Investigation of structural properties of amorphous carbon nitride thin films prepared by xenon cloride pulsed laser deposition of camphoric carbon precursor

Journal of Materials Science: Materials in Electronics

Volumn 16, Issue 6, 2005, Pages 365-375

  Rusop, M ^a   Soga, T ^a   Jimbo, T ^a  

^a NAGOYA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS FILMS; AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY; CHEMICAL BONDS; CRYSTAL STRUCTURE; FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; GRAPHITE; PULSED LASER DEPOSITION; RAMAN SCATTERING; THERMAL EFFECTS; THIN FILMS; ULTRAVIOLET SPECTROSCOPY; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

AMORPHOUS THIN FILMS; CAMPHORIC CARBON; ULTRAVIOLET VISIBLE SPECTROSCOPY; XENON CHLORIDE;

CARBON NITRIDE;

EID: 22144476243     PISSN: 09574522     EISSN: 1573482X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1007/s10854-005-1148-4     Document Type: Article

References (72)

1. D. S. KNIGHT and W. B. WHITE, J. Mater. Res. 4 (1989) 385. 1:CAS:528:DyaL1MXhsF2iurw%3D
2. Y. AOI, K. ONO, K. SAKURADA, E. KAMIJO, M. SASAKI and K. SAKAYAMA, Thin Solid Films 389 (2001) 62. 10.1016/S0040-6090(01)00888-4
3. J. S. LEE, K. S. LIU and I. N. LIN, Appl. Phys. Lett. 68 (1996) 1666. 10.1063/1.115899
4. M. H. GRIMSDITCH and A. K. RAMDAS, Phys. Rev. B 11 (1975) 3139. 10.1103/ PhysRevB.11.3139
5. V. MEENAKSHI, A. SAYEED and S. V. SUBRAMANYAM, Mater. Sci. Forum 223 (1996) 307.
6. R. O. DILLON, J. A. WOOLLAM and V. KATKANANT, Phys. Rev. B 29 (1984) 3482. 1:CAS:528:DyaL2cXhsVOktLY%3D
7. F. TUINSTRA and J. L. KOENIG, J. Chem. Phys. 53 (1970) 1126. 10.1063/ 1.1674108
8. R. J. NEMANICH and G. LUCOVSKY, Solid State Commun. 23 (1977) 117. 10.1016/0038-1098(77)90663-9
9. D. BEEMAN, J. SILVERMAN, R. LYNDS and M. R. ANDERSON, Phys. Rev. B 30 (2) (1984) 870. 10.1103/PhysRevB.30.870
10. R. J. NEMANICH and S. A. SOLIN, ibid. 20 (1979) 392. 10.1103/ PhysRevB.20.392
11. J. SHIAO and R. W. HOFFMAN, Thin Solid Films 283 (1996) 145. 10.1016/ 0040-6090(95)08151-8
12. J. SCHWAN, S. ULRICH, V. BATORI, H. EHRHARDT and S. R. P. SILVA, J. Appl. Phys. 80 (1996) 440. 10.1063/1.362745
13. R. KALISH, Y. LIFSHITZ, K. NUGENT and S. PRAWER, Appl. Phys. Lett. 74 (1999) 2936. 1:CAS:528:DyaK1MXivV2ms7g%3D
14. M. A. TAMOR and W. C. VASSELL, J. Appl. Phys. 76 (1994) 3823. 10.1063/ 1.357385
15. J. P. ZHAO, Z. Y. CHEN, T. YANO, T. OOIE and M. YONEDA, ibid. 89 (3) (2001) 1580. 10.1063/1.1335643
16. J. H. KAUFMAN, S. METIN and D. D. SAPERSTEIN, Phys. Rev. B 39 (1989) 13053. 10.1103/PhysRevB.39.13053
17. D. Y. LEE, Y. H. KIM, I. K. KIM and H. K. BAIK, Thin Solid Films 355 (1999) 239. 10.1016/S0040-6090(99)00556-8
18. H. TSAI and D. B. BOGGY, J. Vac. Sci. Technol. A 5 (1987) 3287.
19. C. J. TORNG, J. M. SILVERTSEN, J. H. JUDY and C. CHANG, J. Mater. Res. 5 (1990) 2490. 1:CAS:528:DyaK3MXhtFSlsw%3D%3D
20. M. Y. CHEN, D. LI, X. LIN, V. P. DRAVID, Y. W. CHUNG, M. S. WONG and W. D. SPROUL, J. Vac. Sci. Technol. A 11 (1993) 521.
21. H. X. HAN and B. J. FELDMAN, Solid State Commun. 65 (1988) 921. 10.1016/ 0038-1098(88)90732-6
