Tailoring the mechanical properties of high-aspect-ratio carbon nanotube arrays using amorphous silicon carbide coatings

Advanced Functional Materials

Volumn 24, Issue 36, 2014, Pages 5737-5744

  Poelma, René H ^a   Morana, Bruno ^a   Vollebregt, Sten ^a   Schlangen, Erik ^a   Van Zeijl, Henk W ^a   Fan, Xuejun ^b   Zhang, Guo Qi ^a  

^a DELFT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

^b Lamar University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS SILICON; ASPECT RATIO; COATINGS; COMPRESSIVE STRENGTH; COMPUTER ARCHITECTURE; FAILURE (MECHANICAL); SEMICONDUCTOR DEVICES; SILICON CARBIDE; THICKNESS MEASUREMENT; VAPOR DEPOSITION; WIDE BAND GAP SEMICONDUCTORS;

AMORPHOUS SILICON CARBIDE (A-SIC); CARBON NANOTUBE ARRAY; COMPATIBLE PROCESS; CONFORMAL COATINGS; MECHANICAL FAILURE MODE; MECHANICAL RESPONSE; MICRO ARCHITECTURES; NANO-INDENTATION MEASUREMENTS;

CARBON NANOTUBES;

EID: 84922771665     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.201400693     Document Type: Article

References (50)

