Inductively coupled plasma etching of GaN

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 8, 1996, Pages 1119-1121

  Shul, R J ^a   McClellan, G B ^a   Casalnuovo, S A ^a   Rieger, D J ^a   Pearton, S J ^b   Constantine, C ^c   Barratt, C ^c   Karlicek Jr , R F ^d   Tran, C ^d   Schurman, M ^d  

^a SANDIA NATIONAL LABORATORIES   (United States)

^b University of Florida   (United States)

^c Qualtx Technology Inc   (United States)

^d EMCORE CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000962699     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117077     Document Type: Article

References (17)

1. I. Adesida, A. Mahajan, E. Andideh, M. A. Khan, D. T. Olson, and J. N. Kuznia, Appl. Phys. Lett. 63, 2777 (1993).
2. M. E. Lin, Z. F. Fan, Z. Ma, L. H. Allen, and H. Morkoç, Appl. Phys. Lett. 64, 887 (1994).
3. A. T. Ping, I. Adesida, M. Asif Khan, and J. N. Kuznia, Electron. Lett. 30, 1895 (1994).
4. H. Lee, D. B. Oberman, and J. S. Harris, Jr., Appl. Phys. Lett. 67, 1754 (1995).
5. G. F. McLane, L. Casas, S. J. Pearton, and C. R. Abernathy, Appl. Phys. Lett. 66, 3328 (1995).
6. I. Adesida, A. T. Ping, C. Youtsey, T. Dow, M. Asif Khan, D. T. Olson, and J. N. Kuznia, Appl. Phys. Lett. 65, 889 (1994).
7. A. T. Ping, I. Adesida, and M. Asif Khan, Appl. Phys. Lett. 67, 1250 (1995).
8. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 64, 2294 (1994).
9. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, F. Ren, J. R. Lothian, P. W. Wisk, A. Katz, and C. Constantine, Semicond. Sci. Technol. 8, 310 (1993).
10. R. J. Shul, S. P. Kilcoyne, M. Hagerott-Crawford, J. E. Parmeter, C. B. Vartuli, C. R. Abernathy, and S. J. Pearton, Appl. Phys. Lett. 66, 1761 (1995).
11. R. J. Shul, A. J. Howard, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Bartuli, P. A. Barnes, and M. J. Bozack, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2016 (1995).
12. R. J. Shul, G. B. McClellan, D. J. Rieger, M. J. Hafich, T. J. Drummond, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. Constantine, C. Barratt, R. F. Karlicek, Jr., C. Tran, and M. Shurman, Proceedings, 189th Meeting of the Electrochemical Society, Los Angeles, CA, May 6-10, 1996 (accepted).
13. R. J. Shul, C. I. H. Ashby, D. J. Rieger, A. J. Howard, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, C. B. Vartuli, P. A. Barnes, and P. Davis, MRS Proceedings Fall Meeting, Boston MA, 11/27-12/1/96 (to be published).
14. L. Zhang, J. Ramer, J. Brown, K. Zheng, L. F. Lester, and S. D. Hersee, Appl. Phys. Lett. 68, 367 (1996).
15. C. B. Vartuli, S. J. Pearton, J. W. Lee, J. Hong, J. D. MacKenzie, C. R. Abernathy, and R. J. Shul, Appl. Phys. Lett. (to be published).
16. C. Yuan, T. Salagaj, A. Gurary, P. Zawadzki, C. S. Chern, W. Knoll, R. A. Stall, Y. Li, M. Schurmann, C. Y. Hwang, W. E. Mayo, Y. Lu, S. J. Pearton, S. Krishmankutty, and R. M. Kolbas, J. Electrochem. Soc. 142, L163 (1995).
17. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, F. Ren, and J. R. Lothian, J. Appl. Phys. 76, 1210 (1994).