22. M. WIXOM, J. Am. Ceram. Soc. 73 (1990) 1973. 10.1111/ j.1151-2916.1990.tb05254.x
23. G. MARIOTTO, F. L. FREIRE JR. and C. A. ACHETE, Thin Solid Films 241 (1994) 255. 10.1016/0040-6090(94)90436-7
24. F. ROSSI, B. ANDRE, A. VEEN, P.E. MIJNARENDS, H. SCHUT, F. LABOHM, H. DUNLOP, M. P. DELPLANCKE and K. HUBBARD, J. Mater. Res. 9 (1994) 2440. 1:CAS:528:DyaK2cXls1anu7s%3D
25. S. M. MOMINUZZAMAN, K. M. KRISHNA, T. SOGA, T. JIMBO and M. UMENO, Jpn. J. Appl. Phys. 38 (1999) 658. 10.1143/JJAP.38.658
26. Idem., Carbon 38 (2000) 127. 10.1016/S0008-6223(99)00107-4
27. J. SCHWAN, S. ULRICH, V. BATORI, H. EHRHARDT and S. R. P. SILVA, J. Appl. Phys. 80 (1996) 440. 10.1063/1.362745
28. N. H. CHO, K. M. KRISHNAN, D. K. VEIRS, M. D. RUBIN, C. B. HOPPER, B. BHUSHAN and D. B. BOGGY, J. Mater. Res. 5 (1990) 2543. 1:CAS:528:DyaK3MXhtFSlsA%3D%3D
29. P. PAPAKONSTANTINOU, D. A. ZEZE, A. KLINI and J. MCLAUGHLIN, Diamond Relat. Mater. 10 (2001) 1109. 10.1016/S0925-9635(00)00498-2
30. Y. K. YAP, S. KIDA, T. AOYAMA, Y. MORI and T. SASAKI, Appl. Phys. Lett. 73 (1998) 7. 10.1063/1.122036
31. H. C. BARSHILIA, S. SAH, B. R. MEHRA, V. D. VANKAR, D. K. AVASTHI and G. K. MEHTA, Thin Solid Films 258 (1995) 123. 10.1016/0040-6090(95)80049-2
32. T. WERNIGHAUS, D. R. T. ZAHN, E. G. WANG and Y. CHEN, Diamond Relat. Mater. 7 (1998) 52. 10.1016/S0925-9635(97)00160-X
33. P. N. WANG, Z. GUO, X. T. YING, J. H. CHEN, X. M. XU and F. M. LI, Phys. Rev. B 59 (1999) 13347. 1:CAS:528:DyaK1MXjtF2htbo%3D
34. T. Y. YEN and C. P. CHOU, Solid State Commun. 95 (1995) 281. 10.1016/ 0038-1098(95)00275-8
35. Idem., Appl. Phys. Lett. 67 (19) (1995) 2801. 10.1063/1.114789
36. S. R. P. SILVA, R. U. A. KHAN, A. P. BARDEN, J. V. ANGUITA, J. M. SHANNON, B. J. SEALY, A. J. PAPWORTH, C. J. KEILY and G. A. J. AMARATUNGA, Thin Solid Films 332 (1998) 118. 10.1016/ S0040-6090(98)01070-0
37. Y. H. CHENG, X. L. QIAO, J. G. CHEN, Y. P. WU, C. S. XIE, Y. Q. WANG, D. S. XU, H. KUPFER, F. RICHTER, S. B. MO and Y. B. SUN, Diam. Relat. Mater. 11 (2002) 1511. 10.1016/S0925-9635(02)00055-9
38. P. N. WANG, Z. GUO and X. T. YING, Phys. Rev. B 61 (20) (1999) 13347. 10.1103/PhysRevB.59.13347
39. A. BOUSETTA, M. LU and A. BENSAOULA, J. Vac. Sci. Technol. A 13 (1995) 1639.
40. A. BOUSETTA, M. LU, A. BENSAOULA and A. SCHULTZ, Appl. Phys. Lett. 65 (1994) 696. 10.1063/1.112272
41. C. M. LIEBER and Z. J. ZHANG, Adv. Mater. 6 (1994) 497. 10.1002/ adma.19940060614
42. A. LIU and M. L. COHEN, Science 245 (1989) 841. 1:CAS:528:DyaL1MXmsVShsr0%3D
43. Idem., Phys. Rev. B 41 (1990) 10727. 10.1103/PhysRevB.41.10727
44. N. WADA, S. A. SOLIN, J. WONG and S. PROCHAZKA, J. Non-Cryst. Solids 43 (1981) 7. 10.1016/0022-3093(81)90169-1
45. Z. M. REN, Y. C. DU, Z. F. YING, Y. X. QIU, X. X. XIONG, J. D. WU and F. M. LI, Appl. Phys. Lett. 65 (11) (1994) 1361. 10.1063/1.112052
46. Z. M. REN, P. N. WANG, Y. C. DU and Z. F. YING, Appl. Phys. A 65 (1997) 107. 10.1007/s003390050551
47. S. L. SUNG, C. H. TSENG, F. K. CHIANG, X. J. GUO and X. W. LIU, Thin Solid Films 340 (1999) 169. 10.1016/S0040-6090(98)01465-5
