Reactive bond-order potential for Si-, C-, and H-containing materials

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 117, Issue 3, 2013, Pages 1323-1334

  Schall, J David ^a   Harrison, Judith A ^b  

^a Oakland University   (United States)

^b UNITED STATES NAVAL ACADEMY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BOND-ORDER POTENTIAL; DEFECT PROPERTY; MODELING SYSTEMS; ORGANOSILICONES; PARAMETRIZATIONS; REACTIVE POTENTIALS; SOLID CARBON; SOLID SILICON; TYPE SYSTEMS;

CARBON; HYDROCARBONS; HYDROGEN; MOLECULES; SILICON ALLOYS; SILICON CARBIDE; SURFACE DEFECTS;

SILICON;

EID: 84872862834     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp3074688     Document Type: Article

References (70)

1. Brenner et al. J. Phys.: Condens. Matter 2002, 14, 783
2. Schall, Gao, Harrison. Phys. Rev. B 2008, 77, 115209
3. Wrobel, A. M.; Walkiewicz-Pietrzykowska, A.; Ahola, M.; Vayrynen, I. J.; Ferrer-Fernandez, F. J.; Gonzalez-Elipe, A. R. Chem. Vap. Deposition 2009, 15, 39-46
4. Walkiewicz-Pietrzykowska, A.; Wrobel, A. M.; Glebocki, B. Chem. Vap. Deposition 2009, 15, 47-52
5. Wrobel, A. M.; Walkiewicz-Pietrzykowska, A.; Blaszczyk-Lezak, I. Appl. Organomet. Chem. 2010, 24, 201-207
6. Wrobel, A. M.; Wickramanayaka, S.; Nakanishi, Y.; Fukuda, Y.; Hatanaka, Y. Chem. Mater. 1995, 7, 1403-1413
7. Daves, W.; Krauss, A.; Behnel, N.; Häublein, V.; Bauer, A.; Frey, L. Thin Solid Films 2011, 519, 5892-5898
8. Lantz, M. A.; Gotsmann, B.; Jaroenapibal, P.; Jacobs, T. D. B.; O'Connor, S. D.; Sridharan, K.; Carpick, R. W. Adv. Funct. Mater. 2012, 22, 1639-1645
9. Kim, K. S.; Zhao, Y.; Jang, H.; Lee, S. Y.; Kim, J. M.; Kim, K. S.; Ahn, J.-H.; Kim, P.; Choi, J.-Y.; Hong, B. H. Nature 2009, 457, 706-710
10. Wu, W.; Liu, Z.; Jauregui, L. A.; Yu, Q.; Pillai, R.; Cao, H.; Bao, J.; Chen, Y. P.; Pei, S.-S. Sens. Actuators, B 2010, 150, 296-300
11. Matsumoto, T.; Takahashi, J.; Tamaki, T.; Futagi, T.; Mimura, H.; Kanemitsu, Y. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 226-228
12. Hamashita, D.; Kurokawa, Y.; Konagai, M. Energy Procedia 2011, 10, 14-19
13. Chen, T.; Yang, D.; Carius, R.; Finger, F. Jpn. J. Appl. Phys. 2010, 49, 041303
14. Evans, R. D.; Doll, G. L.; Morrison, P. W., Jr; Bentley, J.; More, K. L.; Glass, J. T. Surf. Coat. Technol. 2002, 157, 197-206
15. Zhao, F.; Li, H. X.; Ji, L.; Mo, Y. F.; Quan, W. L.; Zhou, H. D.; Chen, J. M. J. Phys. D: Appl. Phys. 2009, 42, 165407
16. Kim, H.-G.; Ahn, S.-H.; Kim, J.-G.; Park, S. J.; Lee, K.-R. Thin Solid Films 2005, 482, 299-304
17. Ray, S. C.; Okpalugo, T. I. T.; Papakonstantinou, P.; Bao, C. W.; Tsai, H. M.; Chiou, J. W.; Jan, J. C.; Pong, W. F.; McLaughlin, J. A.; Wang, W. J. Thin Solid Films 2005, 482, 242-247
18. Abbas, G. A.; Papakonstantinou, P.; Okpalugo, T. I. T.; McLaughlin, J. A.; Filik, J.; Harkin-Jones, E. Thin Solid Films 2005, 482, 201-206
19. Camargo, S. S., Jr.; Gomes, J. R.; Carrapichano, J. M.; Silva, R. F.; Achete, C. A. Thin Solid Films 2005, 482, 221-225
20. Brenner, D. W.; Shenderova, O. A.; Harrison, J. A.; Stuart, S. J.; Ni, B.; Sinnott, S. B. J. Phys.: Condens. Matter 2002, 14, 783-802
21. Ni, B.; Lee, K.-H.; Sinnott, S. B. J. Phys.: Condens. Matter 2004, 16, 7261-7275
22. Stuart, S. J.; Tutein, A. B.; Harrison, J. A. J. Chem. Phys. 2000, 112, 6472
23. Schall, J. D.; Gao, G.; Harrison, J. A. Phys. Rev. B 2008, 77, 115209
24. Brenner, D. W. Phys. Status Solidi (B) 2000, 217, 23
25. Abell, G. C. Phys. Rev. B 1985, 31, 6184
26. Brenner, D. W. Phys. Rev. Lett. 1989, 63, 1022
27. Pettifor, D. G.; Oleinik, I. I. Phys. Rev. B 1999, 59, 8487-8499
