Optical beam deflection noncontact atomic force microscope optimized with three-dimensional beam adjustment mechanism

Review of Scientific Instruments

Volumn 71, Issue 1, 2000, Pages 128-132

  Yokoyama, Kousuke ^a   Ochi, Taketoshi ^a   Uchihashi, Takayuki ^b   Ashino, Makoto ^b   Sugawara, Yasuhiro ^a,b   Suehira, Nobuhito ^a   Morita, Seizo ^a  

^a OSAKA UNIVERSITY   (Japan)

^b JT RES CENTER FOR ATOM TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000734252     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1150174     Document Type: Article

References (38)

1. G. Binning, C. F. Quate, and Ch. Gerber, Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).
2. B. Drake et al., Science 243, 1586 (1989).
3. S. Manne, H. J. Butt, S. A. C. Gould, and P. K. Hansma, Appl. Phys. Lett. 56, 1758 (1990).
4. A. L. Weisenhorn, P. Maivald, H.-J. Butt, and P. K. Hansma, Phys. Rev. B 45, 11 226 (1992).
5. T. E. Schäffer, J. P. Cleveland, F. Ohnesorge, D. A. Walters, and P. K. Hansma, J. Appl. Phys. 80, 3622 (1996).
6. G. Meyer and N. M. Amer, Appl. Phys. Lett. 53, 1045 (1988).
7. L. Howald, E. Meyer, R. Lüthi, H. Haefke, R. Overney, H. Rudin, and H.-J. Güntherodt, Appl. Phys. Lett. 63, 117 (1993).
8. M. Kageshima, H. Yamada, K. Nakayama, H. Sakama, A. Kawazu, T. Fujii, and M. Suzuki, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1987 (1993).
9. M. Ohta, Y. Sugawara, S. Morita, H. Nagaoka, S. Mishima, and T. Okada, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 1705 (1994).
10. B. Kracke and B. Damaschke, Rev. Sci. Instrum. 67, 2957 (1996).
11. L. Olsson, R. Wigren, and R. Erlandsson, Rev. Sci. Instrum. 67, 2289 (1996).
12. M. D. Kirk, T. R. Albrecht, and C. F. Quate, Rev. Sci. Instrum. 59, 833 (1988).
13. T. R. Albrecht, P. Grütter, and D. Rugar, Ultramicroscopy 42-44, 1638 (1992).
14. J. Mou, J. Yang, and Z. Shao, Rev. Sci. Instrum. 64, 1483 (1993).
15. H. J. Hug, A. Moser, Th. Jung, O. Fritz, A. Wadas, I. Parashikov, and H.-J. Güntherodt, Rev. Sci. Instrum. 64, 2920 (1993).
16. C. W. Yuan, E. Batalla, M. Zacher, A. L. de Lozanne, M. D. Kirk, and M. Tortonese, Appl. Phys. Lett. 65, 1308 (1994).
17. C. W. Yuan, Z. Zheng, A. L. de Lozanne, M. Tortonese, D. A. Rudman, and J. N. Eckstein, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1210 (1996).
18. R. Euler, U. Memmert, and U. Hartmann, Rev. Sci. Instrum. 68, 1776 (1997).
19. F. J. Giessibl, Ch. Gerber, and G. Binnig, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 984 (1991).
20. W. Allers, A. Schwarz, U. D. Schwarz, and R. Wiesendanger, Rev. Sci. Instrum. 69, 221 (1998).
21. F.-J. Giessibl, Science 267, 68 (1995).
22. S. Kitamura and M. Iwatsuki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L145 (1995).
23. H. Ueyama, M. Ohta, Y. Sugawara, and S. Monta, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L1086 (1995).
24. Y. Sugawara, M. Ohta, H. Ueyama, and S. Monta, Science 270, 1646 (1995).
25. N. Nakagiri, M. Suzuki, K. Okiguchi, and H. Sugimura, Surf. Sci. Lett. 373, L329 (1997).
26. M. Bammerlin et al., Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 66, S293 (1998).
27. R. Erlandsson, L. Olsson, and P. Marternsson, Phys. Rev. B 54, R8309 (1996).
28. D. W. Pohl, Rev. Sci. Instrum. 58, 54 (1987).
29. K. Besocke, Surf. Sci. 181, 145 (1987).
30. T. R. Albrecht, P. Grütter, D. Horne, and D. Rugar, J. Appl. Phys. 69, 668 (1991).
31. M. Okano, K. Kajimura, S. Wakiyama, F. Sakai, W. Mizutani, and M. Ono, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 3313 (1987).
32. S. Park and C. F. Quate, Rev. Sci. Instrum. 58, 2010 (1987).
33. J. P. Cleveland, T. E. Schäffer, and P. K. Hansma, Phys. Rev. B 52, R8692 (1995).
34. L. Howald, H. Rudin, and H.-J. Güntherodt, Rev. Sci. Instrum. 63, 3909 (1992).
35. H. Ueyama, Y. Sugawara, and S. Morita, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 66, S295 (1998).
36. Y. Sugawara, H. Ueyama, T. Uchihashi, M. Ohta, Y. Yanase, T. Shigematsu, M. Suzuki, and S. Morita, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 442, 15 (1997).
37. K. Fukui, H. Onishi, and Y. Iwasawa, Phys. Rev. Lett. 79, 4202 (1997).
38. S. J. Sowerby and G. B. Petersen, J. Electroanal. Chem. 433, 85 (1997).