1. Y. Hayamizu, T. Yamada, K. Mizuno, R. C. Davis, D. N. Futaba, M. Yumura, K. Hata, Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 289.
2. M. De Volder, S. H. Tawfick, S. J. Park, D. Copic, Z. Zhao, W. Lu, A. J. Hart, Adv. Mater. 2010, 22, 4384.
3. K. Fu, O. Yildiz, H. Bhanushali, Y. Wang, K. Stano, L. Xue, X. Zhang, P. D. Bradford, Adv. Mater. 2013, 25, 5109.
4. S. Tawfick, M. De Volder, A. J. Hart, Langmuir 2011, 27, 6389.
5. S. B. Hutchens, L. J. Hall, J. R. Greer, Adv. Funct. Mater. 2010, 20, 2338.
6. M. F. L. De Volder, S. H. Tawfick, R. H. Baughman, A. J. Hart, Science 2013, 339, 535.
7. K. H. Kim, Y. Oh, M. F. Islam, Nat. Nanotechnol. 2012, 7, 562.
8. Q. Tang, Z. Zhou, Z. Chen, Nanoscale 2013, 5, 4541.
9. M. R. Maschmann, G. J. Ehlert, S. J. Park, D. Mollenhauer, B. Maruyama, A. J. Hart, J. W. Baur, Adv. Funct. Mater. 2012, 22, 4686.
10. V. P. Veedu, A. Cao, X. Li, K. Ma, C. Soldano, S. Kar, P. M. Ajayan, M. N. Ghasemi-Nejhad, Nat. Mater. 2006, 5, 457.
11. A. Cao, P. L. Dickrell, W. G. Sawyer, M. N. Ghasemi-Nejhad, P. M. Ajayan, Science 2005, 310, 1307.
12. A. Cao, V. P. Veedu, X. Li, Z. Yao, M. N. Ghasemi-Nejhad, P. M. Ajayan, Nat. Mater. 2005, 4, 540.
13. P. D. Bradford, X. Wang, H. Zhao, Y. T. Zhu, Carbon 2011, 49, 2834.
14. S. Vollebregt, F. D. Tichelaar, H. Schellevis, C. I. M. Beenakker, R. Ishihara, Carbon 2014, 71, 249.
15. L. Zhengchun, L. Ci, S. Kar, P. M. Ajayan, L. Jian-Qiang, IEEE Trans. Nanotechnol. 2009, 8, 196.
16. A. Naeemi, J. D. Meindl, Ann. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 255.
17. Y.-C. Tseng, P. Xuan, A. Javey, R. Malloy, Q. Wang, J. Bokor, H. Dai, Nano Lett. 2003, 4, 123.
18. A. M. Saleem, J. Berg, V. Desmaris, M. S. Kabir, Nanotechnology 2009, 20, 375302.
19. J. Wang, G. Min, Z. Song, X. Ni, W. Zhou, J. Zhan, Y. Zhang, J. Zhang, L. Shi, J. Mater. Chem. 2012, 22, 21154.
20. Z. Nie, E. Kumacheva, Nat. Mater. 2008, 7, 277.
21. X. F. Zeng, S. C. Shei, S. J. Chang, ECS Solid State Letters 2012, 1, R27.
22. C. Robert, A. C. Baratunde, F. Timothy, X. Xianfan, G. Ken, G. Samuel, Nanotechnology 2010, 21, 445705.
23. J. Xu, T. S. Fisher, Int. J. Heat Mass Trans. 2006, 49, 1658.
24. A. A. Balandin, Nat. Mater. 2011, 10, 569.
25. X. Tian, M. E. Itkis, E. B. Bekyarova, R. C. Haddon, Sci. Rep. 2013, 3, 1710.
26. C. L. Pint, N. W. Nicholas, S. Xu, Z. Sun, J. M. Tour, H. K. Schmidt, R. G. Gordon, R. H. Hauge, Carbon 2011, 49, 4890.
27. G. Fiorentino, S. Vollebregt, F. D. Tichelaar, R. Ishihara, P. M. Sarro, IEEE 27th International Conf. MEMS 2014, 342.
28. D. N. Hutchison, N. B. Morrill, Q. Aten, B. W. Turner, B. D. Jensen, L. L. Howell, R. R. Vanfleet, R. C. Davis, J. Microelectromech. Syst. 2010, 19, 75.
29. J. A. Weldon, B. Alemán, A. Sussman, W. Gannett, A. K. Zettl, Nano Lett. 2010, 10, 1728.
30. P. M. Sousa, M. Gutierrez, E. Mendoza, A. Llobera, V. Chu, J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 044104.
31. V. Ivanov, J. B. Nagy, P. Lambin, A. Lucas, X. B. Zhang, X. F. Zhang, D. Bernaerts, G. Van Tendeloo, S. Amelinckx, J. Van Landuyt, Chem. Phys. Lett. 1994, 223, 329.
32. S. Fan, M. G. Chapline, N. R. Franklin, T. W. Tombler, A. M. Cassell, H. Dai, Science 1999, 283, 512.
33. T. Wang, K. Jeppson, J. Liu, Carbon 2010, 48, 3795.
34. A. Misra, J. R. Greer, C. Daraio, Adv. Mater. 2009, 21, 334.
35. A. Kis, G. Csanyi, J. P. Salvetat, T.-N. Lee, E. Couteau, A. J. Kulik, W. Benoit, J. Brugger, L. Forro, Nat. Mater. 2004, 3, 153.
36. R. L. D. Whitby, W. K. Hsu, Y. Q. Zhu, H. W. Kroto, D. R. M. Walton, Phil. Trans. R. Soc. Lond. A 2004, 362, 2127.
37. Y. Gogotsi, S. Welz, D. A. Ersoy, M. J. McNallan, Nature 2001, 411, 283.
38. B. Morana, G. Pandraud, J. F. Creemer, P. M. Sarro, Mater. Chem. Phys. 2013, 139, 654.
39. S. M. Spearing, Acta Mater. 2000, 48, 179.
40. T. Taguchi, A. K. M. F. Kibria, S. Shamoto, J. Phys.: Conf. Ser. 2013, 417, 012037.
41. R. Gupta, R. Mishra, K. Mukhopadhyay, R. Tiwari, A. Ranjan, A. Saxena, Silicon 2009, 1, 125.
42. Z. Gu, Y. Yang, K. Li, X. Tao, G. Eres, J. Y. Howe, L. Zhang, X. Li, Z. Pan, Carbon 2011, 49, 2475.
43. Y. Morisada, Y. Miyamoto, Y. Takaura, K. Hirota, N. Tamari, Int. J. Refr. Metals Hard Mater. 2007, 25, 322.
44. J. Greer, D. Jang, X. W. Gu, JOM 2012, 64, 1241.
45. T. Y. Lo, H. Z. Cui, H. C. Leung, Mater. Lett. 2004, 58, 2595.
46. K. F. Chung, W. K. Yu, Eng. Struct. 2002, 24, 429.
47. S. Pathak, E. J. Lim, P. Pour Shahid Saeed Abadi, S. Graham, B. A. Cola, J. R. Greer, ACS Nano 2012, 6, 2189.
48. M. R. Maschmann, Q. Zhang, F. Du, L. Dai, J. Baur, Carbon 2011, 49, 386.
49. C. San Marchi, A. Mortensen, Acta Mater. 2001, 49, 3959.
50. P. B. Amama, C. L. Pint, S. M. Kim, L. McJilton, K. G. Eyink, E. A. Stach, R. H. Hauge, B. Maruyama, ACS Nano 2010, 4, 895.