Stress relaxation and critical thickness for misfit dislocation formation in (101̄0) and (3031̄) InGaN/GaN heteroepitaxy

Applied Physics Letters

Volumn 100, Issue 17, 2012, Pages

  Shan Hsu, Po ^a   Hardy, Matthew T ^a   Young, Erin C ^a   Romanov, Alexey E ^a,b,c   Denbaars, Steven P ^a   Nakamura, Shuji ^a   Speck, James S ^a  

^a Santa Barbara   (United States)

^b IOFFE INSTITUTE   (Russian Federation)

^c UNIVERSITY OF TARTU   (Estonia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BASAL PLANES; CATHODOLUMINESCENCE IMAGING; CRITICAL THICKNESS; DISLOCATION FORMATION; INGAN/GAN; M-PLANE; NON-BASAL PLANE; NON-POLAR; PLASTIC RELAXATION; PRISMATIC SLIP; SEMIPOLAR; SLIP PLANE;

EPITAXIAL GROWTH; GALLIUM ALLOYS;

HETEROJUNCTIONS;

EID: 84860320812     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.4707160     Document Type: Article

References (19)

1. A. E. Romanov, T. J. Baker, S. Nakamura, and J. S. Speck, J. Appl. Phys. 100, 023522 (2006). 10.1063/1.2218385 (Pubitemid 44179534)
2. H. Shen, M. Wraback, H. Zhong, A. Tyagi, S. P. DenBaars, S. Nakamura, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 95, 033503 (2009). 10.1063/1.3167809
3. R. M. Farrell, P. S. Hsu, D. A. Haeger, K. Fujito, S. P. DenBaars, J. S. Speck, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 96, 231113 (2010). 10.1063/1.3443719
4. K. M. Kelchner, R. M. Farrell, Y. D. Lin, P. S. Hsu, M. T. Hardy, F. Wu, D. A. Cohen, H. Ohta, J. S. Speck, S. Nakamura, and S. P. DenBaars, Appl. Phys. Express 3, 092103 (2010). 10.1143/APEX.3.092103
5. H. Sato, A. Tyagi, H. Zhong, N. Fellows, R. B. Chung, M. Saito, K. Fujito, J. S. Speck, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Phys. Status Solidi (RRL) 1, 162 (2007). 10.1002/pssr.200701098 (Pubitemid 351175946)
6. H. Sato, R. B. Chung, H. Hirasawa, N. Fellows, H. Masui, F. Wu, M. Saito, K. Fujito, J. S. Speck, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Lett. 92, 221110 (2008). 10.1063/1.2938062
7. Y. Enya, Y. Yoshizumi, T. Kyono, K. Akita, M. Ueno, M. Adachi, T. Sumitomo, S. Tokuyama, T. Ikegami, K. Katayama, Appl. Phys. Express 2, 082101 (2009). 10.1143/APEX.2.082101
8. A. Tyagi, R. M. Farrell, K. M. Kelchner, C. Y. Huang, P. S. Hsu, D. A. Haeger, M. T. Hardy, C. Holder, K. Fujito, D. A. Cohen, Appl. Phys. Express 3, 011002 (2010). 10.1143/APEX.3.011002
9. Y. D. Lin, S. Yamamoto, C. Y. Huang, C. L. Hsiung, F. Wu, K. Fujito, H. Ohta, J. S. Speck, S. P. DenBaars, and S. Nakamura, Appl. Phys. Express 3, 082001 (2010). 10.1143/APEX.3.082001
10. A. Tyagi, F. Wu, E. C. Young, A. Chakraborty, H. Ohta, R. Bhat, K. Fujito, S. P. DenBaars, S. Nakamura, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 95, 251905 (2009). 10.1063/1.3275717
11. F. Wu, E. C. Young, I. Koslow, M. T. Hardy, P. S. Hsu, A. E. Romanov, S. Nakamura, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 99, 251909 (2011). 10.1063/1.3671113
12. M. T. Hardy, P. S. Hsu, F. Wu, I. L. Koslow, E. C. Young, S. Nakamura, A. E. Romanov, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, "Trace analysis of non-basal plane misfit stress relaxation in (20 2̄1) and (30 31̄) semipolar InGaN/GaN heterostructures," Appl. Phys. Lett. (submitted).
13. S. Yoshida, T. Yokogawa, Y. Imai, S. Kimura, and O. Sakata, Appl. Phys. Lett. 99, 131909 (2011). 10.1063/1.3644978
14. T. Hanada, T. Shimada, S. Y. Ji, K. Hobo, Y. Liu, and T. Matsuoka, Phys. Status Solidi C 8, 444 (2011). 10.1002/pssc.201000565
15. R. M. Farrell, D. A. Haeger, X. Chen, C. S. Gallinat, R. W. Davis, M. Cornish, K. Fujito, S. Keller, S. P. DenBaars, S. Nakamura, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 96, 231907 (2010). 10.1063/1.3447926
16. D. Drouin, P. Hovington, and R. Gauvin, Scanning 19, 20 (1997). 10.1002/sca.4950190103
17. P. S. Hsu, E. C. Young, A. E. Romanov, K. Fujito, S. P. DenBaars, S. Nakamura, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 99, 081912 (2011). 10.1063/1.3628459
18. A. E. Romanov, E. C. Young, F. Wu, A. Tyagi, C. S. Gallinat, S. Nakamura, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 109, 103522 (2011). 10.1063/1.3590141
19. J. P. Hirth and J. Lothe, Theory of Dislocations (Wiley, New York, 1982).