Atomic force microscope cantilevers for combined thermomechanical data writing and reading

Applied Physics Letters

Volumn 78, Issue 9, 2001, Pages 1300-1302

  King, William P ^a,b   Kenny, Thomas W ^a   Goodson, Kenneth E ^a   Cross, Graham ^b   Despont, Michel ^b   Dürig, Urs ^b   Rothuizen, Hugo ^b   Binnig, Gerd K ^b   Vettiger, Peter ^b  

^a Stanford University   (United States)

^b IBM RESEARCH ZURICH   (Switzerland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001541943     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1351846     Document Type: Article

References (18)

1. E. Grochowski and R. F. Hoyt, IEEE Trans. Magn. 32, 1850 (1996); D. A. Thompson and J. S. Best, IBM J. Res. Dev. 44, 311 (2000).
2. E. Grochowski and R. F. Hoyt, IEEE Trans. Magn. 32, 1850 (1996); D. A. Thompson and J. S. Best, IBM J. Res. Dev. 44, 311 (2000).
3. E. B. Cooper, S. R. Manalis, H. Fang, H. Dai, K. Matsumoto, S. C. Minnie, T. Hunt, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 75, 3566 (1999); H. J. Mamin, R. P. Ried, B. D. Terris, and D. Rugar, Proc. IEEE 87, 1014 (1999).
4. E. B. Cooper, S. R. Manalis, H. Fang, H. Dai, K. Matsumoto, S. C. Minnie, T. Hunt, and C. F. Quate, Appl. Phys. Lett. 75, 3566 (1999); H. J. Mamin, R. P. Ried, B. D. Terris, and D. Rugar, Proc. IEEE 87, 1014 (1999).
5. H. J. Mamin, Appl. Phys. Lett. 69, 433 (1996).
6. B. W. Chui, T. D. Stowe, T. W. Kenny, H. J. Mamin, B. D. Terris, and D. Rugar, Appl. Phys. Lett. 69, 2767 (1996); B. W. Chui, T. D. Stowe, Y. S. Ju, K. E. Goodson, T. W. Kenny, H. J. Mamin, B. D. Terris, R. P. Ried, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 7, 69 (1998).
7. B. W. Chui, T. D. Stowe, T. W. Kenny, H. J. Mamin, B. D. Terris, and D. Rugar, Appl. Phys. Lett. 69, 2767 (1996); B. W. Chui, T. D. Stowe, Y. S. Ju, K. E. Goodson, T. W. Kenny, H. J. Mamin, B. D. Terris, R. P. Ried, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 7, 69 (1998).
8. G. Binnig, M. Despont, U. Drechsler, W. Häberle, M. Lutwyche, P. Vettiger, H. J. Mamin, B. W. Chui, and T. W. Kenny, Appl. Phys. Lett. 74, 1329 (1999).
9. M. Despont, J. Brugger, U. Drechsler, U. Dürig, W. Häberle, M. Lutwyche, H. Rothuizen, R. Stutz, R. Widmer, H. Rohrer, G. K. Binnig, and P. Vettiger, Sens. Actuators A 80, 100 (2000).
10. M. I. Lutwyche, G. Cross, M. Despont, U. Drechsler, U. Dürig, W. Häberle, H. Rothuizen, R. Stutz, R. Widmer, G. K. Binnig, and P. Vettiger, Appl. Phys. Lett. 77, 3299 (2000); P. Vettiger, M. Despont, U. Drechsler, U. Dürig, W. Häberle, M. I. Lutwyche, H. Rothuizen, R. Stutz, R. Widmer, and G. Binnig, IBM J. Res. Dev. 44, 323 (2000).
11. M. I. Lutwyche, G. Cross, M. Despont, U. Drechsler, U. Dürig, W. Häberle, H. Rothuizen, R. Stutz, R. Widmer, G. K. Binnig, and P. Vettiger, Appl. Phys. Lett. 77, 3299 (2000); P. Vettiger, M. Despont, U. Drechsler, U. Dürig, W. Häberle, M. I. Lutwyche, H. Rothuizen, R. Stutz, R. Widmer, and G. Binnig, IBM J. Res. Dev. 44, 323 (2000).
12. W. P. King, J. G. Santiago, T. W. Kenny, and K. E. Goodson, Proc. ASME MEMS 1, 583 (1999).
13. M. Asheghi, W. P. King, B. W. Chui, T. W. Kenny, and K. E. Goodson, Proc. Transducers '99 Tech. Dig. 1, 1840 (1999).
14. W. P. King, T. W. Kenny, K. E. Goodson, G. Cross, M. Despont, U. Dürig, M. I. Lutwyche, H. Rothuizen, G. K. Binnig, and P. Vettiger, Hilton Head 2000 Solid-State Sensors and Actuator Workshop Technical Digest (2000), pp. 1-5.
15. R. P. Ried, J. Mamin, B. D. Terris, L. S. Fan, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 6, 294 (1997).
16. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices (Wiley, New York, 1981); S. Selberherr, Microelectron. Reliab. 24, 225 (1984).
17. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices (Wiley, New York, 1981); S. Selberherr, Microelectron. Reliab. 24, 225 (1984).
18. M. Asheghi, K. Kurabayashi, R. Kasnavi, and K. E. Goodson (unpublished).