Deep ultraviolet enhanced wet chemical etching of gallium nitride

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 8, 1998, Pages 939-941

  Peng, L H ^a   Chuang, C W ^a   Ho, J K ^b   Huang, C N ^b   Chen, C Y ^b  

^a NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY   (Taiwan)

^b INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000733746     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120879     Document Type: Article

References (25)

1. H. Morkoç, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994).
2. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, Y. Sugimoto, and H. Kiyoku, Appl. Phys. Lett. 70, 1417 (1997).
3. Q. Chen, J. W. Yang, A. Osinsky, S. Gangopadhyay, B. Lim, M. Z. Anwar, M. Asif Khan, D. Kuksenkov, and H. Temkin, Appl. Phys. Lett. 70, 2277 (1997).
4. S. N. Mohammad, A. A. Salvador, and H. Morkoç, Proc. IEEE 83, 1306 (1995).
5. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, S. Nagahama, T. Yamada, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L1322 (1995).
6. R. J. Shul, G. B. McClellan, S. A. Casalnuovo, D. J. Rieger, S. J. Pearton, C. Constantine, C. Barratt, R. F. Karlicek, Jr., C. Tran, and M. Schurman, Appl. Phys. Lett. 69, 1119 (1996).
7. J. R. Mileham, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, J. D. MacKenzie, R. J. Shul, and S. P. Kicoyne, Appl. Phys. Lett. 67, 1119 (1995).
8. Q. X. Guo, O. Kato, and A. Yoshida, J. Electrochem. Soc. 139, 2008 (1992).
9. J. R. Mileham, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, J. D. MacKenzie, R. J. Shul, and S. P. Kicoyne, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 836 (1996).
10. The Electrochemistry of Semiconductors, edited by P. J. Holmes (Academic, New York, 1962).
11. R. W. Haisty, J. Electrochem. Soc. 108, 790 (1960).
12. R. Khare, E. L. Hu, D. Reynolds, and S. J. Allen, Appl. Phys. Lett. 61, 2890 (1992).
13. J. van de Ven and H. J. P. Nabben, J. Appl. Phys. 67, 7572 (1990).
14. M. S. Minsky, M. White, and E. L. Hu, Appl. Phys. Lett. 68, 1531 (1996).
15. H. Lu, Z. Wu, and I. Bhat, J. Electrochem. Soc. 144, L8 (1997).
16. C. Youtsey, I. Adesida, and G. Bulman, Electron. Lett. 33, 245 (1997).
17. M. Lax, J. Appl. Phys. 48, 3919 (1977).
18. D. V. Podlesnik, H. H. Gilgen, and R. M. Osgood, Jr., Appl. Phys. Lett. 45, 563 (1984).
19. C. F. Lin, G. C. Chi, M. S. Feng, J. D. Kuo, J. S. Tsang, and J. M. Hong, Appl. Phys. Lett. 68, 3758 (1996).
20. S. D. Wolter, B. P. Luther, D. L. Waltemyer, C. Onneby, S. E. Mohney, and R. J. Molnar, Appl. Phys. Lett. 70, 2156 (1997).
21. S. Geller, J. Chem. Phys. 33, 676 (1960).
22. Heterogeneous Photochemical Electron Transfer, edited by M. Grätzel (CRC, Boca Raton, FL, 1988).
23. D. S. Boudreaux, F. Williams, and A. J. Nozik, J. Appl. Phys. 51, 2158 (1980).
24. M. A. Butler, J. Appl. Phys. 48, 1914 (1977).
25. C. Vanleugenhaghe, N. de Zoubov, and M. Pourbaix, Atlas of Electrochemical Equilibria in Aqueous Solutions (National Association of Corrosion Engineers, Houston, 1974), p. 428.