Bonding and hardness in nonhydrogenated carbon films with moderate sp3 content

Journal of Applied Physics

Volumn 87, Issue 11, 2000, Pages 8174-8180

  Gago, R ^a   Jimenez I ^a   Albella, J M ^a   Climent Font, A ^b   Caceres D ^c   Vergara, I ^c   Banks, J C ^d   Doyle, B L ^d   Terminello, L J ^e  

^a INSTITUTO DE CIENCIA DE MATERIALES DE MADRID   (Spain)

^b UNIVERSIDAD AUTÓNOMA DE MADRID   (Spain)

^c UNIVERSIDAD CARLOS III DE MADRID   (Spain)

^d SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

^e LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001268370     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.373514     Document Type: Article

References (47)

1. J. Robertson, Curr. Opin. Solid State Mater. Sci. 1, 557 (1996).
2. J. C. Angus, F. Jansen, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1778 (1988).
3. J. Robertson, Adv. Phys. 35, 317 (1986).
4. J. Robertson, Pure Appl. Chem. 66, 1789 (1994).
5. H. W. Kroto, J. R. Heath, S. C. O'Brien, R. F. Curl, and R. E. Smalley, Nature (London) 318, 162 (1985).
6. S. Iijima, Nature (London) 354, 56 (1991).
7. H. Söjström, S. Stafström, M. Boman, and J. E. Sundgre, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995).
8. I. Alexandrou, H. J. Scheibe, C. J. Kiely, A. J. Papworth, G. A. J. Amaratunga, and B. Schultrich, Phys. Rev. B 60, 10903 (1999).
9. H. Hiura, T. W. Ebbesen, J. Fujita, K. Tanigaki, and T. Takada, Nature (London) 367, 148 (1994).
10. J. Robertson, Diamond Relat. Mater. 3, 361 (1994).
11. Y. Lifshitz, S. R. Kasi, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. B 41, 10468 (1990).
12. R. Gago, O. Böhme, J. M. Albella, and E. Román, Diamond Relat. Mater. 8, 1944 (1999).
13. Y. Feng, Z. Zhou, Y. Zhou, and G. Zhou, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 86, 225 (1994).
14. J. A. Leavitt, L. C. McIntyre Jr., P. Stoss, J. G. Oder, M. D. Ashbaugh, B. Dezfouly-Arjomandy, Z. M. Yang, and Z. Lin, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 40/41, 776 (1989).
15. M. Mayer, SIMNRA User's Guide (Max-Plank-Institute für Plasmaphysik, 1997/98), v.4.0.
16. M. M. Garcia, I. Jiménez, L. Vázquez, C. Gómez-Aleixandre, J. M. Albella, O. Sánchez, L. J. Terminello, and F. J. Himpsel, Appl. Phys. Lett. 72, 2105 (1998).
17. D. M. Gruen et al., Appl. Phys. Lett. 68, 1640 (1996).
18. P. Bou and L. Vandenbulcke, J. Electrochem. Soc. 138, 2991 (1991).
19. M. A. Tamor and W. C. Vassell, J. Appl. Phys. 76, 3823 (1994).
20. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 7-6, 1564 (1992).
21. W. C. Oliver, R. Hutchings, and J. B. Pethica in ASTM Spec. Tech. Publ. 889, 90 (1986).
22. D. Lebouvier, P. Gilormini, and E. Felder, Thin Solid Films 172, 227 (1979).
23. F. Rossi et al., J. Appl. Phys. 75, 3121 (1994).
24. W. T. Zheng, E. Broitman, N. Hellgren, K. Z. Xing, I. Ivanov, H. Sjöström, L. Hultman, and J. E. Sundgren, Thin Solid Films 308-9, 243 (1997).
25. R. Gago et al. (unpublished).
26. J. Schwan, S. Ulrich, T. Theel, H. Roth, H. Ehrhardt, P. Becker, and S. R. P. Silva, J. Appl. Phys. 82, 6024 (1997).
27. I. Jiménez, D. G. J. Sutherland, J. A. Carlisle, A. van Buuren, L. J. Terminello, and F. J. Himpsel, Phys. Rev. B 57, 13167 (1998).
28. L. Fayette, B. Marcus, M. Mermoux, G. Tourillon, K. Laffon, P. Parent, and F. Le Normand, Phys. Rev. B 57, 14123 (1998).
29. J. Fink, T. Müller_Heizerling, J. Plüger, A. Bubenzer, P. Koidl, and G. Crecelius, Solid State Commun. 47, 687 (1983).
30. J. Kulik, G. D. Lempert, E. Grossman, D. Marton, J. W. Rabalais, and Y. Lifshitz, Phys. Rev. B 52, 15812 (1995).
31. J. Díaz, S. Anders, X. Zhou, E. J. Moler, S. A. Kellar, and Z. Hussain, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 103, 545 (1999).
32. I. Jiménez, M. M. García, J. M. Albella, and L. J. Terminello, Appl. Phys. Lett. 73, 2911 (1998).
33. D. Beeman, J. Silverman, R. Lynds, and M. R. Anderson, Phys. Rev. B 30, 870 (1984).
34. R. O. Dillon and J. A. Woollam, Phys. Rev. B 29, 3482 (1984).
35. H. J. Scheibe, D. Drescher, and P. Alers, Fresenius J. Anal. Chem. 353, 695 (1995).
36. F. Tuinstra and J. L. Koenig, J. Chem. Phys. 53, 1126 (1970).
37. D. C. McCulloch, S. Prawer, and A. Hoffman, Phys. Rev. B 50, 5905 (1994).
38. M. Yoshikawa, G. Katagari, H. Ishida, A. Ishitani, and T. Akamatsu, J. Appl. Phys. 64, 6464 (1988).
39. P. J. Fallon, V. S. Veerasamy, C. A. Davis, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, and J. Koskinen, Phys. Rev. B 48, 4777 (1993).
40. J. Schwan, S. Ulrich, H. Roth, H. Ehrhardt, S. R. P. Silva, J. Robertson, R. Samlenski, and R. Brenn, J. Appl. Phys. 79, 1416 (1996).
41. B. André, F. Rossi, A. van Veen, P. E. Mijnareds, H. Schut, and M. P. Delplancke, Thin Solid Films 241, 171 (1994).
42. E. Grossman, G. D. Lempert, J. Kulik, D. Marton, J. W. Rabalais, and Y. Lifshitz, Appl. Phys. Lett. 68, 1214 (1996).
43. R. Gago, O. Sánchez-Garrido, A. Climent-Font, J. M. Albella, E. Román, J. Räisänen, and E. Raühala, Thin Solid Films 338, 88 (1999).
44. D. R. McKenzie, D. Muller, and B. A. Pailthorpe, Phys. Rev. Lett. 67, 773 (1991).
45. S. Logothetidis and C. Charitidis, Thin Solid Films 353, 208 (1999).
46. N. Savvides and T. J. Bell, Thin Solid Films 228, 289 (1993).
47. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, L Hultman, and J. Sundgren, Phys. Rev. B 59, 5162 (1999).