Self-aligned nanotube-nanowire phase change memory

Nano Letters

Volumn 13, Issue 2, 2013, Pages 464-469

  Xiong, Feng ^a,b   Bae, Myung Ho ^a,d   Dai, Yuan ^a   Liao, Albert D ^a   Behnam, Ashkan ^a   Carrion, Enrique A ^a   Hong, Sungduk ^a   Ielmini, Daniele ^c   Pop, Eric ^a,b  

^a University of Illinois at Urbana Champaign   (United States)

^b UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

^c POLITECNICO DI MILANO   (Italy)

^d Korea Research Institute of Standards and Science   (South Korea)

Author keywords

carbon nanotube; interconnects; nanowire; Phase change memory; self aligned

Indexed keywords

AMORPHOUS STATE; CARBON NANOTUBES (CNT); CNT ELECTRODES; DIGITAL INFORMATION; ENERGY EFFICIENT; MOLECULAR DEVICE; NANO SCALE; NANOSCALE DIMENSIONS; ON/OFF RATIO; PHASE-CHANGE MATERIALS (PCMS); PROGRAMMING CURRENTS; SCALING LIMITS; SELF-ALIGN; SELF-ALIGNED;

DIGITAL DEVICES; ELECTRODES; NANOTECHNOLOGY; NANOWIRES; OPTICAL INTERCONNECTS; PHASE CHANGE MATERIALS; PHASE CHANGE MEMORY;

CARBON NANOTUBES;

EID: 84873627833     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl3038097     Document Type: Article

References (33)

1. Khajetoorians, A. A.; Wiebe, J.; Chilian, B.; Wiesendanger, R. Science 2011, 332, 1062
2. McCamey, D. R.; Van Tol, J.; Morley, G. W.; Boehme, C. Science 2010, 330, 1652
3. Borghetti, J.; Snider, G. S.; Kuekes, P. J.; Yang, J. J.; Stewart, D. R.; Williams, R. S. Nature 2010, 464, 873
4. Waser, R.; Aono, M. Nat. Mater. 2007, 6, 833
5. Wuttig, M.; Yamada, N. Nat. Mater. 2007, 6, 824
6. Burr, G. W.; Breitwisch, M. J.; Franceschini, M.; Garetto, D.; Gopalakrishnan, K.; Jackson, B.; Kurdi, B.; Lam, C.; Lastras, L. A.; Padilla, A.; Rajendran, B.; Raoux, S.; Shenoy, R. S. J. Vac. Sci. Technol., B 2010, 28, 223
7. Wong, H. S. P.; Raoux, S.; Kim, S.; Liang, J. L.; Reifenberg, J. P.; Rajendran, B.; Asheghi, M.; Goodson, K. E. Proc. IEEE 2010, 98, 2201
8. Lee, S.-H.; Jung, Y.; Agarwal, R. Nat. Nanotechnol. 2007, 2, 626
9. Meister, S.; Schoen, D. T.; Topinka, M. A.; Minor, A. M.; Cui, Y. Nano Lett. 2008, 8, 4562
10. Yu, D.; Brittman, S.; Lee, J. S.; Falk, A. L.; Park, H. Nano Lett. 2008, 8, 3429
11. Xiong, F.; Liao, A. D.; Estrada, D.; Pop, E. Science 2011, 332, 568
12. Liang, J.; Jeyasingh, R. G. D.; Chen, H.-Y.; Wong, H.-S. P. IEEE Trans. Electron Devices 2012, 59, 1155
13. Xiong, F.; Liao, A.; Pop, E. Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 243103
14. Pop, E. Nano Res. 2010, 3, 147
15. Chua, E. K.; Shi, L. P.; Zhao, R.; Lim, K. G.; Chong, T. C.; Schlesinger, T. E.; Bain, J. A. Appl. Phys. Lett. 2010, 97, 183506
16. Kang, M. J.; Park, T. J.; Kwon, Y. W.; Ahn, D. H.; Kang, Y. S.; Jeong, H.; Ahn, S. J.; Song, Y. J.; Kim, B. C.; Nam, S. W.; Kang, H. K.; Jeong, G. T.; Chung, C. H. IEEE Int. Electron Devices Meet. 2011, 39
17. Liao, A. D.; Alizadegan, R.; Ong, Z. Y.; Dutta, S.; Xiong, F.; Hsia, K. J.; Pop, E. Phys. Rev. B 2010, 82, 205406
18. Estrada, D.; Dutta, S.; Liao, A.; Pop, E. Nanotechnology 2010, 21, 085702
19. Zhang, H.; Wong, C.-L.; Hao, Y.; Wang, R.; Liu, X.; Stellacci, F.; Thong, J. T. L. Nanoscale 2010, 2, 2302
20. Jin, C. Y.; Li, Z. Y.; Williams, R. S.; Lee, K. C.; Park, I. Nano Lett. 2011, 11, 4818
21. Qi, P.; Javey, A.; Rolandi, M.; Wang, Q.; Yenilmez, E.; Dai, H. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 11774
22. Thiele, C.; Engel, M.; Hennrich, F.; Kappes, M. M.; Johnsen, K. P.; Frase, C. G.; Lohneysen, H. V.; Krupke, R. Appl. Phys. Lett. 2011, 99, 173105
23. Ielmini, D. Phys. Rev. B 2008, 78, 035308
24. Bichet, O.; Wright, C. D.; Samson, Y.; Gidon, S. J. Appl. Phys. 2004, 95, 2360
25. Servalli, G. IEEE Int. Electron Devices Meet. 2009, 113-116
26. Mitra, M.; Jung, Y.; Gianola, D. S.; Agarwal, R. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 222111
27. Li, J.; Luan, B.; Hsu, T. H.; Zhu, Y.; Martyna, G.; Newns, D.; Cheng, H. Y.; Raoux, S.; Lung, H. L.; Lam, C. IEEE Int. Electron Devices Meet. 2011, 291
28. Boniardi, M.; Ielmini, D. Appl. Phys. Lett. 2011, 98, 243506
29. Ritala, M.; Pore, V.; Hatanpaa, T.; Heikkila, M.; Leskela, M.; Mizohata, K.; Schrott, A.; Raoux, S.; Rossnagel, S. M. Microelectron. Eng. 2009, 86, 1946
30. Lin, Y. C.; Bai, J. W.; Huang, Y. Nano Lett. 2009, 9, 2234
31. Guo, X.; Small, J. P.; Klare, J. E.; Wang, Y.; Purewal, M. S.; Tam, I. W.; Hong, B. H.; Caldwell, R.; Huang, L.; O'Brien, S.; Yan, J.; Breslow, R.; Wind, S. J.; Hone, J.; Kim, P.; Nuckolls, C. Science 2006, 311, 356
32. Venkatesan, B. M.; Estrada, D.; Banerjee, S.; Jin, X.; Dorgan, V. E.; Bae, M.-H.; Aluru, N. R.; Pop, E.; Bashir, R. ACS Nano 2012, 6, 441
33. Alizadegan, R.; Liao, A. D.; Xiong, F.; Pop, E.; Hsia, K. J. Nano Res. 2012, 5, 235