A SSIMS and TPD study of terf-butylacetylacetate adsorption on Si(100)

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 105, Issue 5, 2001, Pages 994-1002

  Chang, Che Chen ^a   Huang, Ing Jye ^a   Lung, Chien Hua ^a   Hwang, Hsin Yen ^a   Teng, Lu Yu ^a  

^a NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADSORPTION; CHEMICAL BONDS; DECOMPOSITION; DISSOCIATION; LOW TEMPERATURE EFFECTS; MASS SPECTROMETRY; MOLECULAR STRUCTURE; SEMICONDUCTING SILICON; SUBSTRATES; SURFACES; TEMPERATURE PROGRAMMED DESORPTION;

BUTYLACETYLACETATE; STATIC SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY; SURFACE BONDING;

ORGANIC COMPOUNDS;

EID: 0035249218     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp002660w     Document Type: Article

References (74)

1. Kodas, T.; Hampden-Smith, M. J.; Eds.; The Chemistry of Metal CVD, VCH Publishers Inc.: VVeinheim, Germany, 1994.
2. Vossen, J. L.; Kern, W.; Eds., Thin Film Processes 11; Academic Press: Boston, 1991.
3. Ho, P. S.; d'Heurle, F. M.; Gangulee, A.; Electro- and Thermo-Transport in Metals and Alloys; Hummel, R. E., Huntington, H. B., Eds.; American Institute of Mining, Metallurgical, and Petroleum Engineers: New York, 1977; pp 124-126.
4. .Pauleau, Y.; Fasasi, A. Y. Chem. Mater. 1991, 3, 45.
5. Awaya, N.; Arita, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 1991, 30, 1813.
6. Temple, Reisman, A. J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 3525.
7. Kaloyeros, A. E.; Feng, A.; Garhart, J.; Brooks, K. C.; Ghosh, S. K.; Saxena, A. N.; Luehers, F. J. Electron. Mater. 1990, 19, 271.
8. Lecohier, B.; Calpini, B.; Philippoz, J.-M.; van den Bergh, H.; Laub, D.; Buffet, P. A. J. Electrochem. Soc. 1993, 140, 789.
9. Lai, W. G.; Xie, Y.; Griffin, G. L. J. Electrochem. Soc. 1991,138, 3499.
10. Kim, D.-H.; Wentorf, R. H.; Gill, W. N. J. Electrochem. Soc. 1993, 140, 3273.
11. Awaya, N.; Arita, Y. Jpn. J. Appl. Phys. 1993,132, 3915.
12. Van Hemert, R. L.; Spendlove, L. B.; Sievers, R. E. J. Electrochem. Soc. 1965, 112, 1123.
13. Huang, S. T.; Shim, I.; Lee, K. O.; Kim, K. S.; Kim, J. H.; Choi, G. J.; Cho, Y. S.; Choi, H. J. Mater. Res. J. Mater. Res. 1996, 11, 1051.
14. Zama, H.; Miyake, T.; Hattori, T. Jpn. J. Appl. Phys. Lett. 1992, 31, L588.
15. Maruyama, T.; Ikuta, Y. J. Mater. Sei. 1993, 28, 5540.
16. Jefferies, P. M.; Girolami, G. Chem. Mater. 1989, 1, 8.
17. Fine, S. J.; Norman, J. A. T.; Muratore, B. A.; Dyer, P. N.; Abstracts of Papers, Fall Meeting of the Materials Research Society, 1990, E4.8.
18. Beach, D. B.; Legoules, F. K.; Hu, C.-K. Chem. Mater. 1990, 2, 216.
19. Hampden-Smith, M. J.; Kodas, T. T.; Paffett, M.; Fair, J. D.; Shin, H.-K. Chem. Mater. 1990, 2, 636.
20. Temple, D.; Reisman, A. J. Electrochem. Soc. 1989, 136, 3525.
21. Hampden-Smith, M. J.; Kodas, T. T. Polyhedron 1995, 14, 699.
22. Reynolds, S. K.; Smart, C. J.; Baran, E. F. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 2332.
23. Stumm, T. H.; van den Bergh, H. Mater. Sei. Eng. 1994, B23, 48.
24. Voss, S.; Gandikota, S.; Chen, L.-Y.; Tao, R.; Cong, D.; Duboust, A.; Yoshida, N.; Ramaswami, S. Microelectron. Eng. 2000, 50, 501.
25. Kroger, R.; Eizenberg, M.; Cong, D.; Yoshida, N.; Chen, L. Y.; Ramaswami, S.; Carl, D. Microelectron. Eng. 2000, 50, 375.
26. Goswami, J.; Raghunathan, L.; Devi, A.; Shivashankar, S. A.; Chandrasekaran, S. J. Mater. Sei. Lett. 1996, 15, 573.
27. Devi, A.; Shivashankar, S. A. J. Mater. Sei. Lett. 1998, 17, 367.
28. Devi, A.; Goswami, J.; Lakshmi, R.; Shivashankar, S. A.; Chandrasekaran, S. J. Mater. Res. 1998, 13, 687.
29. Zahidi, E.; Castonguay, M.; McBreen, P. H. J. Phys. Chem. 1995, 99, 17906.
30. Barteau, M. A.; Bowker, M.; Madix, R. J. Surf. Sei. 1980, 94 303.
