Crystalline oxides on silicon: The first five monolayers

Physical Review Letters

Volumn 81, Issue 14, 1998, Pages 3014-3017

  McKee, R A ^a   Walker, F J ^a   Chisholm, M F ^a  

^a OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 4244101024     PISSN: 00319007     EISSN: 10797114     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevLett.81.3014     Document Type: Article

References (29)

1. L. C. Feldman, E. P. Gusev and E. Garfunkel, in Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices, E. Garfunkel et al.: (Kluwer, Dordrecht, 1998).
2. D. H. Looney, U.S. Patent No. 2,791,758 (1957);
3. J. A. Morton, U.S. Patent No. 2,791,761 (1957);
4. I. M. Ross, U.S. Patent No. 2,791,760 (1957);
5. W. L. Brown, U.S. Patent No. 2,791,759 (1957).
6. J. D. Meindl, J. Vac. Sci. Technol., 14, 192 (1996).
7. National Technology Roadmap for Semiconductors (Sematech Corp., San Jose, CA, 1997).
8. Cem Basceri, S. K. Streiffer, A. I. Kingon and R. Waser, J. Appl. Phys., 82, 2497 (1997).
9. R. A. McKee, F. J. Walker and M. F. Chisholm, (unpublished).
10. D. E. Jesson, and S. J. Pennycook, Proc. R. Soc. London A, 249, 272 (1995).
11. M. F. Chisholm, A. Maiti, S. J. Pennycook and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett., 80, 132 (1998).
12. R. A. McKee, F. J. Walker, J. R. Conner, E. D. Specht and D. E. Zelmon, Appl. Phys. Lett., 59, 782 (1991).
13. R. A. McKee, F. J. Walker, E. D. Specht, G. E. Jellisen and L. A. Boatner, Phys. Rev. Lett., 72, 2741 (1994).
14. D. C. Sayle, C. R. A. Catlow and M.-A. Perrin, Phys. Rev. B, 56, 15952 (1997).
15. Y. Kado, and Y. Arita, J. Appl. Phys., 61, 2398 (1987).
16. H. Mori, and H. Ishiwara, Jpn. J. Appl. Phys., 30, L1415 (1991).
17. T. W. Kim, Y. S. Yoon, S. S. Yom and J. Y. Lee, Appl. Phys. Lett., 64, 2676 (1994).
18. M. Alexe, Appl. Phys. Lett., 72, 2283 (1998).
19. J. G. Bednorz, and K. A. Muller, Z. Phys. B, 64, 189 (1986).
20. J. N. Eckstein, and I. Bozovic, Annu. Rev. Mater. Sci., 25, 679 (1995).
21. R. Feenstra, X. Li, M. Kanai, S. Kawai, J. D. Budai, E. C. Jones, Y. R. Sun, J. R. Thompson, S. J. Pennycook and D. K. Christen, Physica (Amsterdam), 224C, 300 (1994).
22. S. S. S. Parkin, N. More and K. P. Roche, Phys. Rev. Lett., 64, 2304 (1990).
23. Z. Trajanovic, C. Kwon, M. C. Robson, K.-C. Kim, M. Rajeswari, R. Ramesh, T. Venkatesan, S. E. Lofland, S. M. Bhagat and D. Fork, Appl. Phys. Lett., 69, 1005 (1996).
24. R. Schad, D. Bahr, J. Falta, P. Belien and Y. J. Bruynseraede, J. Phys. Condens. Matter, 10, 61 (1998).
25. D. J. Taylor, R. E. Jones, P. Zurcher, P. Chu, Y. T. Lii, B. Jiang and S. J. Glllespie, App. Phys. Lett., 68, 2300 (1996).
26. J. Lee, and R. Ramesh, Appl. Phys. Lett., 68, 484 (1996).
27. K. J. Hubbard, and D. G. Schlom, J. Mater. Res., 11, 2757 (1996).
28. R. Beyers, J. Appl. Phys., 56, 147 (1984).
29. I. Barin, and O. Knacke, Thermochemical Properties of Inorganic Substances (Springer, Berlin, 1973-1977).