-
4
-
-
0033600230
-
-
Muller, D. A.; Sorsch, T.; Moccio, S.; Baumann, F. H.; Evans-Lutterodt, K.; Timp, G. Nature 1999, 399, 758.
-
(1999)
Nature
, vol.399
, pp. 758
-
-
Muller, D.A.1
Sorsch, T.2
Moccio, S.3
Baumann, F.H.4
Evans-Lutterodt, K.5
Timp, G.6
-
5
-
-
0033600266
-
-
Schulz, M. Nature 1999, 399, 729.
-
(1999)
Nature
, vol.399
, pp. 729
-
-
Schulz, M.1
-
7
-
-
0041780397
-
-
The International Technology Roadmap for Semiconductors
-
The International Technology Roadmap for Semiconductors, 2001, http://public.itrs.net/Files/2001ITRS/Home.htm.
-
(2001)
-
-
-
9
-
-
0035281034
-
-
Wang, S. J.; Ong, C. K.; Xu, S. Y.; Chen, P.; Tjiu, W. C.; Huan, A.; Yoo, W. J.; Lim, J. S.; Feng, W.; Choi, W.K. Semicond. Sci. Technol. 2001, 16, L13.
-
(2001)
Semicond. Sci. Technol.
, vol.16
-
-
Wang, S.J.1
Ong, C.K.2
Xu, S.Y.3
Chen, P.4
Tjiu, W.C.5
Huan, A.6
Yoo, W.J.7
Lim, J.S.8
Feng, W.9
Choi, W.K.10
-
10
-
-
0036117443
-
-
Conley, J. F., Jr.; Ono, Y.; Zhuang, W.; Tweet, D. J.; Gao, W.; Mohammed, S. K.; Solanki, R. Electrochem. Solid-State Lett. 2002, 5, C57.
-
(2002)
Electrochem. Solid-State Lett.
, vol.5
-
-
Conley J.F., Jr.1
Ono, Y.2
Zhuang, W.3
Tweet, D.J.4
Gao, W.5
Mohammed, S.K.6
Solanki, R.7
-
11
-
-
21544458715
-
-
DiMaria, D. J.; Cartier, E.; Arnold, D. J. Appl. Phys. 1993, 73, 3367.
-
(1993)
J. Appl. Phys.
, vol.73
, pp. 3367
-
-
DiMaria, D.J.1
Cartier, E.2
Arnold, D.3
-
15
-
-
0019612331
-
-
Feigl, F. J.; Young, D. R.; Dimaria, D. J.; Lai, S.; Calise, J. J. Appl. Phys. 1981, 52, 5665.
-
(1981)
J. Appl. Phys.
, vol.52
, pp. 5665
-
-
Feigl, F.J.1
Young, D.R.2
Dimaria, D.J.3
Lai, S.4
Calise, J.5
-
16
-
-
0023962083
-
-
Kassabov, J.; Atanassova, E.; Dimitrov, D.; Goranova, E. Solid-State Electron. 1988, 31, 147 and references therein.
-
(1988)
Solid-State Electron.
, vol.31
, pp. 147
-
-
Kassabov, J.1
Atanassova, E.2
Dimitrov, D.3
Goranova, E.4
-
17
-
-
0020705132
-
-
Sah, C.-T.; Sun, J. Y.-C.; Tzou, J. J.-T. J. Appl. Phys. 1983, 54, 944.
-
(1983)
J. Appl. Phys.
, vol.54
, pp. 944
-
-
Sah, C.-T.1
Sun, J.Y.-C.2
Tzou, J.J.-T.3
-
18
-
-
0024702873
-
-
Kassabov, J.; Atanassova, E.;; Goranova, E.; Dimitrov, D.; Vasileva, J. Solid-State Electron. 1989, 32, 535.
-
(1989)
Solid-State Electron.
, vol.32
, pp. 535
-
-
Kassabov, J.1
Atanassova, E.2
Goranova, E.3
Dimitrov, D.4
Vasileva, J.5
-
19
-
-
0001193103
-
-
Schwerin, A. V.; Heyns, M. M.; Weber, W. J. Appl. Phys. 1990, 67, 7595.
