Fabrication of silicon nanowire arrays by macroscopic galvanic cell-driven metal catalyzed electroless etching in aerated hf solution

Advanced Materials

Volumn 26, Issue 9, 2014, Pages 1410-1413

  Liu, Lin ^a   Peng, Kui Qing ^a   Hu, Ya ^a   Wu, Xiao Ling ^a   Lee, Shuit Tong ^b  

^a BEIJING NORMAL UNIVERSITY   (China)

^b SOOCHOW UNIVERSITY   (China)

Author keywords

galvanic cell; metal catalyzed electroless etching; silicon nanowire

Indexed keywords

GALVANIC CELLS; HF SOLUTIONS; METAL-CATALYZED ELECTROLESS ETCHINGS; NOBLE METAL ELECTRODES; OXIDIZING AGENTS; SILICON NANOWIRE ARRAYS; SILICON NANOWIRES; SILICON SUBSTRATES;

ETCHING; HYDROFLUORIC ACID; NANOWIRES; SILICON;

CATALYSIS;

EID: 84897668754     PISSN: 09359648     EISSN: 15214095     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.201304327     Document Type: Article

References (39)

1. Y. Cui, C. M. Lieber, Science 2001, 291, 851-853.
2. B. Z. Tian, X. L. Zheng, T. J. Kempa, Y. Fang, N. F. Yu, G. H. Yu, J. L. Huang, C. M. Lieber, Nature 2007, 449, 885-889.
3. A. I. Boukai, Y. Bunimovich, J. Tahir-Kheli, J. K. Yu, W. A. Goddard, J. R. Heath, Nature 2008, 451, 168-171.
4. L. Tsakalakos, J. Balch, J. Fronheiser, B. A. Korevaar, O. Sulima, J. Rand, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 233117.
5. K. Q. Peng, S. T. Lee, Adv. Mater. 2011, 2, 198-215.
6. C. K. Chan, H. L. Peng, G. Liu, K. McIlwrath, X. F. Zhang, R. A. Huggins, Y. Cui, Nat. Nanotech. 2008, 3, 31-35.
7. G. Zheng, F. Patolsky, Y. Cui, W. U. Wang, C. M. Lieber, Nat. Biotechnol. 2005, 23, 1294-1301.
8. A. M. Morales, C. M. Lieber, Science 1998, 279, 208-211.
9. J. D. Holmes, K. P. Johnston, R. Doty, B. A. Korgel, Science 2000, 287, 1471-1473.
10. D. D. D. Ma, C. S. Lee, F. C. K. Au, S. Y. Tong, S.T. Lee, Science 2003, 299, 1874-1877.
11. Y. Wang, V. Schmidt, S. Senz, U. Gosele, Nat. Nanotech. 2006, 1, 186-189.
12. B. M. Kayes, M. A. Filler, M. C. Putnam, M. D. Kelzenberg, N. S. Lewis, H. A. Atwater, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 103110.
13. Y. Yao, S. S. Fan, Mater. Lett. 2007, 61, 177-181.
14. M. Heurlin, M. H. Magnusson, D. Lindgren, M. Ek, L. R. Wallenberg, K. Deppert, L. Samuelson, Nature 2012, 492, 90-94.
15. V. Schmidt, J. V. Wittemann, U. Gosele, Chem. Rev. 2010, 110, 361-388.
16. X. Li, P. W. Bohn, Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 2572.
17. H. Morinaga, M. Suyama, T. Ohmi, J. Electrochem. Soc. 1994, 141, 2834-2841.
18. H. Morinaga, T. Futatsuki, T. Ohmi, E. Fuchita, M. Oda, C. Hayashi, J. Electrochem. Soc. 1994, 142, 966-970.
19. K. Q. Peng, Y.J. Yan, S. P. Gao, J. Zhu, Adv. Mater. 2002, 14, 1164-1167.
20. H. Fang, Y. Wu, J. H. Zhao, J. Zhu, Nanotechnology 2006, 17, 3768-3774.
21. K. Q. Peng, Y. Wu, H. Fang, X. Y. Zhong, Y. Xu, J. Zhu, Angew. Chem. Int. Ed. 2005, 44, 2737-2742.
22. Z. Huang, H. Fang, J. Zhu, Adv. Mater. 2007, 19, 744-748.
23. K. Q. Peng, M. L. Zhang, A. J. Lu, N. B. Wong, R. Q. Zhang, S. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 163123.
24. K. Q. Peng, A. J. Lu, R. Q. Zhang, S. T. Lee, Adv. Funct. Mater. 2008, 18, 3026-3035.
25. Z. Huang, X. Zhang, M. Reiche, L. F. Liu, W. Lee, T. Shimizu, S. Senz, U. Gosele, Nano Lett. 2008, 8, 3046-3051.
26. W. K. Choi, T. H. Liew, M. K. Dawood, H. I. Smith, C. V. Thompson, M. H. Hong, Nano Lett. 2008, 8, 3799-3802.
27. S. W. Chang, V. P. Chuang, S. T. Boles, C. A. Ross, C. V. Thompson, Adv. Funct. Mater. 2009, 19, 2495-2500.
28. K. Q. Peng, X. Wang, L. Li, X.L. Wu, S. T. Lee, J. Am. Chem. Soc. 2010, 132, 6872-6873.
29. W. Chern, K. Hsu, I. S. Chun, B. P. de Azeredo, N. Ahmed, K. H. Kim, J. Zuo, N. Fang, P. Ferreira, X. Li, Nano Lett. 2010, 10, 1582-1588.
30. K. Q. Peng, Y. Xu, Y. Wu, Y. J. Yan, S. T. Lee, J. Zhu, Small 2005, 1, 1062-1067.
31. E. C. Garnett, P. D. Yang, J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 9224-9225.
32. V. Sivakov, G. Andra, A. Gawlik, A. Berger, J. Plentz, F. Falk, S. H. Christiansen, Nano Lett. 2009, 9, 1549-1554.
33. K. Q. Peng, X. Wang, X. L. Wu, S. T. Lee, Nano Lett. 2009, 9, 3704-3709.
34. Y. Hwang, A. Bukai, P. D. Yang, Nano. Lett. 2009, 9, 410-415.
35. A. I. Hochbaum, R. Chen, R. D. Delgado, W. Liang, E. C. Garnett, M. Najarian, A. Majumdar, P. D. Yang, Nature 2008, 451, 163-167.
36. K. Q. Peng, J. S. Jie, W. J. Zhang, S. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 033105.
37. R. Huang, X. Fan, W. Shen, J. Zhu, Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 133119.
38. S. W. Chang, J. Oh, S. T. Boles, C. V. Thompson, Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 153108.
39. S. Wang, K. Liu, J. Liu, Z. T. F Yu, X. Xu, L. Zhao, T. Lee, E. K. Lee, J. Reiss, Y. K. Lee, L. W. K. Chung, J. Huang, M. Rettig, D. Seligson, K. N. Duraiswamy, C. K. F. Shen, H. R. Tseng, Angew. Chem. Int. Ed. 2011, 50, 3084.