Study on acid generation from polymer

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 23, Issue 6, 2005, Pages 2728-2732

  Yamamoto, Hiroki ^a   Kozawa, Takahiro ^a   Nakano, Atsuro ^a   Okamoto, Kazumasa ^a   Tagawa, Seiichi ^a   Ando, Tomoyuki ^b   Sato, Mitsuru ^b   Komano, Hiroji ^b  

^a OSAKA UNIVERSITY   (Japan)

^b TOKYO OHKA KOGYO CO LTD   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMINES; CHEMICAL BONDS; DISSOCIATION; HALOGENATION; IONIZING RADIATION; NEGATIVE IONS; POLYMERS; POLYSTYRENES; REACTION KINETICS; ULTRAVIOLET RADIATION;

ACID GENERATION; COVALENT BONDS; DISSOCIATION EFFICIENCY; RESIST MATRIX;

ACIDS;

EID: 29044442591     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2121730     Document Type: Article

References (38)

1. H. Ito and C. G. Willson, Polym. Eng. Sci. 23, 1012 (1983).
2. D. R. McKean, R. D. Allen, P. H. Kasai, U. P. Schaedeli, and S. A. MacDonald, Proc. SPIE 1672, 94 (1992).
3. J. E. Hanson, E. Reichmanis, F. M. Houlihan, and T. X. Neenan, Chem. Mater. 4, 837 (1992).
4. H. Wu and K. E. Gonsalves, Adv. Funct. Mater. 11, 271 (2001).
5. H. Wu and K. E. Gonsalves, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 13, 670 (2001).
6. T. Shinozuka, M. Shirai, and M. Tsunooka, Eur. Polym. J. 37, 1625 (2001).
7. M. D. Stewart, H. V. Tran, G. M. Schmid, T. B. Stachowiak, D. J. Becker, and C. G. Willson, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2946 (2002).
8. T. Kozawa, Y. Yoshida, M. Uesaka, and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 31, 4301 (1992).
9. S. Tagawa, S. Nagahara, T. Iwamoto, M. Wakita, T. Kozawa, Y. Yamamoto, D. Werst, and A. D. Trifunac, Proc. SPIE 3999, 204 (2000).
10. N. P. Hacker, D. C. Hofer, and K. M. Welsh, J. Photopolym. Sci. Technol. 5, 35 (1992).
11. T. Kozawa, S. Nagahara, Y. Yoshida, S. Tagawa, T. Watanabe, and Y. Yamashita, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2582 (1997).
12. G. N. Babu, A. Narula, S. L. Hsu, and J. C. W. Chien, Macromolecules 17, 2749 (1984).
13. S. Imamura, J. Electrochem. Soc. 126, 1628 (1979).
14. H. Shiraishi, Y. Taniguchi, S. Horigome, and S. Nonogaki, Polym. Eng. Sci. 20, 1054 (1980).
15. F. Schue, B. Holil, R. Sagnes, C. Montginoul, L. Giral, F. Buiguez, B. Serre, and C. Rosilio, Microelectron. Eng. 5, 315 (1986).
16. G. N. Taylor, G. A. Coquin, and S. Smekh, Polym. Eng. Sci. 17, 420 (1977).
17. H. Yamamoto, A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa, and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 43, 3971 (2004).
18. A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa, and S. Tagawa, J. Appl. Phys. 43, 3981 (2004).
19. O. Brede, H. Orthner, V. Zubarev, and R. Hermann, J. Phys. Chem. 100, 7097 (1996).
20. K. Kise, K. Marumoto, H. Watanabe, K. Itoga, T. Kumada, H. Sumitani, T. Kitayama, M. Amemiya, Y. Watanabe, and K. Uda, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2953 (2002).
21. H. Yamamoto, T. Kozawa, A. Nakano, K. Okamoto, S. Tagawa, T. Ando, M. Sato, and H. Komano, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 44, L842 (2005).
22. C. Coenjarts, J. Cameron, N. Deschamps, D. Hambly, G. Pohlers, J. C. Scaiano, R. Sinta, S. Virdee, and A. Zampini, Proc. SPIE 3678, 1062 (1999).
23. G. Pohlers, J. C. Scaiano, and R. Sinta, Chem. Mater. 9, 3222 (1997).
24. H. Yamamoto, T. Kozawa, A. Nakano, K. Okamoto, Y. Yamamoto, T. Ando, M. Sato, H. Komano, and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 43, L848 (2004).
25. A. Saeki, T. Kozawa, Y. Yoshida, and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 41, 4213 (2002).
26. K. Okamoto, A. Saeki, T. Kozawa, Y. Yoshida, and S. Tagawa, Chem. Lett. 32, 834 (2003).
27. T. Kozawa, H. Yamamoto, A. Nakano, A. Saeki, K. Okamoto, and S. Tagawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 17, 449 (2004).
28. S. U. Choi and J. E. Willard, J. Phys. Chem. 66, 1041 (1962).
29. A. F. Everard, J. D. Parrack, G. A. Swan, and P. S. Timmons, J. Chem. Soc. 169, 905 (1962).
30. S. Tagawa, W. Schnabel, M. Washio, and Y. Tabata, Radiat. Phys. Chem. 18, 1087 (1981).
31. D. Li and J. Brisson, Polymer 39, 793 (1998).
32. T. Kozawa, A. Saeki, A. Nakano, Y. Yoshida, and S. Tagawa, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 3149 (2003).
33. F. A. Peter and P. Neta, J. Phys. Chem. 76, 630 (1972).
34. S. Tsuji, T. Kozawa, Y. Yamamoto, and S. Tagawa, J. Photopolym. Sci. Technol. 13, 733 (2000).
35. A. Nakano, K. Okamoto, T. Kozawa, and S. Tagawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 43, 4363 (2004).
36. W. D. Hinsberg, F. A. Houle, M. I. Sanchez, and G. M. Wallraff, IBM J. Res. Dev. 45, 667 (2001).
37. T. Itani, H. Yoshino, M. Fujimoto, and K. Kasama, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 3026 (1995).
38. H. Yamamoto, T. Kozawa, A. Nakano, K. Okamoto, S. Tagawa, T. Ando, M. Sato, and H. Komano, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 44, 5836 (2005).