11, 146.
9. McKean, D. R.; Schaedeli, U.; McDonald, S. A. J. Polym. Sci.: Part A Polym. Chem. 1989, 27, 3927.
10. Thackeray, J. W.; Denison, M. D.; Fedynyshyn, T. H.; Kang, D.; Sinta, R. ACS Symp. Ser. 1995, 614, 111.
11. Zanker, V.; Peter, W. Ber. 1958, 91, 572.
12. Ramette, R. W.; Sandell, E. B. J. Am. Chem. Soc. 1956, 78, 4872.
13. Pohlers, G.; Scaiano, J. C.; Sinta, R.; Brainard, R.; Pai, D. Chem. Mater. 1997, 9, 1353.
14. Burnett, A. R.; Thomson, K. H. J. Chem. Soc. (C) 1968, 854.
15. Dryanska, V.; Ivanov, C. Tetrahedron Lett. 1975, 41, 3519.
16. Purnendu, B.; Shirley, D. A. J. Am. Chem. Soc. 1958, 80, 3462.
17. Scaiano, J. C.; Tanner, M.; Weir, D. J. Am. Chem. Soc. 1985, 107, 4396.
18. Scaiano, J. C. J. Am. Chem. Soc. 1980, 102, 7747.
19. Berlman, I. B. Handbook of Fluorescence Spectra of Aromatic Molecules; Academic Press: New York, 1965.
20. Abdel-Mottaleb, M. S. A.; Loutfy, R. O.; Lapouyade, R. J. Photochem. Photobiol. A: Chem. 1989, 48, 87.
21. Abdel-Mottaleb, M. S. A.; Antonious, M. S.; Ali, M. M. A.; Ismail, L. F. M.; El-Sayed, B. A.; Sherief, A. M. K. Proc. Indian Acad. Sci. 1992, 104, 185.
22. Osman, A.-M.; Youssef, M. S. K. Spectrochim. Acta 1981, 37A, 811.
23. Barra, M.; Calabrese, G. S.; Allen, M. T.; Redmond, R. W.; Sinta, R.; Lamola, A. A.; Small, R. D.; Scaiano, J. C. Chem. Mater. 1991, 3, 610.
24. Sjoeback, R.; Nygren, J.; Kubista, M. Spectrochim. Acta, Part A 1995, 51A, L7.
25. Faraggi, M.; Peretz, P.; Rosenthal, I.; Weinraub, D. Chem. Phys. Lett. 1984, 103, 310.
26. Scaiano, J. C.; Barra, M.; Krzywinski, M.; Sinta, R.; Calabrese, G. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 8340.
27. Barra, M.; Scaiano, J. C.; Calabrese, G. S.; Sinta, R.; Thackeray, J. Chem. Mater. 1994, 6, 724.
28. Gaines, G. L. Anal. Chem. 1976, 48, 450.
29. Buhr, G.; Dammel, R.; Lindley, C. R. Polym. Mater. Sci. Eng. 1989, 61, 269.
30. Asakawa, K.; Ushirogouchi, T.; Nakase, M. Proc. SPIE-Int. Soc. opt. Eng. 1995, 2438, 563.
31. Kihara, N.; Saito, S.; Ushirogouchi, T.; Nakase, M. J. Photopolym. Sci. Technol. 1995, 8, 561.