48. T. W. SCAF, R. D. OTT, D. YANG and J. A. BARNARD, J. Appl. Phys. 85 (1999) 3142. 10.1063/1.369654
49. Y. F. LU, Z. M. REN, W. D. SONG, D. S. H. CHAN, T. S. LOW, K. GAMANI, G. CHEN and K. LI, ibid. 84 (1998) 2909. 10.1063/1.368446
50. M. FRIEDRICH, T. WELZEL, R. ROCHOTZKI, H. KUPFER and D. R. T. ZOHN, Diam. Relat. Mater. 6 (1997) 33. 10.1016/S0925-9635(96)00594-8
51. X. A. ZHAO, C. W. ONG, Y. C. TSANG, Y. W. WONG, P. W. CHAN and C. L. CHOY, Appl. Phys. Lett. 66 (1995) 2652. 10.1063/1.113114
52. Y. AOI, K. ONO and E. KAMIJO, J. Appl. Phys. 86 (1999) 2318. 10.1063/ 1.371048
53. Z. Y. CHEN, J.P. ZHAO, T. YANO, T. OOIE, M. YONEDA and J. SAKAKIBARA, ibid. 88 (12) (2000) 7060. 10.1063/1.1326474
54. J. J. CUOMO, P. A. LEARY, D. YU, W. REUTER and M. FRISH, J. Vac. Sci. Technol. 16 (1979) 299. 10.1116/1.569931
55. N. C. CHO, D. K. VEIRS, J. W. AGER, M. D. RUBIN, C. B. HOOPER and D. B. BOGY, J. Appl. Phys. 71 (1992) 2243. 10.1063/1.351122
56. F. L. FREIRE JR., C. A. ACHETE, G. MARIOTTO and R. CANTERI, J. Vac. Sci. Technol. A 12 (1994) 3048.
57. F. L. FREIRE JR. and D. F. FRANCHESCHINI, Thin Solid Films 293 (1997) 236. 10.1016/S0040-6090(96)08979-1
58. S. PRAWER, K. W. NUGENT, Y. LIFSHITZ, G. D. LEMPERT, E. GROSSMAN, R. KALISH and Y. AVIGAL, Diam. Relat. Mater. 5 (1996) 433. 10.1016/ 0925-9635(95)00363-0
59. E. H. LEE, J. D. M. HEMBREE, G. R. RAO and L. K. MANSUR, Phys. Rev. B 48 (21) (1993) 15540. 10.1103/PhysRevB.48.15540
60. F. RICHTER, K. BEWILOGUA, H. KUPTER, I. MUHLING, B. RAU, B. ROTHER and D. SCHUMACHER, Thin Solid Films 212 (1) (1992) 245. 10.1016/ 0040-6090(92)90528-J
61. Y. G. GOGOTSI and M. YOSHIMURA, Nature 367 (6464) (1994) 628. 10.1038/ 367628a0
62. E. J. CHI, J. Y. SHIM, D. J. CHOI and H. K. BAIK, J. Vac. Sci. Technol. B 16 (1998) 1219. 10.1116/1.589987
63. L. K. CHEAH, X. SHI, B. K. TAY, S. R. P. SILVA and Z. SUN, Diam. Relat. Mater. 7 (1998) 640. 10.1016/S0925-9635(97)00291-4
64. T. HAN, N. LEE, S. W. LEE, S. H. KIM and D. JEON, J. Vac. Sci. Technol. B 16 (1998) 2052. 10.1116/1.589843
65. D. BEEMAN and J. SILVERMAN, Phys. Rev. B 5 (1972) 4951. 10.1103/ PhysRevB.5.4951
66. B. DORFMAN, M. ABRAIZOV, F. H. POLLAK, D. YAN, M. STRNGIN, X. Q. YANG and Z. Y. RONG, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 349 (1994) 547. 1:CAS:528:DyaK2MXisFSksbw%3D
67. Z. M. REN, Y. F. LU, D. H. K. HO, T. C. CHONG, B. A. CHEONG, S. I. PANG, J. P. WANG and L. LI, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 38 (1999) 4859. 10.1143/ JJAP.38.4859
68. M. A. BAKER and P. HAMMER, Surf. Inter. Anal. 25 (1997) 629. 10.1002/ (SICI)1096-9918(199708)25:9<629::AID-SIA313>3.3.CO;2-X
69. M. A. TAMOR, J. A. HAIRE, C. H. WU and K. C. HASS, Appl. Phys. Lett. 54 (1989).
70. J. J. HAUSER, J. Non-Cryst. Solids 23 (1977) 21. 10.1016/ 0022-3093(77)90035-7
71. J. TAUC 1974 "Amorphous and Liquid Semiconductors" Plenum Press London, New York Chap. 4.
72. J. TAUC, R. GRIGOROVICI and A. VANCU, Phys. Status Solidi 15 (1966) 627. 1:CAS:528:DyaF28XktlGit7Y%3D