Irradiation effect of low energy nitrogen-ion beam during pulsed laser deposition process on the structural and bonding properties of carbon-nitride thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 3, 2001, Pages 1580-1587

  Zhao, J P ^a   Chen, Z Y ^a   Yano, T ^a   Ooie, T ^a   Yoneda, M ^a  

^a AIST Shikoku   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001173336     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1335643     Document Type: Article

References (22)

1. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Science 245, 841 (1989).
2. D. M. Teter and R. J. Hemley, Science 271, 53 (1996).
3. Y. J. Guo and W. A. Goddard III, Chem. Phys. Lett. 237, 72 (1995).
4. C. Niu, Y. Z. Lu, and C. M. Lieber, Science 261, 334 (1993).
5. K. M. Yu, M. L. Cohen, E. E. Haller, W. L. Hansen, A. Y. Liu, and I. C. Wu, Phys. Rev. B 49, 5034 (1994).
6. H. Sjöstrom, S. Stafstrom, M. Boman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995).
7. X. M. He, L. Shu, W. Z. Li, and H. D. Li, J. Mater. Res. 12, 1595 (1997).
8. J. Vlček, K. Rusňák, V. Hájek, and L. Martinů, J. Appl. Phys. 86, 3646 (1999).
9. D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 73, 118 (1994).
10. K. Yamamoto, Y. Koga, S. Fujiwara, F. Kokai, J. I. Kleiman, and K. K. Kim, Thin Solid Films 339, 38 (1999).
11. Y. F. Lu, Z. M. Ren, W. D. Song, D. S. H. Chan, T. S. Low, K. Gamani, G. Chen, and K. Li, J. Appl. Phys. 84, 2909 (1998).
12. F. D. A. Aarão Reis and D. F. Franceschini, Appl. Phys. Lett. 74, 209 (1999).
13. O. Auciello and R. Kelly, Ion Bombardment Modification of Surfaces: Fundaments and Applications (Elsevier, Amsterdam, 1984).
14. T. Sekine, H. Kanda, Y. Bando, and M. Yokoyama, J. Mater. Sci. Lett. 9, 1376 (1990).
15. H. Sjöström, S. Stafström, M. Boman, and J.-E. Sundgren, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995).
16. M. R. Wixom, J. Am. Ceram. Soc. 73, 1973 (1990).
17. J. H. Kaufman, S. Metin, and D. D. Saperstein, Phys. Rev. B 39, 13053 (1989).
18. P. González, R. Soto, E. G. Parada, X. Redondas, S. Chiussi, J. Serra, J. Pou, B. León, and M. Pérez-Amor, Appl. Surf. Sci. 109/110, 380 (1997).
19. T. Werninghaus, D. R. T. Zahn, E. G. Wang, and Y. Chen, Diamond Relat. Mater. 7, 52 (1998).
20. P. N. Wang, Z. Guo, X. T. Ying, J. H. Chen, X. M. Xu, and F. M. Li, Phys. Rev. B 59, 13347 (1999).
21. T. Y. Yen and C. P. Chou, Solid State Commun. 95, 281 (1995).
22. M. A. Monclus, D. C. Cameron, and A. K. M. S. Chowdhurry, Thin Solid Films 341, 94 (1999).