Graphene metallization of high-stress silicon nitride resonators for electrical integration

Nano Letters

Volumn 13, Issue 9, 2013, Pages 4275-4279

  Lee, Sunwoo ^a   Adiga, Vivekananda P ^b   Barton, Robert A ^b,c   Van Der Zande, Arend M ^c   Lee, Gwan Hyoung ^a,d,f   Ilic, B Rob ^e   Gondarenko, Alexander ^a   Parpia, Jeevak M ^b   Craighead, Harold G ^b   Hone, James ^a  

^a Columbia University ^*  (United States)

^b Cornell University   (United States)

^c Och Spine at New York Presbyterian Hospitals   (United States)

^d Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT)   (South Korea)

^e Department of Theoretical and Applied Mechanics and the Cornell Nanofabrication Facility   (United States)

^f Sungkyunkwan University   (South Korea)

Author keywords

graphene; NEMS; optomechanics; quality factor; Silicon nitride resonators

Indexed keywords

CONDUCTIVE COATINGS; ELECTROSTATIC TUNING; MECHANICAL PERFORMANCE; MECHANICAL RESONATORS; METALLIZATION LAYERS; OPTO-MECHANICS; QUALITY FACTORS; THIN LAYERS;

ALUMINUM COATINGS; DEPOSITION; GRAPHENE; METALLIZING; NEMS; RESONATORS; SIGNAL PROCESSING; SILICON; SILICON NITRIDE;

ELECTRIC PROPERTIES;

GRAPHITE; METAL; NANOMATERIAL; SILICON DERIVATIVE; SILICON NITRIDE;

CHEMISTRY; EQUIPMENT DESIGN; MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM; ARTICLE;

EQUIPMENT DESIGN; GRAPHITE; METALS; MICRO-ELECTRICAL-MECHANICAL SYSTEMS; NANOSTRUCTURES; SILICON COMPOUNDS;

EID: 84884263023     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl4020414     Document Type: Article

References (35)

