Microfabrication of Glassy Carbon by Electrochemical Etching

Journal of the Electrochemical Society

Volumn 151, Issue 2, 2004, Pages

  Kiema, Gregory K ^a   Ssenyange, Solomon ^a   McDermott, Mark T ^a  

^a UNIVERSITY OF ALBERTA   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARRAYS; ELASTIC MODULI; ELECTROCHEMISTRY; ELECTRODES; ETCHING; MICROELECTRODES; MICROSTRUCTURE; PHOTORESISTS; PYROLYSIS; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; THERMAL EXPANSION; THERMODYNAMIC STABILITY; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; ULTRAVIOLET RADIATION;

GLASSY CARBON (GC); MICROFABRICATION; SCANNING PROBE MICROSCOPY (SPM);

CARBON;

EID: 1242264950     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.1639165     Document Type: Article

References (57)

1. D. J. Harrison, A. Manz, Z. Fan, H. Ludi, and H. M. Widmer, Anal. Chem., 64, 1926 (1992).
2. D. J. Harrison, K. Fluri, K. Seiler, Z. Fan, C. S. Effenhauser, H. Ludi, and H. M. Widmer, Science, 261, 895 (1993).
3. J. M. Bustillo, R. T. Howe, and R. S. Muller, in Proceedings of the IEEE, Vol. 86, p. 1552 (1998).
4. W. Goepel, Sens. Actuators A, 56, 83 (1996).
5. P. Vanysek and D. M. DeVaney, Anal. Chem., 70, 179 (1998).
6. A. Kumar, H. A. Biebuyck, and G. M. Whitesides, Langmuir, 10, 1498 (1994).
7. Y. Xia, X.-M. Zhao, and G. M. Whitesides, Microelectron. Eng., 32, 255 (1996).
8. G. K. Kiema, G. Fitzpatrick, and M. T. McDermott, Anal. Chem., 71, 4306 (1999).
9. G. K. Kiema, M. Aktary, and M. T. McDermott, J. Electroanal. Chem., 540, 7 (2003).
10. S. Yamada and H. Sato, Nature (London), 193, 261 (1962).
11. G. M. Jenkins and K. Kawamura, Nature (London), 231, 175 (1971).
12. W. E. van der Linden and J. W. Dieker, Anal. Chim. Acta, 119, 1 (1980).
13. R. C. Engstrom, Anal. Chem., 54, 2310 (1982).
14. K. Kinoshita, Carbon: Electrochemical and Physiochemical Properties, John Wiley & Sons, New York (1988).
15. R. L. McCreery, in Electroanalytical Chemistry, A. J. Bard, Editor, Vol. 17, p. 221, Marcel Dekker, New York (1991).
16. M. Delamar, R. Hitmi, J. Pinson, and J. M. Saveant, J. Am. Chem. Soc., 114, 5883 (1992).
17. R. S. Dienhammer, M. Ho, J. W. Anderegg, and M. D. Porter, Langmulr, 10, 1306 (1994).
18. Y.-C. Liu and R. L. McCreery, J. Am. Chem. Soc., 117, 11254 (1995).
19. A. Anne, B. Blanc, J. Moiroux, and J.-M. Saveant, Langmuir, 14, 2368 (1998).
20. J. K. Kariuki and M. T. McDermott, Langmuir, 15, 6534 (1999).
21. R. Kostecki, X. Song, and K. Kinoshita, Elecirochem. Solid-State Lett., 2, 465 (1999).
22. A. Hierlemann, D. Lange, C. Hagleitner, N. Kerness, A. Koll, O. Brand, and H. Baltes, Sens. Actuators B, 70, 2 (2000).
23. E. Frackowiak and F. Beguin, Carbon, 39, 937 (2001).
24. S. Nomoto, H. Nakata, K. Yoshioka, A. Yoshida, and H. Yoneda, J. Power Sources, 97-98, 807 (2001).
