X-ray photoelectron spectroscopy and x-ray diffraction study of the thermal oxide on gallium nitride

Applied Physics Letters

Volumn 70, Issue 16, 1997, Pages 2156-2158

  Wolter, S D ^a   Luther, B P ^a   Waltemyer, D L ^a   Onneby C ^a   Mohney, S E ^a   Molnar, R J ^b  

^a PENNSYLVANIA STATE UNIVERSITY   (United States)

^b MIT LINCOLN LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000181162     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.118944     Document Type: Article

References (24)

1. H. Amano, M. Kito, X. Hiramatsu, and I. Akasaki, Jpn. J. Appl. Phys. 1 28, L2112 (1989).
2. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Jpn. J. Appl. Phys. 1 30, L1998 (1991).
3. M. Asif Kahn, A. Bhattarai, J. N. Kuznia, and D. T. Olsen, Appl. Phys. Lett. 63, 1214 (1993).
4. M. W. Shin and R. J. Trew, Electron. Lett. 31, 498 (1995).
5. O. Aktas, W. Zim, Z. Fan, F. Stengel, A. Botchkarev, A. Salvador, B. Sverdlov, S. N. Mohammad, and H. Morkoc, International Electronic Device Meeting 1995, p. 205.
6. H. Iwasaki, Y. Mizokawa, R. Nishitani, and S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys. 18, 1525 (1978).
7. Y. Mizokawa, O. Kmoda, and S. Miyase, Thin Solid Films 156, 127 (1988).
8. Z. Liliental-Weber, C. W. Wilmsen, K. M. Geib, P. D. Kirchner, J. M. Baker, and J. M. Woodall, J. Appl. Phys. 67, 1863 (1990).
9. S. Ingrey, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 829 (1992).
10. P. Barman and S. Basu, Appl. Surf. Sci. 55, 173 (1992).
11. F. Malengreau, V. Hautier, M. Vermeersch, R. Sporken, and R. Caudano, Surf. Sci. 330, 75 (1995).
12. M. Passlack, E. F. Schubert, W. S. Hobson, M. Hong, N. Moriya, S. N. G. Chu, K. Konstadinidis, J. P. Mannaerts, M. L. Schnoes, and G. J. Zydzik, J. Appl. Phys. 77, 686 (1995).
13. M. Passlack, M. Hong, J. P. Mannaerts, R. L. Opila, and F. Ren, Appl. Phys. Lett. 69, 302 (1996).
14. V. M. Bermudez, J. Appl. Phys. 80, 1 (1996).
15. R. J. Molnar, K. B. Nichols, P. Maki, E. R. Brown, and I. Melngailis, Mater. Res. Soc, Symp. Proc. 378, 479 (1995).
16. Binary Alloy Phase Diagrams, edited by T. B. Massalski, H. Okamoto, P. R. Subramanian, and L. Kacprzak (ASM International, Ohio, 1990), Vol. 2, p. 1834.
17. R. Carin, J. P. Deville, and J. Werckmann, Surf. Interface Anal. 16, 65 (1990).
18. A. D. Katnami and K. I. Papathomas, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 1335 (1987).
19. S. I. Raider, R. Flitsch, J. A. Aboaf, and W. A. Pliskin, J. Electrochem. Soc. Solid State Science and Technology 560, 560 (1976).
20. H. Du, R. E. Tressler, K. E. Spear, and C. G. Pantano, J. Electrochem. Soc. 136, 1527 (1989).
21. L. U. T. Ogbuji and J. L. Smialek, J. Electrochem. Soc. 138, L51 (1991).
22. A. Fourrier, A. Bosseboeuf, D. Bouchier, and G. Gautherin, J. Electrochem. Soc. 138, 1084 (1991).
23. Rustum Roy, V. G. Hill, and E. F. Osborn, J. Am. Chem. Soc. 74, 719 (1952).
24. R. K. Brow and C. G. Pantano, J. Am. Ceram. Soc. 69, 314 (1986).