1. Craighead, H. G. Science 2000, 290 (5496) 1532-1535
2. Huang, X. M. H.; Zorman, C. A.; Mehregany, M.; Roukes, M. L. Nature 2003, 421 (6922) 496-496
3. Nguyen, C. T.-C. Dig. of Tech. Papers TRANSDUCERS 2005, 1, 243-246.
4. Yang, Y. T.; Callegari, C.; Feng, X. L.; Ekinci, K. L.; Roukes, M. L. Nano Lett. 2006, 6 (4) 583-586
5. Verbridge, S. S.; Craighead, H. G.; Parpia, J. M. Appl. Phys. Lett. 2008, 92 (1) 013112-3
6. Adiga, V. P.; Ilic, B.; Barton, R. A.; Wilson-Rae, I.; Craighead, H. G.; Parpia, J. M. J. Appl. Phys. 2012, 112 (6) 064323-6
7. Verbridge, S. S.; Parpia, J. M.; Reichenbach, R. B.; Bellan, L. M.; Craighead, H. G. J. Appl. Phys. 2006, 99 (12) 124304-8
8. Sekaric, L.; Carr, D. W.; Evoy, S.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G. Sensor. Actuat. A-Phys. 2002, 101 (1-2) 215-219
9. Yu, P. L.; Purdy, T. P.; Regal, C. A. Phys. Rev. Lett. 2012, 108 (8) 083603
10. Biswas, T. S.; Suhel, A.; Hauer, B. D.; Palomino, A.; Beach, K. S. D.; Davis, J. P. Appl. Phys. Lett. 2012, 101 (9) 093105-5
11. Waggoner, P. S.; Tan, C. P.; Craighead, H. G. J. Appl. Phys. 2010, 107 (11) 114505-5
12. Rieger, J.; Faust, T.; Seitner, M. J.; Kotthaus, J. P.; Weig, E. M. Appl. Phys. Lett. 2012, 101 (10) 4
13. Unterreithmeier, Q. P.; Weig, E. M.; Kotthaus, J. P. Nature 2009, 458 (7241) 4
14. Faust, T.; Krenn, P.; Manus, S.; Kotthaus, J. P.; Weig, E. M. Nat Commun 2012, 3, 728
15. Teufel, J. D.; Donner, T.; Li, D.; Harlow, J. W.; Allman, M. S.; Cicak, K.; Sirois, A. J.; Whittaker, J. D.; Lehnert, K. W.; Simmonds, R. W. Nature 2011, 475 (7356) 359-363
16. Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324 (5932) 1312-1314
17. Kim, K. S.; Zhao, Y.; Jang, H.; Lee, S. Y.; Kim, J. M.; Kim, K. S.; Ahn, J.-H.; Kim, P.; Choi, J.-Y.; Hong, B. H. Nature 2009, 457 (7230) 706-710
18. Song, X.; Oksanen, M.; Sillanpää, M. A.; Craighead, H. G.; Parpia, J. M.; Hakonen, P. J. Nano Lett. 2011, 12 (1) 198-202
19. Kern, W.; Puotinen, D. A. RCA Rev. 1970, 31, 187-206
20. Mulhern, G. T.; Soane, D. S.; Howe, R. T. Proc. TRANSDUCERS 1993, 1, 7-10.
21. Li, X.; Magnuson, C. W.; Venugopal, A.; Tromp, R. M.; Hannon, J. B.; Vogel, E. M.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. J. Am. Chem. Soc. 2011, 133 (9) 2816-2819
22. Lee, G.-H.; Cooper, R.; An, S. J.; Lee, S.; Zande, A. v. d.; Petrone, N.; Hammerberg, A. G.; Lee, C.; Crawford, B.; Oliver, W.; Kysar, J. W.; Hone, J. Science 2013, 340 (6136) 1073-1076
23. Petrone, N.; Dean, C. R.; Meric, I.; van der Zande, A. M.; Huang, P. Y.; Wang, L.; Muller, D.; Shepard, K. L.; Hone, J. Nano Lett. 2012, 12 (6) 2751-2756
24. van der Zande, A. M.; Barton, R. A.; Alden, J. S.; Ruiz-Vargas, C. S.; Whitney, W. S.; Pham, P. H. Q.; Park, J.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G.; McEuen, P. L. Nano Lett. 2010, 10 (12) 4869-4873
25. Xu, Y.; Chen, C.; Deshpande, V. V.; DiRenno, F. A.; Gondarenko, A.; Heinz, D. B.; Liu, S.; Kim, P.; Hone, J. Appl. Phys. Lett. 2010, 97 (24) 243111
26. Wilson-Rae, I.; Barton, R. A.; Verbridge, S. S.; Southworth, D. R.; Ilic, B.; Craighead, H. G.; Parpia, J. M. Phys. Rev. Lett. 2011, 106 (4) 047205
27. Adiga, V. P.; Ilic, B.; Barton, R. A.; Wilson-Rae, I.; Craighead, H. G.; Parpia, J. M. Appl. Phys. Lett. 2011, 99 (25) 253103-3
28. Adiga, V. P.; De Alba, R.; Storch, I. R.; Yu, P. A.; Ilic, B.; Barton, R. A.; Lee, S.; Hone, J.; McEuen, P. L.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G. arXiv:1307.2525 2013.
29. Bunch, J. S.; van der Zande, A. M.; Verbridge, S. S.; Frank, I. W.; Tanenbaum, D. M.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G.; McEuen, P. L. Science 2007, 315 (5811) 490-493
30. Conley, H.; Lavrik, N. V.; Prasai, D.; Bolotin, K. I. Nano Lett. 2011, 11 (11) 4748-4752
31. Barton, R. A.; Ilic, B.; van der Zande, A. M.; Whitney, W. S.; McEuen, P. L.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G. Nano Lett. 2011, 11 (3) 1232-1236
32. Chen, C.; Rosenblatt, S.; Bolotin, K. I.; Kalb, W.; Kim, P.; Kymissis, I.; Stormer, H. L.; Heinz, T. F.; Hone, J. Nature Nanotech. 2009, 4 (12) 861-867
33. Solanki, H. S.; Sengupta, S.; Dhara, S.; Singh, V.; Patil, S.; Dhall, R.; Parpia, J.; Bhattacharya, A.; Deshmukh, M. M. Phys. Rev. B 2010, 81 (11) 115459
34. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Zhang, Y.; Dubonos, S. V.; Grigorieva, I. V.; Firsov, A. A. Science 2004, 306, 666
35. Rocheleau, T.; Ndukum, T.; Macklin, C.; Hertzberg, J. B.; Clerk, A. A.; Schwab, K. C. Nature 2010, 463 (7277) 72-75