28. Oleinik, I. I.; Pettifor, D. G. Phys. Rev. B 1999, 59, 8500-8507
29. Gillespie, B. A.; Zhou, X. W.; Murdick, D. A.; Wadley, H. N. G.; Drautz, R.; Pettifor, D. G. Phys. Rev. B 2007, 75, 155207
30. Tersoff, J. Phys. Rev. Lett. 1988, 61, 2879
31. Tersoff, J. Phys. Rev. B 1988, 38, 9902
32. Tersoff, J. Phys. Rev. B 1989, 39, 5566
33. Tersoff, J. Phys. Rev. B 1988, 37, 6991
34. Tersoff, J. Phys. Rev. Lett. 1986, 56, 632
35. Brenner, D. W. Phys. Rev. B 1990, 42, 9458
36. Ramana Murty, M. V.; Atwater, H. A. Phys. Rev. B 1995, 51, 4889-4893
37. Beardmore, K.; Smith, R. Philos. Mag. A 1996, 74, 1439-1466
38. Dyson, A. J.; Smith, P. V. Surf. Sci. 1996, 355, 140-150
39. Dyson, A. J.; Smith, P. V. Mol. Phys. 1999, 96, 1491-1507
40. Sbraccia, C.; Silvestrelli, P. L.; Ancilotto, F. Surf. Sci. 2002, 516, 147-158
41. Gao, G.; Workum, K. V.; Schall, J. D.; Harrison, J. A. J. Phys.: Condens. Matter 2006, 18, S1737-S1750
42. Plimpton, S. J. Comput. Phys. 1995, 117, 1-19
43. Erhart, P.; Albe, K. Phys. Rev. B 2005, 71, 035211
44. Martin, J. M. L.; Francois, J. P.; Gijbels, R. J. Chem. Phys. 1990, 92, 6655-6667
45. Chang, K. J.; Cohen, M. L. Phys. Rev. B 1987, 35, 8196-8201
46. Rohlfing, C. M.; Martin, R. L. J. Phys. Chem. 1986, 90, 2043-2046
47. Karch, K.; Pavone, P.; Windl, W.; Schütt, O.; Strauch, D. Phys. Rev. B 1994, 50, 17054-17063
48. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, Jr, J. A.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; others. Gaussian 03, revision C. 02; Gaussian, Inc.: Wallingford, CT, 2004.
49. Montgomery, J. A.; Frisch, M. J.; Ochterski, J. W.; Petersson, G. A. J. Chem. Phys. 1999, 110, 2822-2827
50. Page, M.; Brenner, D. W. J. Am. Chem. Soc. 1991, 113, 3270-3274
51. Srinivasan, E.; Yang, H.; Parsons, G. N. J. Chem. Phys. 1996, 105, 5467
52. Katzer, G.; Ernst, M. C.; Sax, A. F.; Kalcher, J. J. Phys. Chem. A 1997, 101, 3942-3958
53. Vashishta, P.; Kalia, R. K.; Nakano, A.; Rino, J. P. J. Appl. Phys. 2007, 101, 103515
54. Stillinger, F. H.; Weber, T. A. Phys. Rev. B 1985, 31, 5262
55. Bernstein, N.; Mehl, M. J.; Papaconstantopoulos, D. A.; Papanicolaou, N. I.; Bazant, M. Z.; Kaxiras, E. Phys. Rev. B 2000, 62, 4477
56. Gao, F.; Bylaska, E. J.; Weber, W. J.; Corrales, L. R. Phys. Rev. B 2001, 64, 245208
57. Wang, C.; Bernholc, J.; Davis, R. F. Phys. Rev. B 1988, 38, 12752
58. Gali, A.; Deák, P.; Ordejón, P.; Son, N. T.; Janzén, E.; Choyke, W. J. Phys. Rev. B 2003, 68, 125201
59. Erhart, P.; Albe, K. Phys. Rev. B 2005, 71, 035211
60. Knippenberg, M. T.; Mikulski, P. T.; Ryan, K. E.; Stuart, S. J.; Gao, G.; Harrison, J. A. J. Chem. Phys. 2012, 136, 164701-164701-11
61. Yin, M. T.; Cohen, M. L. Phys. Rev. B 1981, 24, 2303-2306
62. Batra, I. P. Phys. Rev. B 1990, 41, 5048-5054
63. Vanderbilt, D. Phys. Rev. Lett. 1987, 59, 1456-1459
64. Northrup, J. E. Phys. Rev. Lett. 1986, 57, 154
65. Northrup, J. E. Phys. Rev. B 1991, 44, 1419-1422
66. Heera, V.; Prokert, F.; Schell, N.; Seifarth, H.; Fukarek, W.; Voelskow, M.; Skorupa, W. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 3531-3533
67. Ishimaru, M.; Bae, I.-T.; Hirotsu, Y.; Matsumura, S.; Sickafus, K. E. Phys. Rev. Lett. 2002, 89, 055502
68. Ishimaru, M.; Bae, I. T.; Hirata, A.; Hirotsu, Y.; Valdez, J. A.; Sickafus, K. E. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2006, 242, 473-475
69. Szlufarska, I.; Kalia, A.; Nakano, R. K.; Vashishta, P. J. Appl. Phys. 2007, 102, 023509
70. Pastewka, L.; Pou, P.; Pérez, R.; Gumbsch, P.; Moseler, M. Phys. Rev. B 2008, 78, 161402