Effect of thermal treatment on SiOC(-H) films with low dielectric constant

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 45, Issue SUPPL., 2004, Pages

  Yang, Chang Sil ^a   Choi, Chi Kyu ^a  

^a Jeju National University   (South Korea)

Author keywords

Hybrid type SiOC( H) film; Low dielectric constant; Low k material; Nano pore structure

Indexed keywords

EID: 12744266501     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (21)

1. T. Homma, Mater. Sci. and Eng. R 23, 243 (1998).
2. M. Morgen, E. Todd, J. H. Zhao, C. Hu, T. Cho and P. S. Ho, Ann. Rev. Mater. Sci. 30, 651 (2000).
3. S. W. Chung, J. H. Shin, N. H. Park and J. W. Park, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 5214 (1999).
4. S. W. Lim, Y. Shimogaki, Y. Nakano, K. Tada and H. Komiyama, J. Electrochem. Soc. 146, 4196 (1999).
5. S. S. Han, H. R. Kim and B. S. Bae, J. Electrochem. Soc. 146, 3383 (1999).
6. K. S. Oh, S. Y. Jing, C. K. Choi, K. M. Lee and H. J. Lee, J. Korean Phys. Soc. 39, 281 (2001).
7. G. S. Kang, H. J. Ko and C. K. Choi, J. Korean Phys. Soc. 42, 676 (2003).
8. T. C. Chang, Y. S. Mor, S. M. Sze, Y. L. Yang, M. S. Feng, F. M. Pan, B. T. Dai and C. Y. Chang, J. Electrochem. Soc. 146, 3802 (1999).
9. J. Y. Kim, M. S. Hwang, Y. H. Kim, H. J. Kim and Y. Lee, J. Appl. Phys. 90, 2469 (2001).
10. Y. H. Kim, H. J. Kim, J. Y. Kim and Y. Lee, J. Korea Phys. Soc. 40, 94 (2002).
11. C. S. Yang, K. S. Oh, J. Y. Ryu, D. C. Kim, J. S. Yong, C. K. Choi, H. J. Lee, S. H. Um and H. Y. Chang, Thin Solid Films 390, 113(2001).
12. S. Y. Jing, C. K. Choi and H. J. Lee, J. Korean Phys. Soc. 39, s302 (2001).
13. K.Aumaille, C. Vallee, A. Granier. A. Goullet, F. Gaboriau and G. Turban, Thin Solid Films 359, 188 (2000).
14. H. J. Lee and C. K. Choi, J. Korean Phys. Soc. 43, 787 (2003).
15. X. Jun, C. S. Yang, H.R. Jang and C. K. Choi, J. Electrochem. Soc. 140, F206 (2003).
16. P. N. Sen and M. F. Thrope, Phys. Rev. B 15, 4030 (1997).
17. G. Lucovsky, Philos. Mag. B 39, 513 (1979).
18. S. Y. Jing, H. J. Lee and C. K. Choi, J Korean Phys. Soc. 41, 769 (2002).
19. C. S. Yang, Y. H. Yu, K. M. Lee, H. J. Lee and C. K. Choi, Thin Solid Films 435, 166 (2003).
20. A. Grill and V. Pastel, Appl. Phys. Lett. Vol. 79, 803 (2001).
21. H. J. Kim, Q. Shao and Y. H. Kim, Surf. Coat. Technol. 171, 39 (2003).