Ion scattering and electron spectroscopy of the chemical species at a HF-prepared Si(211) surface

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 3, 2006, Pages 1-3

  Jaime Vasquez, M ^a   Martinka, M ^a   Groenert, M ^a   Dinan, J ^a  

^a U S ARMY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DESORPTION SPECTROSCOPY; DIHYDRIDES; ION SCATTERING; MONOHYDRIDE;

CHEMICAL BONDS; DESORPTION; ELECTRON SPECTROSCOPY; FLUORINE; HELIUM; HYDRIDES; SILICON WAFERS;

SURFACE CHEMISTRY;

EID: 31144439577     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2166682     Document Type: Article

References (37)

1. G. Brill, Y. Chen, N. K. Dhar, and R. Singh, J. Electron. Mater. 32, 717 (2003).
2. N. K. Dhar, P. R. Boyd, M. Martinka, J. H. Dinan, L. A. Almeida, and N. Goldsman, J. Electron. Mater. 29, 748 (2000).
3. L. Fotiadis and R. Kaplan, Thin Solid Films 184, 415 (1990).
4. T. M. Jung, R. Kaplan, and S. M. Prokes, Surf. Sci. 289, L577 (1993).
5. V. L. Thanh, Thin Solid Films 321, 98 (1998).
6. D. B. Fenner, D. K. Biegelsen, and R. D. Bringans, J. Appl. Phys. 66, 419 (1989).
7. T. Hsu, B. Anthony, R. Qian, J. Irby, S. Banerjee, A. Tasch, S. Lin, H. Marcus, and C. Magee, J. Electron. Mater. 20, 279 (1991).
8. P. J. Grunthaner, F. J. Grunthaner, R. W. Fathauer, T. L. Lin, M. H. Hecht, L. D. Bell, W. J. Kaiser, F. D. Schowengerdt, and J. H. Manzur, Thin Solid Films 183, 197 (1989).
9. N. Miyata, S. Wantanabe, and S. Okamura, Appl. Surf. Sci. 117/118, 26 (1997).
10. Y. Morita and H. Tokomoto, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 854 (1996).
11. P. Jakob and Y. J. Chabal, J. Chem. Phys. 95, 2897 (1991).
12. M. A. Hines, Y. J. Chabal, T. D. Harris, and A. L. Harris, J. Chem. Phys. 101, 8055 (1994).
13. G. S. Higashi, Y. J. Chabal, G. W. Trucks, and K. Raghvachari, Appl. Phys. Lett. 56, 656 (1990).
14. M. Schwartzkoopff, P. Radojkovic, M. Enachescu, E. Hartmann, and F. Koch, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1336 (1996).
15. M. Niwano, Y. Takeda, K. Kurita, and M. Miyamoto, J. Appl. Phys. 72, 2488 (1992).
16. A. Laracuente, S. C. Erwin, and L. J. Whitman, Appl. Phys. Lett. 74, 1397 (1999).
17. A. A. Baski and L. J. Whitman, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1469 (1995).
18. A. A. Baski and L. J. Whitman, Phys. Rev. Lett. 74, 956 (1995).
19. H. H. Brogersma and P. M. Mul, Chem. Phys. Lett. 14, 380 (1972).
20. P. J. Taylor, W. A. Jesser, M. Martinka, K. M. Singley, J. H. Dinan, R. T. Lareau, M. C. Wood, and W. W. Clark III, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1153 (1999).
21. J. R. Diel, J. M. Stencel, C. A. Spitter, and L. E. Makovsky, Surf. Interface Anal. 6, 56 (1984).
22. J. K. Kelso and C. G. Pantono, Surf. Interface Anal. 7, 228 (1985).
23. R. Margraf, J. Leyrer, H. Knowzinger, and E. Taglaver, Surf. Sci. 189/190, 842 (1987).
24. P. Gupta, V. L. Colvin, and S. M. George, Phys. Rev. B 37, 8234 (1988).
25. G. J. Pietsch, U. Kohler, and M. Henzler, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 78 (1994).
26. M. Jaime Vasquez, M. Martinka, M. Groenert, A. Stoltz, D. Benson, and J. Dinan (unpublished).
27. O. Kennard, CRC Handbook of Chemistry and Physics, edited by, R. C. Weast, 49th ed. (The Chemical Rubber Co., Cleaveland, OH, 1968-1969), p. F156.
28. R. Singh, S. Prkash, N. N. Shunkla, and R. Prasad, Phys. Rev. B 70, 115213 (2004).
29. U. Freking, P. Kruger, A. Mozar, and J. Pollmann, Phys. Rev. B 69, 035313 (2004).
30. T. Hsu, S. Lin, B. Anthony, R. Qian, J. Irvy, D. Kinosky, A. Jajajan, S. Banerjee, A. Tasch, and H. Marcus, Appl. Phys. Lett. 61, 580 (1992).
31. B. R. Winberger, G. G. Peterson, T. C. Eschrich, and H. A. Krasinki, J. Appl. Phys. 60, 3232 (1986).
32. T. Takahagi, A. Ishitani, H. Kuroda, and Y. Nagasawa, J. Appl. Phys. 69, 803 (1991).
33. Y. Morikwa, K. Kubota, H. Ogawa, T. Ichiki, A. Tachibana, S. Fujimura, and Y. Horiike, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 345 (1998).
34. S. Wantanabe and M. Shigeno, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 31, 1702 (1992).
35. V. M. Bermudez, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 3478 (1992).
36. L. Pelaz, L. A. Marquez, and J. Barbolla, J. Appl. Phys. 96, 5947 (2004).
37. J. F. Moulder, W. F. Stickle, P. E. Sobol, and K. D. Bomben, in Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, edited by, J. Chastain, and, R. C. King, Jr., (Physical Electronics, Inc., Eden Prairie, MN, 1995), p. 16.