Self-aligned nanolithography in a nanogap

Nano Letters

Volumn 9, Issue 6, 2009, Pages 2234-2238

  Lin, Yung Chen ^a   Bai, Jingwei ^a   Huang, Yu ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRICAL CHARACTERIZATION; ELECTRICAL CONTACTS; FUNCTIONAL NANOSTRUCTURES; NANO DEVICE; NANO SCALE; NANO-ELECTRODES; NANO-GAP; NANOGAP ELECTRODES; NANOHOLES; NANOISLAND; POLYMER RESIST; ROOM TEMPERATURE; SELF-ALIGNED; TUNNELING CHARACTERISTICS; TUNNELING JUNCTIONS; VARIABLE DIAMETER; VIA HOLE;

ELECTRODES; FIELD EMISSION; NANOSTRUCTURED MATERIALS; NANOSTRUCTURES; TUNNELING (EXCAVATION);

NANOLITHOGRAPHY;

EID: 66749139035     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl9000597     Document Type: Article

References (36)

1. Goldhaber-Gordon, D.; Montemerlo, M. S.; Love, J. C.; Opiteck, G. J.; Ellenbogen, J. C. Proc. IEEE 1997, 85, 521-540.
2. Lieber, C. M. Sci. Am. 2001, 285, 50-56.
3. Heath, J. R.; Ratner, M. A. Phys. Today 2003, 5, 43-49.
4. Wang, Z. L.; Song, J. H. Science 2006, 312, 242-246.
5. Lin, Y. C.; Lu, K. C.; Wu, W. W.; Bai, J.-W.; Chen, L. J.; Tu, K. N.; Huang, Y. Nano Lett. 2008, 8, 913-918.
6. Xia, Y. N.; Yang, P. D.; Sun, Y. G.; Wu, Y. Y.; Mayers, B.; Gates, B.; Yin, Y. D.; Kim, F.; Yan, Y. Q. Adv. Mater. 2003, 15, 354-389.
7. Bumm, L. A.; Arnold, J. J.; Cygan, M. T.; Dunbar, T. D.; Burgin, T. P.; Jones, L.; Allara, D. L.; Tour, J. M.; Weiss, P. S. Science 1996, 275, 1705-1707.
8. Donhauser, Z. J.; Mantooth, B. A.; Kelly, K. F.; Bumm, L. A.; Monnell, J. D.; Stapleton, J. J.; Price, D. W.; Rawlett, A. M.; Allara, D. L.; Tour, J. M.; Weiss, P. S. Science 2001, 292, 2303-2307.
9. Cui, X. D.; Primak, A.; Zarate, X.; Tomfohr, J.; Sankey, O. F.; Moore, A. L.; Moore, T. A.; Gust, D.; Harris, G.; Lindsay, S. M. Science 2001, 294, 571-574.
10. Liu, S. H.; Tok, J. B. H.; Bao, Z. Nano Lett. 2005, 5, 1071-1076.
11. Mahapatro, A. K.; Ying, J. W.; Ren, T.; Janes, D. B. Nano Lett. 2008, 8, 2131-2136.
12. Ray, V.; Subramanian, R.; Bhadrachalam, P.; Ma, L. C.; Kim, C. U.; Koh, S. J. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 603-608.
13. Negishi, R.; Hasegawa, T.; Terabe, K.; Aono, M.; Tanaka, H.; Ogawa, T.; Ozawa, H. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 223112.
14. Klein, D. L.; Roth, R.; Lim, A. K. L.; Alivisatos, A. P.; McEuen, P. L. Nature 1997, 389, 699-701.
15. Hoshino, K.; Yamada, K.; Matsumoto, K.; Shimoyama, I. J. Micro-mech. Microene. 2006, 16, 1285-1289.
16. Fiore, A.; Chen, J. X.; Ilegems, M. Appl Phys. Lett. 2002, 81, 1756-1758.
17. Leica VB6 HR and Jeol JBX 9300 FS EBL Equipment Capability.
18. Smith, P. A.; Nordquist, C. D.; Jackson, T. N.; Mayer, T. S.; Martin, B. R.; Mbindyo, J.; Mallouk, T. E. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 1399-1401.
19. Ma, L. H.; Subramanian, R.; Huang, H. W.; Ray, V.; Kim, C. U.; Koh, S. J. Nano Lett. 2007, 7, 439-445.
20. Tanase, M.; Bauer, L. A.; Hultgren, A.; Silevitch, D. M.; Sun, L.; Reich, D. H.; Searson, P. C.; Meyer, G. J. Nano Lett. 2001, 1, 155-158.
21. Huang, Y.; Duan, X.; Wei, Q.; Lieber, C. M. Science 2001, 291, 630-633.
22. Tsukruk, V. V.; Ko, H.; Peleshanko, S. Phys. Rev. Lett. 2004, 92, 065502.
23. Wang, X.; Summers, C. J.; Wang, Z. L. Nano Lett. 2004, 4, 423-426.
24. Rao, S. G.; Huang, L.; Setyawan, W.; Hong, S. H. Nature 2003, 425, 36-37.
25. Kumagai, S.; Yoshii, S.; Yamada, K.; Matsukawa, N.; Fujiwara, I.; Iwahori, K.; Yamashita, I. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 153103.
26. Zheng, J. W.; Constantinou, P. E.; Micheel, C.; Alivisatos, A. P.; Kiehl, R. A.; Seeman, N. C. Nano Lett. 2006, 6, 1502-1504.
27. Warner, M. G.; Hutchison, J. E. Nat. Mater. 2003, 2, 272-277.
28. Majumdar, A.; Oden, P. I.; Carrejo, J. P.; Nagahara, L. A.; Graham, J. J.; Alexander, J. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 2293-2295.
29. Lercel, M. J.; Craighead, H. G.; Parikh, A. N.; Seshadri, K.; Allara, D. L. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 1504-1506.
30. Lyuksyutov, S. F.; Paramonov, P. B.; Sharipov, R. A.; Sigalov, G. Phys. Rev. B 2004, 70, 174110.
31. Lyuksyutov, S. F.; Vaia, R. A.; Paramonov, P. B.; Juhl, S.; Waterhouse, L.; Ralich, R. M.; Sigalov, G.; Sancaktar, E. Nat. Mater. 2003, 2, 468-472.
32. Bhattacharjee, S.; Vartak, A.; Mukherjee, V. Appl. Phys. Lett. 2008, 92, 191503.
33. Fowler, R. H.; Nordheim, L. Proc. R. Soc. London. Ser. A 1928, 119, 173.
34. Hunt, C. E.; Trujillo, J. T.; Orvis, W. J. IEEE Trans. Electron Devices 1991, 38, 2309-2313.
35. Kroschwitz, J. I. Electrical and Electronic Properties of Polymers: A State-of-the-Art Compendium; John Wiley & Sons: New York, 1998; pp 116-119.
36. Osswald, T. A.; Menges, G. Material Science of Polymers for Engineers; Hansen & Gardner: New York, 1996; pp 384-403.