Hydrogen bonding of low-k materials deposited by ICPCVD

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 44, Issue 5 I, 2004, Pages 1118-1122

  Oh, Teresa ^a   Lee, Kwang Man ^a   Lee, Heon Ju ^a   Choi, Chi Kyu ^a  

^a Jeju National University   (South Korea)

Author keywords

C H hydrogen bond; Cross link; Fluorinated amorphous carbon films; Sp 3 carbon

Indexed keywords

EID: 2942631023     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (16)

1. J. H. Kim, S. H. Seo, S. M. Yun, H. Y. Chang, K. M. Lee and C. K. Choi, Appl. Phys. Lett. 68, 1507 (1996).
2. Y. H. Kim, H. J. Kim, J. Y. Kim and Y. Lee, J. Korean Phys. Soc. 30, 94 (2002).
3. S. S. Han, H. R. Kim and B. S. Bae, J. Electrochem. Soc. 146, 3383 (1999).
4. M. A. Tamor, C. H. Wu, R. O Carter and N. E. Lindsay, Appl. Phys. Lett. 55, 1388 (1989).
5. K. S. Oh, S. Y. Jing, C. K. Choi, K. M. Lee and H. J. Lee, J. Korean Phys. Soc. 39, 291 (2001).
6. Y. H. Kim, S. K. Lee and H. J. Kim, J. Vac. Sci. Technol. 18, 1216 (2000).
7. A. Grill and V. Patel, J. Appl. Phys. 85, 3314 (1999).
8. M. A. Tamor and C. H. Wu, J. Appl. Phys. 67, 1007 (1990).
9. M. A. Tamor, J. A. Haire, C. H. Wu and K. C. Hass, Appl. Phys. Lett. 54, 123 (1989).
10. X. Li, L. Liu and H. B. Schlegel, J. Am. Chem. Soc. 124, 9639 (2002).
11. T. Ono, Y. Suda, M. Akazawa, Y. Sakai and K. Suzuki, Jpn. J. Appl. Phys. 41, 4651 (2002).
12. A. Grill, Diamond and Related Materials 10, 234 (2001).
13. G. Galli and R. M. Martin, Phys. Rev. Lett. 62, 555 (1989).
14. T. Oh, K. M. Lee, S. T. Ko, K. S. Kim, K. J. Ahn and C. K. Choi, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 1517 (2003).
15. J. Fink, T. M. Heinzerling, J. Pfluger, B. Scheerer, B. Dischler, P. Koidl, A. Bubenzer and R. E. Sah, Phys. Rev. B 30, 4713 (1984).
16. G. S. Kang, H. J. Ko and C. K. Choi, J. Korean Phys. Soc. 42, 676 (2003).