-
(1990)
J. Appl. Phys.
, vol.67
, pp. 7595
-
-
Schwerin, A.V.1
Heyns, M.M.2
Weber, W.3
-
21
-
-
0020276053
-
-
Sah, C. T.; Sun, J.; Tzou, J. J. Appl. Phys. 1982, 53, 8886.
-
(1982)
J. Appl. Phys.
, vol.53
, pp. 8886
-
-
Sah, C.T.1
Sun, J.2
Tzou, J.3
-
26
-
-
4243629411
-
-
McFeely, F. R.; Cartier, E.; Terminello, L. J.; Santoni, A.; Fischetti, M. V. Phys. Rev. Lett. 1990, 65, 1937.
-
(1990)
Phys. Rev. Lett.
, vol.65
, pp. 1937
-
-
McFeely, F.R.1
Cartier, E.2
Terminello, L.J.3
Santoni, A.4
Fischetti, M.V.5
-
27
-
-
0001215167
-
-
Fischetti, M. V.; Dimaria, D. J.; Brorson, S. D.; Theis, T. N.; Kirtley, J. R. Phys. Rev. 1985, B31, 8124.
-
(1985)
Phys. Rev.
, vol.B31
, pp. 8124
-
-
Fischetti, M.V.1
Dimaria, D.J.2
Brorson, S.D.3
Theis, T.N.4
Kirtley, J.R.5
-
28
-
-
0001422334
-
-
Buchanan, D. A.; Fischetti, M. V.; DiMaria, D. J. Phys. Rev. 1991, B43, 1471.
-
(1991)
Phys. Rev.
, vol.B43
, pp. 1471
-
-
Buchanan, D.A.1
Fischetti, M.V.2
DiMaria, D.J.3
-
29
-
-
84939319993
-
-
Eccleston, W., Uren, M., Eds.; Adam Hilger: New York
-
Heyns, M. M.; Schwerin, A. V. Insulating Films on Semiconductors; Eccleston, W., Uren, M., Eds.; Adam Hilger: New York, 1991; p 73-82.
-
(1991)
Insulating Films on Semiconductors
, pp. 73-82
-
-
Heyns, M.M.1
Schwerin, A.V.2
-
30
-
-
0029321608
-
-
Stahlbush, R. E.; Cartier, E.; Buchanan, D. A. Microelectron. Eng. 1995, 28, 15.
-
(1995)
Microelectron. Eng.
, vol.28
, pp. 15
-
-
Stahlbush, R.E.1
Cartier, E.2
Buchanan, D.A.3
-
32
-
-
0015207089
-
-
Nicollian, E. H.; Berglund, C. N.; Schmidt, P. F.; Andrews, J. M. J. Appl. Phys. 1971, 42, 5654.
-
(1971)
J. Appl. Phys.
, vol.42
, pp. 5654
-
-
Nicollian, E.H.1
Berglund, C.N.2
Schmidt, P.F.3
Andrews, J.M.4
-
34
-
-
0036467894
-
-
Giorgi, J. B.; Schroeder, T.; Baumer, M.; Freund, H.-J. Surf. Sci. 2002, 498, L71.
-
(2002)
Surf. Sci.
, vol.498
-
-
Giorgi, J.B.1
Schroeder, T.2
Baumer, M.3
Freund, H.-J.4
-
35
-
-
0035417410
-
-
Schroeder, T.; Hammoudeh, A.; Pykavy, M.; Magg, N.; Adelt, M.; Baumer, M.; Freund, H.-J. Solid-State Electron. 2001, 45, 1471.
-
(2001)
Solid-State Electron.
, vol.45
, pp. 1471
-
-
Schroeder, T.1
Hammoudeh, A.2
Pykavy, M.3
Magg, N.4
Adelt, M.5
Baumer, M.6
Freund, H.-J.7
-
36
-
-
0003868030
-
-
Ertl, G., Knozinger, H., Weitkamp, J., Eds.; VCH Verlagsgesellschaft mbH: Weinheim, Germany
-
Bond, G. C. Handbook of Heterogeneous Catalysis; Ertl, G., Knozinger, H., Weitkamp, J., Eds.; VCH Verlagsgesellschaft mbH: Weinheim, Germany, 1997; pp 752-770.
