Sandwich atomic structure in tetrahedral amorphous carbon: Evidence of subplantation model for film growth from hyperthermal species

Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 63, Issue 11, 2001, Pages

  Zhao, J P ^a,b   Chen, Z Y ^a,b  

^a SHANGHAI INSTITUTE OF MICROSYSTEM AND INFORMATION TECHNOLOGY   (China)

^b AIST Shikoku   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CARBON;

ARTICLE; CALCULATION; CHEMICAL ANALYSIS; COMPRESSION; CONCENTRATION (PARAMETERS); ELECTRON MICROSCOPY; FILM; IMAGE ANALYSIS; MODEL; OBSERVATION; THERMAL ANALYSIS;

EID: 0034905979     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.63.115318     Document Type: Article

References (46)

1. S. D. Berger, D. R. McKenzie, and P. J. Martin, Philos. Mag. Lett., 57, 285 (1988).
2. P. H. Gaskell, A. Saeed, P. Chieux, and D. R. McKenzie, Phys. Rev. Lett., 67, 1286 (1991).
3. Y. Lifshitz, S. R. Kasi, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett., 62, 1290 (1989).
4. Y. Lifshitz, S. R. Kasi, J. W. Rabalais, and W. Eckstein, Phys. Rev. B, 41, 10 468 (1990).
5. D. R. McKenzie, D. A. Muller, and B. A. Pailthorpe, Phys. Rev. Lett., 67, 773 (1991).
6. J. Robertson, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A, 342, 277 (1993).
7. Y. Lifshitz, G. D. Lempert, and E. Grossman, Phys. Rev. Lett., 72, 2753 (1994).
8. P. J. Fallon, V. S. Veerasamy, C. A. Davis, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, and J. Koskinen, Phys. Rev. B, 48, 4777 (1993).
9. G. M. Pharr, D. L. Callahan, D. McAdams, T. Y. Tsui, S. Anders, A. Anders, J. W. Ager III, I. G. Brown, C. Singh Bhatia, S. R. P. Silva, and J. Robertson, Appl. Phys. Lett., 68, 779 (1996).
10. E. Grossman, G. D. Lempert, J. Kulik, D. Marton, J. W. Rabalais, and Y. Lifshitz, Appl. Phys. Lett., 68, 1214 (1996).
11. C. Weissmantel, in Thin Films From Free Atoms and Particles, edited by K. J. Klabunde (Academic, Orlando, FL, 1985), Chap. 4.
12. S. Uhlmann, Ph.D. thesis, University Chemnitz, 1997.
13. J. Koike, D. M. Parkin, and T. E. Mitchell, Appl. Phys. Lett., 60, 1450 (1992).
14. R. Berman and F. Simon, Z. Elektrochem, 59, 333 (1955).
15. H. Hofsäss, H. Feldermann, R. Merk, M. Sebastian, and C. Ronning, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process., A66, 153 (1998).
16. N. A. Marks, D. R. McKenzie, and B. A. Pailthorpe, Phys. Rev. B, 53, 4117 (1996).
17. N. A. Marks, D. R. McKenzie, B. A. Pailthorpe, M. Bernasconi, and M. Parinello, Phys. Rev. B, 54, 9703 (1996).
18. H. P. Kaukonen and R. M. Nieminen, Phys. Rev. Lett., 68, 620 (1992).
19. K. W. R. Gilkes, P. H. Gaskell, and J. Yuan, J. Non-Cryst. Solids, 164-166, 1107 (1993).
20. C. A. Davis, K. M. Knowles, and G. A. J. Amaratunga, Surf. Coat. Technol., 76-77, 316 (1995).
21. C. A. Davis, G. A. J. Amaratunga, and K. M. Knowles, Phys. Rev. Lett., 80, 3280 (1998).
22. M. Chhowalla, Y. Yin, G. A. J. Amaratunga, D. R. McKenzie, and Th. Frauenheim, Appl. Phys. Lett., 69, 2344 (1996).
23. M. Chhowalla, J. Robertson, C. W. Chen, S. R. P. Silva, C. A. Davis, G. A. J. Amaratunga, and W. I. Milne, J. Appl. Phys., 81, 139 (1997).
24. J. Robertson, Thin Solid Films, 296, 61 (1997).
25. L. K. Cheah, X. Shi, E. Liu, and B. K. Tay, J. Appl. Phys., 85, 6816 (1999).
26. J. P. Zhao, X. Wang, Z. Y. Chen, S. Q. Yang, T. S. Shi, and X. H. Liu, J. Phys. D, 30, 5 (1997).
27. Z. Y. Chen, Y. H. YU, J. P. Zhao, X. Wang, X. H. Liu, and T. S. Shi, J. Appl. Phys., 83, 1281 (1998).
28. D. Z. Wang, H. M. Weng, and J. L. Yang, J. Funct. Mater., 26, 643 (1995).
29. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, The Stopping and Ranges of Ions in Matter (Pergamon, Oxford, 1985), Vol. 1.
30. J. P. Biersack and W. Eckstein, Appl. Phys. A: Solids Surf., A34, 73 (1984).
31. G. Dearnaley, J. H. Freeman, G. A. Gard, and M. A. Wilkins, Can. J. Phys., 46, 587 (1968).
32. M. H. Sohn, S. I. Kim, and K. Siangchaew, J. Mater. Res., 14, 3221 (1999).
33. M. H. Sohn and S. I. Kim, J. Mater. Res., 14, 2668 (1999).
34. A. W. Moore, in Physics and Chemistry of Carbon, edited by P. L. Walker (Dekker, New York, 1973), Vol. 11.
35. R. E. Franklin, Proc. R. Soc. London, Ser. A, 209, 196 (1951).
36. R. E. Franklin, Acta Crystallogr., 3, 107 (1950).
37. G. M. Jenkins, K. Kawamura, and L. Ban, Proc. R. Soc. London, Ser. A, 327, 501 (1972).
38. T. Noda, M. Inagaki, and Y. Yamada, J. Non-Cryst. Solids, 1, 285 (1969).
39. D. F. R. Mildner and J. M. Carpenter, J. Non-Cryst. Solids, 47, 391 (1982).
40. G. M. Jenkins and K. Kawamura, Polymeric Carbons (Cambridge University Press, Cambridge, 1976).
41. J. Kulik, Y. Lifshitz, G. D. Lempert, J. W. Rabalais, and D. Marton, J. Appl. Phys., 76, 5063 (1994).
42. D. L. Pappas, D. L. Saenger, J. Bruley, W. Krakow, J. J. Cuomo, T. Gu, and R. W. Cdlins, J. Appl. Phys., 71, 5675 (1995).
43. G. Kögel, D. Schödlbauer, W. Triftshäuser, and J. Winter, Phys. Rev. Lett., 60, 1550 (1988).
44. F. L. Freire, Jr., C. A. Achete, R. S. Brusa, G. Mariotto, X. T. Teng, and A. Zecca, Solid State Commun., 91, 965 (1994).
45. F. L. Freire, Jr., D. F. Franceschin, R. S. Brusa, G. R. Karwasz, G. Mariotto, A. Zecca, and C. A. Achete, J. Appl. Phys., 81, 2451 (1997).
46. J. P. Zhao, Z. Y. Chen, X. Wang, and T. S. Shi, J. Appl. Phys., 87, 8098 (2000).