Atomic layer deposition: Prospects for solar cell manufacturing

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference

Volumn , Issue , 2008, Pages

  Kessels, W M M ^a   Hoex, B ^a   Van De Sanden, M C M ^a  

^a EINDHOVEN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC PRECISION; CONFORMAL FILMS; PHOTOVOLTAICS; SEMICONDUCTOR INDUSTRY; SOLAR CELL MANUFACTURING; THIN FILM GROWTH TECHNOLOGY; THIRD GENERATION; THREE-DIMENSIONAL OBJECT;

DEPOSITION; FILM GROWTH; SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE; SOLAR CELLS; THIN FILMS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84879703190     PISSN: 01608371     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1109/PVSC.2008.4922775     Document Type: Conference Paper

References (41)

1. M. Ritala and M. Leskel-, in Handbook of Thin FilmMa-teria/s, H. S. Nalwa, Editor, V 1, p. 103-159, Academic, San Diego, CA (2002).
2. S. M. George, A. w. Ott, and J. w. Klaus, J. Phys. Chem., 100, 13121 (1996).
3. RL. Puurunen, J. Appl. Phys., 97, 121301 (2005).
4. SA Hussien, P. Colter, A. Dip, J. R. Gong, M. U. Erdogan, S. M. Bedair, Solar Cells 30, 305 (1991).
5. N. Hayafuji, G. M. Eldallal, A. Dip, P. C. Colter, N. A. EI-Masry, S. M. Bedair, Appl. Surf. Sci. 82, 18 (1994).
6. G. M. Eldallal, M. S. Abou-Elwafa, MA Elgammal, S. M. Bedair, Renewable Energy 6, 71 (1995).
7. Y. Ohtake, K. Kushiya, M. Ichikawa, A. Yamada, M. Konagai, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 5949 (1995).
8. E. B. Yousfi, T. Asikainen, V. Pietcu, P. Cowache, M. Powalla, D. Lincot, Thin Solid Films 361, 183 (2000).
9. S. Chaisitsak, T. Sugiyama, A. Yamada, M. Konagai, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 4989 (1999).
10. S. Chaisitsak, A. Yamada, M. Konagai, K. Saito, Jpn. J. Appl. Phys. 39, 1660 (2000).
11. A. Shimizu, S. Chaisitsak, T. Sugiyama, A. Yamada, M. Konagai, Thin Solid Films 361, 193 (2000).
12. E. B. Yousfi, B. Weinberger, F. Donsanti, P. Cowache, D. Lincot, Thin Solid Films 387, 29 (2000).
13. C. Platzer-Bjorkman, J. Lu, J. Kessler, L. Stolt, Thin Solid Films 431, 321 (2003).
14. U. Maim, J. Malmstrom, C. Platzer-Bjorkman, L. Stolt, Thin Solid Films 480, 208 (2005).
15. J.-F. Guillemoles, B. Canava, E.-B. Yousfi, P. Cowache, A. Galtayries, T. Asikainen, M. Powalla, D. Hariskos, H.-W. Schock, D. Lincot, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 6065 (2001).
16. N. Naghavi, S. Spiering, B. Cavana, D. Lincot, Prog. Photovolt. Res. Appl. 11, 437 (2003).
17. S. Spiering, D. Hariskos, M. Powalla, N. Naghavi, D. Lincot, Thin Solid Films 431, 359 (2003).
18. D. Abou-Ras, D. Rudman, G. Kostorz, S. Spiering, M. Powalla, A. N. Tiwari, J. Appl. Phys. 97, 084908 (2005).
19. J. Sterner, J. Malmstrom, L. Stolt, Prog. Photovolt. Res. Appl. 13, 179 (2005).
20. D. Hariskos, S. Spiering, M. Powalla, Thin Solid Films 480, 99 (2005).
21. C. Platzer-Bjorkman, T. Torndahl, D. Abou-Ras, J. Malmstrom, J. Kessler, L. Stolt, J. Appl. Phys. 100, 044506 (2006).
22. C. Platzer-Bjorkman, T. Torndahl, A. Hultqvist, J. Kessler, L. Stolt, Thin Solid Films 515, 6024 (2007).
23. T. Torndahl, C. Platzer-Bjorkman, J. Kessler, L. Stolt, Prog. Photovolt. Res. Appl. 15, 225 (2007).
24. B. Sang, K. Dairiki, A. Yamada, M. Konagai, Jpn. J. Appl. Phys. 38, 4983 (1999).
25. L. Reijnen, B. Meester, A. Goossens, J. Schoonman, Chem. Vap. Deposition 9, 15 (2003).
26. M. Nanu, J. Schoonman, A. Goossens, Adv. Mater. 16, 453 (2004).
27. M. Nanu, L. Reijnen, B. Meester, A. Goossens, J. Schoonman, Thin Solid Films 431, 492 (2003).
28. M. Nanu, L. Reijnen, B. Meester, A. Goossens, J. Schoonman, Chem. Vap. Deposition 10, 45 (2004).
29. M. Nanu, J. Schoonman, A. Goossens, Adv. Funct. Mater. 15, 95 (2005).
30. G. Agostinelli, A. Delabie, P. Vitanov, Z. Alexieva, H. F. W. Dekkers, S. De Wolf, G. Beaucarne, Sol. En. Mat. Sol. Cells 90, 3438 (2006).
31. B. Hoex, S. B. S. Heil, E. Langereis, M. C. M. van de Sanden, W. M. M. Kessels, Appl. Phys. Lett. 89, 042112 (2006).
32. J. L. van Hemmen, S. B. S. Heil, J. Klootwijk, F. Roozeboom, C. J. Hodson, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, J. Electrochem. Soc. 154, G165 (2007).
33. B. Hoex, J. Schmidt, P. Pohl, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, J. Appl. Phys. (sub-mitted); B. Hoex, J. Schmidt, M. C. M. van de San-den, and W. M. M. Kessels, Proc. 33rd IEEE PVSC, San Diego, USA (2008).
34. J. Schmidt, A. Merkle, R Brendel, B. Hoex, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, Prog. Photovolt: Res. Appl. (2008);
35. J. Schmidt, A. Merkle, R Brendel, B. Hoex, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, Proc. 33rd IEEE PVSC, San Diego, USA (2008).
36. J. Benick, A. Leimenstoll, O. Schultz, Proc. 22nd EUPVSEC, Milano, Italy (2007), p. 1244.
37. B. Hoex, J. Schmidt, R. Bock, P. P. Altermatt, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, Appl. Phys. Lett. 91, 112107 (2007).
38. J. Benick, B. Hoex, M. C. M. van de Sanden, and W. M. M. Kessels, O. Schultz, S. w. Glunz, Appl. Phys. Lett. (submitted); J. Benick, S. w. Glunz, Proc. 33rd IEEE PVSC, San Diego, USA (2008).
39. A. B. F. Martinson, J. w. Elam, J. T. Hupp, and M. J. Pellin, Nano Lett. 7, 2183 (2007).
40. M. Law, L. E. Greene, A. Radenovic, T. Kuykendall, J. Liphardt, P. Yang, J. Phys. Chem. B 110, 22652 (2006).
41. L. E. Greene, M. Law, B. D. Yuhas, and P. Yang, J. Phys. Chem. C 111, 18451 (2007).