Large area single-crystal diamond synthesis by 915 mhz microwave plasma-assisted chemical vapor deposition

Crystal Growth and Design

Volumn 14, Issue 7, 2014, Pages 3234-3238

  Liang, Qi ^a   Yan, Chih Shiue ^a   Lai, Joseph ^a,b   Meng, Yu Fei ^a,b   Krasnicki, Szczesny ^a   Shu, Haiyun ^a,b   Mao, Ho Kwang ^a,b   Hemley, Russell J ^a  

^a GEOPHYSICAL LABORATORY   (United States)

^b CENTER FOR HIGH PRESSURE SCIENCE AND TECHNOLOGY ADVANCED RESEARCH   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ELECTRIC DISCHARGES; EMISSION SPECTROSCOPY; SINGLE CRYSTALS; VAPORS;

DIAMOND SINGLE CRYSTALS; MICROWAVE PLASMA-ASSISTED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; PLASMA CHEMISTRIES; PLASMA DISCHARGE; PLASMA UNIFORMITY; PRODUCTION RATES; SINGLE CRYSTAL DIAMOND; UV-VISIBLE ABSORPTION SPECTROSCOPY;

DIAMONDS;

EID: 84903725620     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cg500693d     Document Type: Article

References (27)

1. Liang, Q.; Chin, C. Y.; Lai, J.; Yan, C. S.; Meng, Y. F.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 024103
2. Yan, C. S.; Vohra, Y. K.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2002, 99, 12523-12525
3. Ho, S. S.; Yan, C. S.; Liu, Z.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Ind. Diamond Rev. 2006, 66, 28-32
4. Meng, Y.-f.; Yan, C.-s.; Krasnicki, S.; Liang, Q.; Lai, J.; Shu, H.; Yu, T.; Steele, A.; Mao, H.-k.; Hemley, R. J. Phys. Status Solid A 2012, 209, 101-104
5. Hemley, R. J.; Mao, H. K.; Yan, C. S. U.S. Patent 6,858,078, 2005.
6. Lu, J.; Gu, Y.; Grotjohn, T.; Schuelke, T.; Asmussen, J. Diamond Relat. Mater. 2013, 37, 17-28
7. Bachmann, P. K.; Enckevort, W. V. Diamond Relat. Mater. 1992, 1, 1021-1034
8. Asmussen, J.; Grotjohn, T. A.; Schuelke, T.; Becker, M. F.; Yaran, M. K.; King, D. J.; Wicklein, S.; Reinhard, D. K. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 031502
9. Meng, Y. F.; Yan, C. S.; Lai, J.; Krasnicki, S.; Shu, H.; Liang, Q.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2008, 105, 17620-17625
10. Kondoh, E.; Ohta, T.; Mitomo, T.; Ohtsuka, K. J. Appl. Phys. 1993, 73, 3041-3046
11. Tallaire, A.; Collins, A. T.; Charles, D.; Achard, J.; Sussmann, R. S.; Gicquel, A.; Newton, M. E.; Edmonds, A. M.; Cruddace, R. J. Diamond Relat. Mater. 2006, 15, 1700-1707
12. Hemawan, K. W.; Yan, C. S.; Liang, Q.; Lai, J.; Krasnicki, S.; Meng, Y. F.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Plasma Science, 2011, ICOPS.
13. Gu, Y.; Lu, J.; Grotjohn, T.; Schuelke, T.; Asmussen, J. Diamond Relat. Mater. 2012, 24, 210-214
14. Davies, G.; Lawson, S. C.; Collins, A. T.; Mainwood, A.; Sharp, S. J. Phys. Rev. B 1992, 46, 13157-13170
15. Charles, S. J.; Butler, J. E.; Feygelson, B. N.; Newton, M.; Carroll, D. L.; Steeds, J. W.; Darwsh, H.; Yan, C. S.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Phys. Status Solidi 2004, 242, 2473-2485
16. Liang, Q.; Yan, C. S.; Meng, Y.; Lai, J.; Krasnicki, S.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Diamond Relat. Mater. 2009, 18, 698-703
17. Khan, R. U. A.; Cann, B. L.; Martineau, P. M.; Samartseva, J.; Freeth, J. J. P.; Sibley, S. J.; Hartland, C. B.; Newton, M. E.; Dhillon, H. K.; Twitchen, D. J. J. Phys.: Condens. Matter 2013, 25, 275801
18. Herlinger, J. Thin Solid Films 2006, 501, 65-69
19. Liang, Q.; Meng, Y. F.; Yan, C. S.; Krasnicki, S.; Lai, J.; Hemawan, K. W.; Shu, H.; Popov, D.; Yu, T.; Yang, W.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. Journal of Superhard Materials 2013, 35, 195-213
20. Yan, C. S.; Mao, H. K.; Li, W.; Qian, J.; Zhao, Y.; Hemley, R. J. Phys. Status Solidi A 2004, 201, 25-27
21. Wild, C.; Kohl, R.; Herres, N.; Muller-Sebert, W.; Koidl, P. Diamond Relat. Mater. 1994, 3, 373-381
22. Yan, C. S.; Vohra, Y. K. Diamond Relat. Mater. 1999, 8, 2022-2031
23. Yokota, Y.; Ando, Y.; Kobashi, K.; Hirao, T.; Oura, K. Diamond Relat. Mater. 2003, 12, 295-297
24. Ando, Y.; Yokota, Y.; Tachibana, T.; Watanabe, A.; Nishibayashi, Y.; Kobashi, K.; Hirao, T.; Oura, K. Diamond Relat. Mater. 2002, 11, 596-600
25. Kobashi, K.; Nishibayashi, Y.; Yokota, Y.; Ando, Y.; Tachibana, T.; Kawakami, N.; Hayashi, K.; Inoue, K.; Meguro, K.; Imai, H.; Furuta, H.; Hirao, T.; Oura, K.; Gotoh, Y.; Nakahara, H.; Tsuji, H.; Ishikawa, J.; Koeck, F. A.; Nemanich, R. J.; Sakai, T.; Sakuma, N.; Yoshida, H. Diamond Relat. Mater. 2003, 12, 233-240
26. Hemawan, K. W.; Yan, C. S.; Liang, Q.; Lai, J.; Meng, Y.; Krasnicki, S.; Mao, H. K.; Hemley, R. J. IEEE Trans. Plasma Sci. 2011, 39, 2790-2791
27. Glover, C.; Newtwon, M. E.; Martineau, P. M.; Twitchen, D. J.; Baker, J. M. Phys. Rev. Lett. 2003, 90, 185507