Size control of nanocrystals in InGaZnO 4 thin films fabricated by using the sol-gel method

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 60, Issue 2, 2012, Pages 267-271

  Seo, S J ^a   Cho, J H ^a   Jang, Y H ^a   Kim, C H ^a  

^a Pusan National University   (South Korea)

Author keywords

a IGZO; Crystallization; EDS; SEM; Sol gel; Spin coating; SPM; XRD

Indexed keywords

EID: 84862865114     PISSN: 03744884     EISSN: 19768524     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.60.267     Document Type: Article

References (22)

1. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, Nature 432, 488 (2004).
2. H. Hosono, J. Non-Cryst. Solids 352, 851 (2006).
3. K. Nomura, A. Takagi, T. Kamiya and H. Ohta, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 4303 (2006).
4. M. Nakata, K. Takechi, K. Azuma, E. Tokumitsu, H. Yamaguchi and S. Kaneko, Appl. Phys. Express 2, 021102 (2009).
5. K. Umeda, M. Suzuki and A. Tanaka, Publication of U. S. Patents A1, 0320458, 2010.
6. M. Kimura, T. Nakanishi, K. Nomura, T. Kamiya and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 92, 133512 (2008).
7. J. F. Wager, Science 300, 1245 (2003).
8. H. Yabuta, M. Sano, K. Abe, T. Aiba, T. Den and H. Kumomi, Appl. Phys. Lett. 89, 112123 (2006).
9. K. Nomura, T. Kamiya, H. Ohta, M. Hirano and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 93, 192107 (2008).
10. H. H. Hsieh, T. Kamiya, K. Nomura, H. Hosono and C. C. Wu, Appl. Phys. Lett. 92, 133503 (2008).
11. T. Kamiya, K. Nomura and H. Hosono, Sci. Technol. Adv. Mater. 11, 044305 (2010).
12. M. S. Lee and J. H. Dho, J. Korean Phys. Soc. 58, 492 (2011).
13. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, Science 300, 1269 (2003).
14. D. H. Cho, S. H. Yang, J. H. Shin, C. W. Byun, M. K. Ryu, J. I. Lee, C. S. Hwang and H. Y. Chu, J. Korean Phys. Soc. 54, 531 (2009).
15. J. H. Choi, J. H. Shim, S. M. Hwang, J. H. Joo, K. Park, H. S. Kim, H. J. Lee, J. H. Lim, M. R. Moon and D. G. Jung, J. Korean Phys. Soc. 57, 1836 (2010).
16. J. H. Shin and D. K. Choi, J. Korean Phys. Soc. 53, 2019 (2008).
17. G. H. Kim, H. S. Shin, B. D. Ahn, K. H. Kim, W. J. Park and H. J. Kim, J. Electrochem. Soc. 156, 1H7 (2009).
18. G. H. Kim, W. H. Jeong and H. J. Kim, Phys. Status Solidi A 207, 1677 (2010).
19. D. Y. Cho, J. W. Song, Y. C. Shin, C. S. Hwang, W. S. Choi and J. K. Jeong, Electrochem. Solid-State Lett. 12, 6 H208 (2009).
20. G. H. Kim, B. D. Ahn, H. S. Shin, W. H. Jeong, H. J. Kim and H. J. Kim, Appl. Phys. Lett. 94, 233501 (2009).
21. H. S. Shin, B. D. Ahn, Y. S. Rim and H. J. Kim, J. KIEEME 24, 473 (2011).
22. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiya, M. Orita, M. Hirano, T. Suzuki, C. Honjyo, Y. Ikuhara and H. Hosono, J. Appl. Phys. 95, 5532 (2004).