Nanoporous structure of methyl-silsesquioxane films using monoenergetic positron beams

Journal of Applied Physics

Volumn 90, Issue 5, 2001, Pages 2498-2503

  Uedono, Akira ^a   Chen, Zhi Quan ^a,d   Suzuki, Ryoichi ^b   Ohdaira, Toshiyuki ^b   Mikado, Tomohisa ^b   Fukui, Shiomi ^c   Shiota, Atsushi ^c   Kimura, Shin Ichi ^c  

^a UNIVERSITY OF TSUKUBA   (Japan)

^b NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY AIST   (Japan)

^c JSR CORPORATION   (Japan)

^d WUHAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0039698125     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1388858     Document Type: Article

References (28)

1. International Technology Roadmap for Semiconductors (Semiconductor Industry Association, 1999).
2. J. H. Chern, J. Huang, L. Arledge, P.-L. Li, and P. Yang, IEEE Electron Device Lett. 13, 32 (1992).
3. Y. Homma, T. Furusawa, H. Morishima, and H. Sato, Solid-State Electron. 41, 1005 (1997).
4. W. L. Wu, W. E. Wallace, E. K. Lin, G. W. Lynn, C. J. Glinka, E. T. Ryan, and H.-M. Ho, J. Appl. Phys. 87, 1193 (2000).
5. P. Hautojärvi and A. Vehanen, in Positrons in Solids, edited by P. Hautojärvi (Springer-Verlag, Berlin, 1979), p. 89.
6. P. G. Coleman, in Positron Beams and their Applications, edited by P. G. Coleman (World Scientific, Singapore, 2000), p. 11.
7. D. W. Gidley, W. E. Frieze, T. L. Dull, J. Sun, A. F. Yee, E. T. Ryan, and H.-M. Ho, Phys. Rev. 60, R5157 (1999).
8. D. W. Gidley, W. E. Frieze, T. L. Dull, J. Sun, A. F. Yee, C. V. Nguyen, and D. Y. Yoon, Appl. Phys. Lett. 76, 1282 (2000).
9. M. P. Petkov, M. H. Weber, K. G. Lynn, K. P. Rodbell, and S. A. Cohen, J. Appl. Phys. 74, 2146 (1999).
10. M. P. Petkov, M. H. Weber, K. G. Lynn, K. P. Rodbell, and S. A. Cohen, J. Appl. Phys. 86, 3104 (1999).
11. M. P. Petkov, M. H. Weber, K. G. Lynn, and K. P. Rodbell, Appl. Phys. Lett. 77, 2470 (2000).
12. K. P. Rodbell, M. P. Petkov, M. H. Weber, K. G. Lynn, Th. Gessmann, W. Volksen, and R. D. Miller, Mater. Sci. Forum 363-365, 15 (2001).
13. S. J. Tao, J. Chem. Phys. 56, 5499 (1972).
14. M. Eldrup, D. Lightbody, and J. N. Sherwood, Chem. Phys. 63, 51 (1981).
15. H. Nakanishi, S. J. Wang, and Y. C. Jean, in Positron Annihilation Studies of Fluids, edited by S. C. Sharma (World Scientific, Singapore, 1988), p. 292.
16. A. Uedono, R. Suzuki, T. Ohdaira, T. Mikado, S. Tanigawa, M. Ban, M. Kyoto, and T. Uozumi, J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 38, 101 (2000).
17. A. Uedono, L. Wei, S. Tanigawa, R. Suzuki, H. Ohgaki, T. Mikado, and Y. Ohji, J. Appl. Phys. 75, 3822 (1994).
18. A. van Veen, H. Schut, M. Clement, J. M. M. de Nijs, A. Kruseman, and M. R. Ijpma, Appl. Surf. Sci. 85, 216 (1995).
19. A. Uedono, T. Moriya, S. Tanigawa, T. Kawano, and Y. Ohji, J. Appl. Phys. 78, 3269 (1995).
20. A. Uedono, M. Hiketa, S. Tanigawa, T. Kitano, T. Kubota, M. Makabe, R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, J. Appl. Phys. 86, 5385 (1999).
21. R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, Radiat. Phys. Chem. 58, 603 (2000).
22. P. Kirkegaard, M. Eldrup, O. E. Mogensen, and N. J. Pedersen, Comput. Phys. Commun. 23, 307 (1981).
23. R. B. Gregory, Nucl. Instrum. Methods Phys, Res. A 302, 496 (1991).
24. O. E. Mogensen, J. Chem. Phys. 60, 998 (1974).
25. L. Xie, G. B. DeMaggio, W. E. Frieze, J. DeVries, D. W. Gidley, H. A. Hristov, and A. F. Yee, Phys. Rev. Lett. 74, 4947 (1995).
26. P. Sferlazzo, S. Berko, and K. F. Canter, Phys. Rev. B 32, 6067 (1985).
27. R. F. Kiefl and D. R. Harshman, Phys. Lett. 98A, 447 (1983).
28. Y. Nagashima, Y. Morinaka, T. Kurihara, Y. Nagai, T. Hyodo, T. Shidara, and K. Nakahara, Phys. Rev. B 58, 12676 (1998).