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Journal of Materials Chemistry C

Volumn 1, Issue 46, 2013, Pages 7692-7694

Nanofabrication of TaS2 conducting layers nanopatterned with Ta2O5 insulating regions via AFM

(5) Coronado, Eugenio a Forment Aliaga, Alicia a Navarro Moratalla, Efrén a Pinilla Cienfuegos, Elena a Castellanos Gomez, Andres b

a UNIVERSITY OF VALENCIA (Spain)

b DELFT UNIVERSITY OF TECHNOLOGY (Netherlands)

Author keywords

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Indexed keywords

AFM; CONDUCTING LAYERS; ELECTRONIC DEVICE; LOCAL OXIDATION; NANO SCALE; NANOPATTERNING; SIMPLE APPROACH; ULTRA-THIN METALLIC LAYERS;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; TANTALUM OXIDES;

NANOTECHNOLOGY;

EID: 84887480855 PISSN: 20507534 EISSN: 20507526 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c3tc31041h Document Type: Article

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.