-
(1997)
Handbook of Heterogeneous Catalysis
, pp. 752-770
-
-
Bond, G.C.1
-
37
-
-
43949160979
-
-
Parmaliana, A.; Sokolovskii, V.; Micelli, D.; Arena, F.; Giordiano, N. J. Catal. 1994, 148, 514.
-
(1994)
J. Catal.
, vol.148
, pp. 514
-
-
Parmaliana, A.1
Sokolovskii, V.2
Micelli, D.3
Arena, F.4
Giordiano, N.5
-
39
-
-
0001060961
-
-
Zhang, W.; Desikan, A.; Oyama, S. T. J. Phys. Chem. 1995, 99, 14468.
-
(1995)
J. Phys. Chem.
, vol.99
, pp. 14468
-
-
Zhang, W.1
Desikan, A.2
Oyama, S.T.3
-
40
-
-
0001703738
-
-
Crowell, J. E.; Tedder, L. L.; Cho, H.-C.; Cascarano, F.M.; Logan, M. A. J. Vac. Sci. Technol. 1990, A8, 1864.
-
(1990)
J. Vac. Sci. Technol.
, vol.A8
, pp. 1864
-
-
Crowell, J.E.1
Tedder, L.L.2
Cho, H.-C.3
Cascarano, F.M.4
Logan, M.A.5
-
41
-
-
36449001451
-
-
Tedder, L. L.; Lu, G.; Crowell, J. E. J. Appl. Phys. 1991, 69, 7037.
-
(1991)
J. Appl. Phys.
, vol.69
, pp. 7037
-
-
Tedder, L.L.1
Lu, G.2
Crowell, J.E.3
-
44
-
-
84956037713
-
-
Kim, S. S.; Tsu, D. V.; Lucovsky, G. J. Vac. Sci. Technol. 1988, A6, 1740.
-
(1988)
J. Vac. Sci. Technol.
, vol.A6
, pp. 1740
-
-
Kim, S.S.1
Tsu, D.V.2
Lucovsky, G.3
-
46
-
-
0033809240
-
-
Schroeder, T.; Adelt, M.; Richter, B.; Naschitzki, M.; Baumer, M.; Freund, H.-J. Surf. Sci. Lett. 2000, 7, 7.
-
(2000)
Surf. Sci. Lett.
, vol.7
, pp. 7
-
-
Schroeder, T.1
Adelt, M.2
Richter, B.3
Naschitzki, M.4
Baumer, M.5
Freund, H.-J.6
-
47
-
-
0041822630
-
-
Vix-Guterl, C.; Lahaya, J.; Ehrburger, P. Fuel 1997, 76, 517.
-
(1997)
Fuel
, vol.76
, pp. 517
-
-
Vix-Guterl, C.1
Lahaya, J.2
Ehrburger, P.3
-
49
-
-
0035249218
-
-
Chang, C.-C.; Huang, I.-J.; Lung, C.-H.; Hwang, H.-Y.; Teng, L.-Y. J. Phys. Chem. 2001, 105, 994.
-
(2001)
J. Phys. Chem.
, vol.105
, pp. 994
-
-
Chang, C.-C.1
Huang, I.-J.2
Lung, C.-H.3
Hwang, H.-Y.4
Teng, L.-Y.5
-
51
-
-
0000795870
-
-
Harrison, D. E., Jr.; Kelly, P. W.; Garrison, B. J.; Winograd, N. Surf. Sci. 1978, 76, 311.
-
(1978)
Surf. Sci.
, vol.76
, pp. 311
-
-
Harrison D.E., Jr.1
Kelly, P.W.2
Garrison, B.J.3
Winograd, N.4
-
55
-
-
0029375432
-
-
Wood, B. J.; Lamb, R. N.; Raston, C. L. Surf. Interface Anal. 1995, 23, 680.
-
(1995)
Surf. Interface Anal.
, vol.23
, pp. 680
-
-
Wood, B.J.1
Lamb, R.N.2
Raston, C.L.3
-
56
-
-
0018302032
-
-
Wiley-Interscience: New York; Chapter 6
-
Iler, R. K. The Chemistry of Silica; Wiley-Interscience: New York, 1979; Chapter 6.
