High epitaxial quality Y2O3 high-κ dielectric on vicinal Si(001) surfaces

Applied Physics Letters

Volumn 81, Issue 19, 2002, Pages 3549-3551

  Apostolopoulos, G ^a   Vellianitis, G ^a   Dimoulas, A ^a   Alexe, M ^b   Scholz, R ^b   Fanciulli, M ^c   Dekadjevi, D T ^c   Wiemer, C ^c  

^a INSTITUTE OF MATERIALS SCIENCE   (Greece)

^b MAX PLANCK INSTITUTE OF MICROSTRUCTURE PHYSICS   (Germany)

^c LABORATORIO MDM   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTAL QUALITIES; EPITAXIAL QUALITY; GATE REPLACEMENT; IN-PLANE ALIGNMENT; LOW DEGREE; MOSAICITY; SHARP INTERFACE; SI(0 0 1); SI(001) SURFACES; SILICON SURFACES; SINGLE-CRYSTALLINE;

DIMERS; EPITAXIAL FILMS; EPITAXIAL GROWTH; SILICON;

SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS;

EID: 79956017007     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1519727     Document Type: Article

References (12)

1. G. D. Wilk, R. M. Wallace, and J. M. Anthony, J. Appl. Phys. 89, 5243 (2001). jap JAPIAU 0021-8979
2. R. A. Mckee, F. J. Walker, and M. F. Chisholm, Phys. Rev. Lett. 81, 3014 (1998). prl PRLTAO 0031-9007
3. M. Hong, J. Kwo, A. R. Kortan, J. P. Mannaerts, and A. M. Sergent, Science 283, 1897 (1999). sci SCIEAS 0036-8075
4. S. Guha, E. Cartier, M. A. Gribelyuk, N. A. Bojarczuk, and J. Karasinski, Appl. Phys. Lett. 77, 130 (2000). apl APPLAB 0003-6951
5. J. Robertson, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 1785 (2000). jvb JVTBD9 0734-211X
6. A. Dimoulas, A. Travlos, G. Vellianitis, N. Boukos, and K. Argyropoulos, J. Appl. Phys. 90, 4224 (2001). jap JAPIAU 0021-8979
7. A. Dimoulas, G. Vellianitis, A. Travlos, V. Ioannou-Sougleridis, and A. G. Nassiopoulou, J. Appl. Phys. 92, 426 (2002). jap JAPIAU 0021-8979
8. J. Kwo, M. Hong, A. R. Kortan, K. L. Quenney, Y. J. Chabal, R. L. Opila, Jr., D. A. Muller, S. N. G. Chu, B. J. Sapjeta, T. S. Lay, J. P. Mannaerts, T. Boone, H. W. Krautter, J. J. Krajewskui, A. M. Sergnt, and J. M. Rosamilia, J. Appl. Phys. 89, 3920 (2001). jap JAPIAU 0021-8979
9. G. Vellianitis, G. Apostolopoulos, A. Dimoulas, M. Alexe, R. Scholz, and J. Hooker (unpublished).
10. G. E. Crook, L. Däweritz, and K. Ploog, Phys. Rev. B 42, 5126 (1990). prb PRBMDO 0163-1829
11. B. S. Swartzentruber, N. Kitamura, M. G. Lagally, and M. B. Webb, Phys. Rev. B 47, 13432 (1993). prb PRBMDO 0163-1829
12. H. S. Chang, S. Choi, H. Yang, K. Min, D. W. Moon, H. Lee, and H. Hwang, Appl. Phys. Lett. 80, 386 (2002). apl APPLAB 0003-6951