Triangular Profile Imprint Molds in Nanograting Fabrication

Nano Letters

Volumn 4, Issue 2, 2004, Pages 341-344

  Yu, Zhaoning ^a   Chou, Stephen Y ^a  

^a Princeton University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARTICLE; EVAPORATION; GRATING; INCIDENCE; NANOPARTICLE; TECHNIQUE;

EID: 1442324491     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl034947l     Document Type: Article

References (20)

1. Tamada, H.; Doumuki, T.; Yamaguchi, T.; Matsumoto, S. Optics Lett. 1997, 22, 419.
2. Bruce, E. IEEE Spectrum 2002, 39, 35.
3. Austin, R. H.; Tegenfeldt, J. O.; Cao, H.; Chou, S. Y.; Cox, E. C. IEEE Trans. Nanotechnol. 2002, 1, 12.
4. Kim, J.; Kim, C. J. Proc. IEEE Conf. MEMS, 479 (Las Vegas, 2002).
5. Fischer, P. B.; Chou, S. Y. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 2989.
6. Lim, M. H.; Murphy, T. E.; Ferrera, J.; Damask, J. N.; Smith, H. I. J. Vac. Sci. Technol. 1999, B17, 3208.
7. Ross, C. A.; Smith, H. I.; Savas, T.; Schattenburg, M. L.; Farhoud, M.; Hwang, M.; Walsh, M.; Abraham, M. C.; Ram, R. J. J. Vac. Sci. Technol. 1999, B17, 3168.
8. Farhoud, M.; Ferrera, J.; Lochtefeld, A. J.; Murphy, T. E.; Schattenburg, M. L.; Carter, J.; Ross, C. A.; Smith, H. I. J. Vac. Sci. Technol. 1999, B17, 3182.
9. Lee, K. K.; Lim, D. R.; Kimerling, L. C.; Shin, J.; Cerrina, F. Optics Lett. 2001, 26, 1888.
10. Csontos, D.; Xu, H. Q. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 2364.
11. Cao, H.; Yu, Z.; Wang, J.; Tegenfeldt, J. O.; Austin, R. H.; Chen, E.; Wu, W.; Chou, S. Y. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 174.
12. Juan, W. H.; Pang, S. W. J. Vac. Sci. Technol. 1996, B14, 4080.
13. Ren, F.; Pearton, S. J.; Lothian, J. R.; Abernathy, C. R.; Hobson, W. S. J. Vac. Sci. Technol. 1992, B10, 2407.
14. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Science 1996, 272, 85.
15. Flanders, D. C. J. Vac. Sci. Technol. 1979, 16, 1615.
16. Ryan, R. W.; Kopf, R. F.; Hamm, R. A.; Malik, R. J.; Masaitis, R.; Opila, R. J. Vac. Sci. Technol. 1998, B16, 2759.
17. Cavallini, M.; Biscarini, F. Nano Lett. 2003, 3, 1269.
18. Price, J. B. J. Electrochem. Soc. 1973, 120, C96.
19. Wind, R. A.; Hines, M. A. Surf. Sci. 2000, 460, 21.
20. Scheer, H.; Schulz, H.; Hoffmann, T.; Sotomayor Torres, C. M. J. Vac. Sci. Technol. 1998, B16, 3917.