Effect of sintering time at low temperature on the properties of IGZO TFTs fabricated by using the sol-gel process

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 57, Issue 61, 2010, Pages 1836-1841

  Choi, Jun Hyuk ^a   Shim, Jong Hyun ^a   Hwang, Soo Min ^a   Joo, Jinho ^a   Park, Kyung ^a   Kim, Hyoungsub ^a   Lee, Hoo Jeong ^a   Lim, Jun Hyung ^b   Moon, Mi Ran ^a   Jung, Donggeun ^a  

^a Sungkyunkwan University   (South Korea)

^b Stanford University   (United States)

Author keywords

Flexible polymer substrates; IGZO; Sol gel; Thin film transistor

Indexed keywords

EID: 78650350931     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.57.1836     Document Type: Article

References (18)

1. N. L. Dehuff, E. S. Kettenring, D. Hong, H. Q. Chiang, J. F. Wager, R. L. Hoffman, C.-H. Park and D.A. Keszler, J. Appl. Phys. 97, 064505 (2005).
2. P. Barquinha, A. Pimentel, A. Marques, L. Pereira, R. Martins and E. Fortunato, J. Non-Cryst. Solids 352, 1749 (2006).
3. P. Barquinha, A. Pimentel, A. Marques, L. Pereira, R. Martins and E. Fortunato, J. Non-Cryst. Solids 352, 1756 (2006).
4. H. Q. Chiang, J. F. Wager, R. L. Hoffman, J. Jeong and D. A. Keszler, Appl. Phys. Lett. 86, 013503 (2005).
5. W. B. Jackson, R. L. Hoffman and G. S. Herman, Appl. Phys. Lett. 87, 193503 (2005).
6. P. Görrn, M. Sander, J. Meyer, M. Kröger, E. Becker, H.-H. Johannes, W. Kowalsky and T. Riedl, Adv. Mater. 18, 738 (2006).
7. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, Nature 432, 488 (2004).
8. K. Nomura, A. Takagi, T. Kamiya, H. Ohta, M. Hirano and H. Hosono, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 4303 (2006).
9. S. Masuda, K. Kitamura, Y. Okumura, S. Miyatake, H. Tabata and T. Kawai, J. Appl. Phys. 93, 1624 (2003).
10. A. Takagi, K. Nomura, H. Ohta, H. Yanagi, T. Kamiya, M. Hirano and H. Hosono, Thin Solid Films 486, 38 (2005).
11. E. M. C. Fortunato, P. M. C. Barquinha, A. C. M. B. G. Pimentel, A. M. F. Gonçalves, A. J. S. Marques, R. F. P. Martins and L. M. N. Pereira, Appl. Phys. Lett. 85, 2541 (2004).
12. P. F. Carcia, R. S. McLean and M. H. Reilly, Appl. Phys. Lett. 88, 123509 (2006).
13. J. H. Lim, J. H. Shim, J. H. Choi, J. Joo, K. Park, H. Jeon, M. R. Moon, H. Kim and H.-J. Lee, Appl. Phys. Lett. 95, 012108 (2009).
14. L. Znaidi, G. J. A. A. Soler Illia, S. Benyahia, C. Sanchez and A. V. Kanaev, Thin Solid Films 428, 257 (2003).
15. T. Szörényi, L. D. Laude, I. Bertóti, Zs. Geretovszky and Z. Kántor, Appl. Surf. Sci. 96, 363 (1996).
16. J. C. C. Fan and J. B. Goodenough, J. Appl. Phys. 48, 3524 (1977).
17. B. Kumar, H. Gong and R. Akkipeddi, J. Appl. Phys. 97, 0637061 (2005).
18. J. H. Na, M. Kiramura and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 93, 063501 (2008).