-
(1979)
The Chemistry of Silica
-
-
Iler, R.K.1
-
60
-
-
0000540761
-
-
Lygin, V. I.; Serazetdinov, A. D.; Chertikhina, O. L. Zh. Fiz. Khim. 1989, 63, 2948.
-
(1989)
Zh. Fiz. Khim.
, vol.63
, pp. 2948
-
-
Lygin, V.I.1
Serazetdinov, A.D.2
Chertikhina, O.L.3
-
61
-
-
0040167629
-
-
D'Souza, A. S.; Pantano, C. G.; Kallury, K. M. R. J. Vac. Sci. Technol. 1997, A15, 526.
-
(1997)
J. Vac. Sci. Technol.
, vol.A15
, pp. 526
-
-
D'Souza, A.S.1
Pantano, C.G.2
Kallury, K.M.R.3
-
66
-
-
0002218651
-
-
Anderson, J. R., Boudart, M., Eds.; Springer: Berlin
-
Boehm, H.-P.; Knozinger, H. In Catalysis: Science and Technology; Anderson, J. R., Boudart, M., Eds.; Springer: Berlin, 1983; Vol. 4, pp. 40-189.
-
(1983)
Catalysis: Science and Technology
, vol.4
, pp. 40-189
-
-
Boehm, H.-P.1
Knozinger, H.2
-
67
-
-
0035888448
-
-
Zaki, M. I.; Hasan, M. A.; Al-Sagheer, E. A.; Pasupulety, L. Colloids Surf. 2001, 190, 261.
-
(2001)
Colloids Surf.
, vol.190
, pp. 261
-
-
Zaki, M.I.1
Hasan, M.A.2
Al-Sagheer, E.A.3
Pasupulety, L.4
-
68
-
-
0009788954
-
-
Fleish, T.; Ott, G. L.; Winograd, N.; Delgass, W. N. Surf. Sci. 1978, 78, 141.
-
(1978)
Surf. Sci.
, vol.78
, pp. 141
-
-
Fleish, T.1
Ott, G.L.2
Winograd, N.3
Delgass, W.N.4
-
70
-
-
0001142804
-
-
Matsumura, Y.; Hashimoto, K.; Yoshida, S. J. Catal. 1989, 117, 135.
-
(1989)
J. Catal.
, vol.117
, pp. 135
-
-
Matsumura, Y.1
Hashimoto, K.2
Yoshida, S.3
-
71
-
-
0041780389
-
-
Winograd, N.; Harrison, D. E., Jr.; Garrison, B. J. Surf. Sci. 1978, 78, 467.
-
(1978)
Surf. Sci.
, vol.78
, pp. 467
-
-
Winograd, N.1
Harrison D.E., Jr.2
Garrison, B.J.3
-
75
-
-
0001740559
-
-
Saracual, A. R. A.; Pulton, S. K.; Vicary, G.; Rochester, C. J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1982, 178, 2285.
-
(1982)
J. Chem. Soc., Faraday Trans.
, vol.178
, pp. 2285
-
-
Saracual, A.R.A.1
Pulton, S.K.2
Vicary, G.3
Rochester, C.4
-
77
-
-
36448998690
-
-
Curtiss, L. A.; Lucas, D. J.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1995, 102, 3292.
-
(1995)
J. Chem. Phys.
, vol.102
, pp. 3292
-
-
Curtiss, L.A.1
Lucas, D.J.2
Pople, J.A.3
-
79
-
-
0000336295
-
-
Ramond, T. M.; Davico, G. E.; Schwartz, R. L.; Lineberger, W. C. J. Chem. Phys. 2000, 112, 1158.
-
(2000)
J. Chem. Phys.
, vol.112
, pp. 1158
-
-
Ramond, T.M.1
Davico, G.E.2
Schwartz, R.L.3
Lineberger, W.C.4
-
80
-
-
0001944851
-
-
Dang, T. T.; Motell, E. L.; Travers, M. J.; Clifford, E. P.; Ellison, G. B.; Depuy, C. H.; Bierbaum, V. M. Int. J. Mass Spectrom. Ion Processes 1993, 123, 171.
