The effects of hot-wire atomic hydrogen on amorphous silicon

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 5, 2001, Pages 2993-3000

  Brockhoff, A M ^a   Van Der Weg, W F ^a   Habraken, F H P M ^a  

^a UTRECHT UNIVERSITY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001484460     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1342807     Document Type: Article

References (26)

1. A. H. Mahan, J. Carapella, B. P. Nelson, R. S. Crandall, and I. Balberg, J. Appl. Phys. 69, 6728 (1991).
2. H. Meiling and R. E. I. Schropp, Appl. Phys. Lett. 70, 2681 (1997).
3. A. M. Brockhoff, E. H. C. Ullersma, H. Meiling, F. H. P. M. Habraken, and W. F. van der Weg, Appl. Phys. Lett. 73, 3244 (1998).
4. C. C. Tsai, J. C. Knights, G. Chang, and B. Wacker, J. Appl. Phys. 59, 2998 (1986).
5. A. Gallagher, J. Appl. Phys. 63, 2406 (1988).
6. A. Matsuda, K. Nomoto, Y. Takeuchi, A. Suzuki, A. Yuuki, and J. Perrin, Surf. Sci. 227, 50 (1990).
7. B. Schröder and S. Bauer, J. Non-Cryst. Solids 266-269, 1115 (2000).
8. R. E. I. Schropp, K. F. Feenstra, E. C. Molenbroek, H. Meiling, and J. K. Rath, Philos. Mag. B 76, 309 (1997).
9. B. Stannowski, R. E. I. Schropp, and A. Nascetti, Appl. Phys. Lett. 75, 3674 (1999).
10. W. M. Arnoldbik and F. H. P. M. Habraken, Rep. Prog. Phys. 56, 859 (1993).
11. S. Vepřek, Z. Iqbal, H. R. Oswald, and A. P. Webb, J. Phys. C 14, 295 (1981).
12. A. Heya, A. Masuda, and H. Matsumura, Appl. Phys. Lett. 74, 2143 (1999).
13. H. Richter, Z. P. Wang, and L. Ley, Solid State Commun. 39, 625 (1981).
14. Z. Iqbal and S. Vepřek, J. Phys. C 15, 377 (1982).
15. H. V. Nguyen, I. An, R. W. Collins, Y. Lu, M. Wakagi, and C. R. Wronski, Appl. Phys. Lett. 65, 3335 (1994).
16. H. N. Wanka and M. B. Schubert, J. Phys. D 30, L28 (1997).
17. A. A. Langford, M. L. Fleet, B. P. Nelson, W. A. Lanford, and N. Maley, Phys. Rev. B 45, 13367 (1992).
18. A. von Keudell and J. R. Abelson, J. Appl. Phys. 84, 489 (1998).
19. N. M. Johnson, F. A. Ponce, R. A. Street, and R. J. Nemanich, Phys. Rev. B 35, 4166 (1987).
20. S. B. Zhang and W. B. Jackson, Phys. Rev. B 43, 12 142 (1991).
21. I. An, Y. M. Li, C. R. Wronski, and R. W. Collins, Phys. Rev. B 48, 4464 (1993).
22. W. B. Jackson and C. C. Tsai, Phys. Rev. B 45, 6564 (1992).
23. W. Beyer and U. Zastrow, in Amorphous Silicon Technology - 1996, edited by M. Hack, E. A. Schiff, S. Wagner, R. Schropp, and A. Matsuda (Materials Research Society, Pittsburgh, PA, 1996), Vol. 420, pp. 497-502.
24. R. S. Crandall, A. H. Mahan, B. Nelson, M. Vanecek, and I. Balberg, in AIP Conference Proceedings, edited by R. Noufi (American Institute of Physics, Denver, CO, 1992), Vol. 268, pp. 81-87.
25. K. F. Feenstra, R. E. I. Schropp, and W. F. van der Weg, J. Appl. Phys. 85, 6843 (1999).
26. S. A. McQuaid, S. Holgado, J. Garrido, J. Martínez, J. Piqueras, R. C. Newman, and J. H. Tucker, J. Appl. Phys. 81, 7612 (1997).