31. Schwaner, A. L.; Fieberg, J. E.; White, J. M. J. Phys. Chem. 1997, B101, 11112.
32. Schwaner, A. L.; White, J. M. J. Phys. Chem. 1997, B101, 11119.
33. Zahidi, E.; Castonguay, M.; McBreen, P. H. J. Am. Chem. Soc. 1994, 116, 5847.
34. Sexton, B. A.; Hughes, A. E.; Avery, N. R. Surf. Sei. 1985, 155 366.
35. Sexton, B. A.; Hughes, A. E.; Avery, N. R. Appl. Surf. Sci. 1985, 22/23, 404.
36. Worley, S. D.; Yates, J. T., Jr. J. Catal. 1977, 48, 395.
37. Parmeter, J. E. J. Phys. Chem. 1993, 97, 1530.
38. Girolami, G. S.; Jeffries, P. M.; Dubois, L. H. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 1015.
39. Nigg, H. L.; Masel, R. I. Surface Sei. 1998, 409, 428.
40. Ishizaka, A.; Shiraki, Y. J. Electrochem. Soc. 1985, 133, 666.
41. Bozso, F.; Yates, J. T., Jr.; Choyke, W. J.; Muehlhoff, L. J. Appl. Phys. 1985, 57, 2771.
42. Chang, C.-C; Hsieh, J.-Y. Phys. Reu. 1998, B57, 57.
43. Garrison, B. J. J. Am. Chem. Soc. 1980, 102, 6553.
44. Wandass, J. H.; Schmitt, R. L.; Gardella, J. A., Jr. Appl. Surf. Sei. 1989, 40, 85.
45. Stenhagen, E.; Abrahamsson, S.; McLafferty, F. W., Eds.; Atlas of Mass Spectral Data; Interscience Publishers: New York.
46. Ibach, H.; Bruchmann, H. D.; Wagner, H. Appl. Phys. 1982, A29, 113.
47. Schulze, R. K.; Evans, J. F. Appl. Surf. Sei. 1994, 81, 449.
48. Joyce, B. A. Surf. Sei. 1973, 35, 1.
49. Walczak, M. M.; Leavitt, P. K.; Thiel, P. A. J. Am. Chem. Soc. 1987, 109, 5621.
50. Hashizume, T.; Hamers, R. J.; Demuth, J. E.; K. Marken. Sakurai, T. J. Vac. Sci. Technol 1990, A8, 249.
51. Casaletto, M. P.; Zanoni, R.; Carbone, M.; Piancastelli, M. N.; Aballe, L.; Weiss, K.; Horn, K. Surf. Sei. 2000, 447, 237.
52. Carbone, M.; Piancastelli, M. N.; Paagel, J. J.; Chr. Weindel, Horn, K. Surf. Sei. 1998, 412/413, 441.
53. Carbone, M.; Zanoni, R.; Piancastelli, M. N.; Comtet, G.; Dujardin, G.; Hellner, L. Surf. Sei. 1996, 352-354, 391.
54. Kaneda, G.; Murata, J.; Takeuchi, T.; Suzuki, Y.; Sanada, N.; Fukuda, Y. Appl. Surf. Sei. 1997, 113/114, 546.
55. Rudkevich, E.; Saulys, D.; Gains, D.; Kuech, T. F.; McCaughan, L. Surf. Sei. 1997, 383, 69.
56. Rueter, M. A.; Vohs, J. M. Surf. Sei. 1992, 262, 42.
57. Darlington, B.; Foster, M.; Campion, A. Surf. Sei. 1994,304, L407.
58. Schmidt, J.; Ch. Stuhlmann, Ibach, H. Surf. Sei. 1994, 302, 10.
59. Du, W.; Keeling, L. A.; Greenlief, C. M. J. Vac. Sei. Teehnol. 1994, /1/22281.
60. Lin, R.; Gow, T. R.; Backman, A. L.; Cadwell, L. A.; Lee, F.; Masel, R. I. J. Vac. Sei. Teehnol. 1989, B7, 725.
61. Bent, B. E.; Nuzzo, R. G.; Dubois, L. H. J. Vac. Sei. Teehnol. 1988, A6, 1920.
62. Bent, B. E.; Nuzzo, R. G.; Dubois, L. H. J. Am. Chem. Soc. 1989, 111, 1634.
63. Dillon, A. C.; Robinson, M. B.; Han, M. Y.; George, S. M. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1991, 222, 213.
64. Keeling, L. A.; Chen, L.; Greenlief, C. M.; Mahajan, A.; Bonser, D. Chem. Phys. Lett. 1994, 2/7, 136.
65. Rueter, M. A.; Vohs, J. M. J. Vac. Sei. Teehnol. 1991, A9, 2916.
66. Chen, J. G.; Beebe, T. P., Jr.; Crowell, J. E.; Yates, J. T., Jr. J. Am. Chem. Soc. 1987, 109, 1726.
67. Egger, K. W. J. Am. Chem. Soc. 1969, 91, 2867.
68. Pelzel, R. L; Hopcus, A. B.; Owen, J. H. G.; Nosho, B. Z.; Weinberg, W. H. J. Vac. Sei. Teehnol. 1998, B16, 2399.
69. Jeffries, P. M.; Dubois, L. H.; Girolami, G. S. Chem. Mater. 1992, 4,1169.
70. O'Neal, H. E.; Benson, S. W. J. Phys. Chem. 1967, 71, 2903.
71. Girolami, G. S.; Nuzzo, R. G.; Lin, W. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 5988.
72. Andreassen, A. L.; Zebelman, D.; Bauer, S. H. J. Am. Chem. Soc. 1971,93, 1148.
73. Briggs, G. A. D.; Fisher, A. J. Surf. Sei. Rep. 1999, 33, 1.
74. Armstrong, J. L.; White, J. M.; Langell, M. J. Vac. Sei. Teehnol. 1997, A15 1146.