25. O. J. A. Schueller, S. T. Brittain, C. Marzolin, and G. M. Whitesides, Chem. Mater., 9, 1399 (1997).
26. O. J. A. Schueller, S. T. Brittain, and G. M. Whitesides, Adv. Mater. (Weinheim, Ger,), 9, 477 (1997).
27. O. J. A. Schueller, S. T. Brittain, and G. M. Whitesides, Sens. Actuators A, 72, 125 (1999).
28. K. Morita and Y. Shimizu, Anal. Chem., 61, 159 (1989).
29. Y. Shimizu and K. Morita, Anal. Chem., 62, 1498 (1990).
30. S. Ranganathan, R. L. McCreery, S. M. Majji, and M. Madou, J. Electrochem. Soc., 147, 277 (2000).
31. S. Ranganathan and R. L. McCreery, Anal. Chem., 73, 893 (2001).
32. L. J. Kepley and A. J. Bard, Anal. Chem., 60, 1459 (1988).
33. C. A. McDermott, K. R. Kneten, and R. L. McCreery, J. Electrochem. Soc., 140, 2593 (1993).
34. A. J. Downard and A. D. Roddick, Electroanalysis, 6, 409 (1994).
35. Y. Yang and Z. G. Lin, J. Appl. Electrochem., 25, 259 (1995).
36. A. L. Beilby, T. A. Sasaki, and H. M. Stem, Anal. Chem., 67, 976 (1988).
37. R. A. Engstrom and V. A. Stresser, Anal. Chem., 56, 136 (1984).
38. R. J. Bowling, R. T. Packard, and R. L. McCreery, J. Am. Chem. Soc., 111, 1217 (1989).
39. J. Wang, D. Martinez, R. Yaniv, and L. D. McCormiok, J. Electroanal. Chem., 278, 379 (1990).
40. M. S. Freund, A. Brajter-Toth, T. M. Cotton, and E. R. Henderson, Anal. Chem., 63, 1047 (1991).
41. P. Heiduschika, A. W. Münz, and W. Gopel, Electrvchim. Acta, 39, 2207 (1994).
42. A. L. Beilby and A. Carlsson, J. Electroanal. Chem., 248, 283 (1988).
43. D. M. Anjo, M. Kahr, M. M. Khodabakhsh, S. Nowinski, and M. Wanger, Anal. Chem., 61, 2603 (1989).
44. G. V. Korshin, J. Electroanal. Chem., 446, 13 (1998).
45. C. Kozlowski and P. Sherwood, J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1, 81, 2745 (1985).
46. R. N. Ross and H. Sokol, J. Electrochem. Soc., 131, 1742 (1984).
47. R. Nishitani, Y. Sasaki, and Y. Nishina, Synth. Met., 34, 315 (1990).
48. D. C. Alsmeyer and R. L. McCreery, Anal. Chem., 64, 1528 (1992).
49. D. Alliata, P. Haring, O. Haas, R. Kotz, and H. Siegenthaler, Electrochem. Commun., 1, 5 (1999).
50. B. Schnyder, D. Alliata, R. Kotz, and H. Siegenthaler, Appl. Surf. Sci., 173, 221 (2001).
51. W. H. Smyrl, R. T. Atanasoski, L. Atanasoska, L. Hartshorn, K. Nygren, and E. A. Fletchcr, J. Electroanal. Chem., 267, 67 (1989).
52. W. H. Smyrl, R. T. Atanasoski, L. Atanasoska, L. Hartshorn, M. Lien, and K. Nygren, and E. A. Fletcher, J. Electroanal. Chem., 264, 301 (1989).
53. A. Firouzi, R. T. Atanasoski, and W. H. Smyrl, J. Electroanal. Chem., 330, 369 (1992).
54. D. Alliata, R. Kotz, O. Haas, and H. Siegenthaler, Langmuir, 15, 8483 (1999).
55. H. Becker and L. E. Locascio, Talanta, 56, 267 (2002).
56. P. C. H. Li and D. J. Harrison, Anal. Chem., 69, 1564 (1997).
57. S. Ssenyange and M. T. McDermott, Manuscript in preparation.