-
(1993)
Int. J. Mass Spectrom. Ion Processes
, vol.123
, pp. 171
-
-
Dang, T.T.1
Motell, E.L.2
Travers, M.J.3
Clifford, E.P.4
Ellison, G.B.5
Depuy, C.H.6
Bierbaum, V.M.7
-
83
-
-
0021098233
-
-
Nobes, R. H.; Bouna, W. J.; Radom, L. J. Am. Chem. Soc. 1983, 105, 309.
-
(1983)
J. Am. Chem. Soc.
, vol.105
, pp. 309
-
-
Nobes, R.H.1
Bouna, W.J.2
Radom, L.3
-
85
-
-
0040249364
-
-
Matsumura, Y.; Hashimoto, K.; Yoshida, S. J. Catal. 1990, 122, 352.
-
(1990)
J. Catal.
, vol.122
, pp. 352
-
-
Matsumura, Y.1
Hashimoto, K.2
Yoshida, S.3
-
87
-
-
0001466414
-
-
Hernandez, R.; Masclet, P.; Mouvier, G. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 1977, 10, 333.
-
(1977)
J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom.
, vol.10
, pp. 333
-
-
Hernandez, R.1
Masclet, P.2
Mouvier, G.3
-
88
-
-
0011700956
-
-
Ohno, K.; Okamura, K.; Yamakado, H.; Hoshino, S.; Takami, T.; Yamauchi, M. J. Phys. Chem. 1995, 99, 14247.
-
(1995)
J. Phys. Chem.
, vol.99
, pp. 14247
-
-
Ohno, K.1
Okamura, K.2
Yamakado, H.3
Hoshino, S.4
Takami, T.5
Yamauchi, M.6
-
90
-
-
0037187494
-
-
McCormick, R. L.; Al-Sahali, M. B.; Alptekin, G. O. Appl. Catal. 2002, A226, 129.
-
(2002)
Appl. Catal.
, vol.A226
, pp. 129
-
-
McCormick, R.L.1
Al-Sahali, M.B.2
Alptekin, G.O.3
-
91
-
-
0026203972
-
-
Matsumura, Y.; Hashimoto, K.; Yoshida, S. J. Mol. Catal. 1991, 68, 73.
-
(1991)
J. Mol. Catal.
, vol.68
, pp. 73
-
-
Matsumura, Y.1
Hashimoto, K.2
Yoshida, S.3
-
93
-
-
33845470209
-
-
Fink, M. J.; Haller, K. J.; West, R.; Michl, J. J. Am. Chem. Soc. 1984, 106, 822.
-
(1984)
J. Am. Chem. Soc.
, vol.106
, pp. 822
-
-
Fink, M.J.1
Haller, K.J.2
West, R.3
Michl, J.4
-
95
-
-
0000954641
-
-
Bunker, B. C.; Haaland, D. M.; Ward, K. J.; Michalske, T. A.; Smith, W. L.; Binkley, J. S.; Melius, C. F.; Balfe, C. A. Surf. Sci. 1989, 210, 406.
-
(1989)
Surf. Sci.
, vol.210
, pp. 406
-
-
Bunker, B.C.1
Haaland, D.M.2
Ward, K.J.3
Michalske, T.A.4
Smith, W.L.5
Binkley, J.S.6
Melius, C.F.7
Balfe, C.A.8
-
96
-
-
0020705132
-
-
Sah, C.-T.; Sun, J. Y.-C.; Tzou, J. J. J. Appl. Phys. 1983, 54, 944.
-
(1983)
J. Appl. Phys.
, vol.54
, pp. 944
-
-
Sah, C.-T.1
Sun, J.Y.-C.2
Tzou, J.J.3
-
102
-
-
0032475562
-
-
Schmidt, B. C.; Holtz, F. M.; Beny, J.-M. J. Non-Cryst. Solids 1998, 240, 91.
-
(1998)
J. Non-Cryst. Solids
, vol.240
, pp. 91
-
-
Schmidt, B.C.1
Holtz, F.M.2
Beny, J.-M.3
|