Degree of perfection and pattern uniformity in the directed assembly of cylinder-forming block copolymer on chemically patterned surfaces

Macromolecules

Volumn 45, Issue 1, 2012, Pages 159-164

  Kang, Huiman ^a   Craig, Gordon S W ^a   Han, Eungnak ^a   Gopalan, Padma ^a   Nealey, Paul F ^a  

^a University of Wisconsin Madison   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BACKGROUND REGION; BIT-PATTERNED MEDIA; CHEMICAL PATTERN; CYLINDER DIAMETERS; DIRECTED ASSEMBLY; LITHOGRAPHIC PROCESS; MATERIALS AND PROCESS; PATTERNED SURFACE; POLYSTYRENE-B-POLY(METHYL METHACRYLATE); RANDOM COPOLYMER; SELF-ASSEMBLED; SEM IMAGE; SPOT SIZES; TOPDOWN;

ACRYLIC MONOMERS; BLOCK COPOLYMERS; BRUSHES; CYLINDERS (SHAPES); DEFECT DENSITY; ESTERS; FILMS; POLYMETHYL METHACRYLATES; POLYSTYRENES; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; STYRENE; SURFACE CHEMISTRY; SURFACES; WATERWORKS;

FLUORINE;

EID: 84855671683     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma202249n     Document Type: Article

References (33)

1. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Smith, H. I.; Thomas, E. L. Adv. Mater. 2006, 18 (19) 2505-2521
2. Nealey, P. F.; Edwards, E. W.; Müller, M.; Stoykovich, M. P.; Solak, H. H.; De Pablo, J. J. IEEE Tech. Dig. IEDM 2005, 356-359
3. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401-1404
4. Park, S.; Lee, D. H.; Xu, J.; Kim, B.; Hong, S. W.; Jeong, U.; Xu, T.; Russell, T. P. Science 2009, 323, 1030-1033
5. Ross, C. A.; Cheng, J. Y. MRS Bull. 2008, 33 (9) 838-845
6. Stoykovich, M. P.; Nealey, P. F. Mater. Today 2006, 9 (9) 20-29
7. Hawker, C. J.; Russell, T. P. MRS Bull. 2005, 30 (12) 952-966
8. Stoykovich, M. P.; Daoulas, K. C.; Muller, M.; Kang, H. M.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2010, 43 (5) 2334-2342
9. Liu, G.; Thomas, C. S.; Craig, G. S. W.; Nealey, P. F. Adv. Funct. Mater. 2010, 20 (8) 1251-1257
10. Stoykovich, M. P.; Kang, H.; Daoulas, K. C.; Liu, G.; Liu, C. C.; de Pablo, J. J.; Mueller, M.; Nealey, P. F. ACS Nano 2007, 1 (3) 168-175
11. Stoykovich, M. P.; Muller, M.; Kim, S. O.; Solak, H. H.; Edwards, E. W.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2005, 308 (5727) 1442-1446
12. Cheng, J. Y.; Rettner, C. T.; Sanders, D. P.; Kim, H. C.; Hinsberg, W. D. Adv. Mater. 2008, 20 (16) 3155-3158
13. Ruiz, R.; Kang, H.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2008, 321, 936-939
14. Cheng, J. Y.; Sanders, D. P.; Truong, H. D.; Harrer, S.; Friz, A.; Holmes, S.; Colburn, M.; Hinsberg, W. D. ACS Nano 2010, 4 (8) 4815-4823
15. Tada, Y.; Akasaka, S.; Takenaka, M.; Yoshida, H.; Ruiz, R.; Dobisz, E.; Hasegawa, H. Polymer 2009, 50 (17) 4250-4256
16. Tada, Y.; Akasaka, S.; Yoshida, H.; Hasegawa, H.; Dobisz, E.; Kercher, D.; Takenaka, M. Macromolecules 2008, 41 (23) 9267-9276
17. Kang, H. M.; Detcheverry, F.; Stuen, K. O.; Craig, G. S. W.; de Pablo, J. J.; Gopalan, P.; Nealey, P. F. J. Vac. Sci. Technol., B 2010, 28 (6) C6B24-C6B29
18. Detcheverry, F. A.; Liu, G. L.; Nealey, P. F.; de Pablo, J. J. Macromolecules 2010, 43 (7) 3446-3454
19. Park, S. H.; Shin, D. O.; Kim, B. H.; Yoon, D. K.; Kim, K.; Lee, S. Y.; Oh, S. H.; Choi, S. W.; Jeon, S. C.; Kim, S. O. Soft Matter 2010, 6 (1) 120-125
20. Kim, S. O.; Kim, B. H.; Meng, D.; Shin, D. O.; Koo, C. M.; Solak, H. H.; Wang, Q. Adv. Mater. 2007, 19 (20) 3271-3275
21. Wilmes, G. M.; Durkee, D. A.; Balsara, N. P.; Liddle, J. A. Macromolecules 2006, 39 (7) 2435-2437
22. Bosworth, J. K.; Paik, M. Y.; Ruiz, R.; Schwartz, E. L.; Huang, J. Q.; Ko, A. W.; Smilgies, D. M.; Black, C. T.; Ober, C. K. ACS Nano 2008, 2 (7) 1396-1402
23. Edwards, E. W.; Montague, M. F.; Solak, H. H.; Hawker, C. J.; Nealey, P. F. Adv. Mater. 2004, 16 (15) 1315-1319
24. Liu, C. C.; Han, E.; Onses, M. S.; Thode, C. J.; Ji, S. X.; Gopalan, P.; Nealey, P. F. Macromolecules 2011, 44 (7) 1876-1885
25. Han, E.; Stuen, K. O.; La, Y. H.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Macromolecules 2008, 41 (23) 9090-9097
26. Mansky, P.; Liu, Y.; Huang, E.; Russell, T. P.; Hawker, C. Science 1997, 275 (5305) 1458-1460
27. Liu, C. C.; Craig, G. S. W.; Kang, H. M.; Ruiz, R.; Nealey, P. F.; Ferrier, N. J. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 2010, 48 (24) 2589-2603
28. Han, E.; Stuen, K. O.; Leolukman, M.; Liu, C. C.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Macromolecules 2009, 42 (13) 4896-4901
29. Ryu, D. Y.; Ham, S.; Kim, E.; Jeong, U.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Macromolecules 2009, 42 (13) 4902-4906
30. Yang, X. M.; Wan, L.; Xiao, S. G.; Xu, Y. A.; Weller, D. K. ACS Nano 2009, 3 (7) 1844-1858
31. Richter, H. J.; Dobin, A. Y.; Lynch, R. T.; Weller, D.; Brockie, R. M.; Heinonen, O.; Gao, K. Z.; Xue, J.; van der Veerdonk, R. J. M.; Asselin, P.; Erden, M. F. Appl. Phys. Lett. 2006, 88 (22) 222512
32. Craig, G. S. W.; Nealey, P. F. J. Vac. Sci. Technol., B 2007, 25 (6) 1969-1975
33. Park, S. M.; Craig, G. S. W.; La, Y. H.; Solak, H. H.; Nealey, P. F. Macromolecules 2007, 40, 5084-5094