Structure and disorder in amorphous alumina thin films: Insights from high-resolution solid-state NMR

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 114, Issue 32, 2010, Pages 13890-13894

  Lee, Sung Keun ^a   Park, Sun Young ^a   Yi, Yoo Soo ^a   Moon, Jaehyun ^b  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b Electronics and Telecommunications Research Institute (ETRI)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMORPHOUS ALUMINA; AMORPHOUS OXIDES; AMORPHOUS STATE; AMORPHOUS THIN FILMS; ATOMIC LAYER; CATALYTIC ABILITY; DEPOSITION METHODS; FIVE-COORDINATED; GLASS SCIENCE; HIGH RESOLUTION; PROCESSING CONDITION; SOLID STATE NMR; TWO-STATE; VAPOR-DEPOSITED FILMS;

ALUMINUM; DEPOSITION; NUCLEAR MAGNETIC RESONANCE SPECTROSCOPY; PHYSICAL CHEMISTRY; THIN FILMS; VAPOR DEPOSITION; VAPORS;

AMORPHOUS FILMS;

EID: 77956145713     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp105306r     Document Type: Article

References (48)

1. Kresse, G.; Schmid, M.; Napetschnig, E.; Shishkin, M.; Kohler, L.; Varga, P. Science 2005, 308, 1440.
2. Stierle, A.; Renner, F.; Streitel, R.; Dosch, H.; Drube, W.; Cowie, B. C. Science 2004, 303, 1652.
3. Kwak, J. H.; Hu, J. Z.; Mei, D.; Yi, C. W.; Kim, D. H.; Peden, C. H. F.; Allard, L. F.; Szanyi, J. Science 2009, 325, 1670.
4. Thibault-Starzyk, F.; Seguin, E.; Thomas, S.; Daturi, M.; Arnolds, H.; King, D. A. Science 2009, 324, 1048.
5. Freysoldt, C.; Rinke, P.; Scheffler, M. Phys. Rev. Lett. 2007, 99, 086101.
6. Eng, P. J.; Trainor, T. P.; Brown, G. E.; Waychunas, G. A.; Newville, M.; Sutton, S. R.; Rivers, M. L. Science 2000, 288, 1029.
7. Barth, C.; Reichling, M. Nature 2001, 414, 54.
8. Levin, I.; Brandon, D. J. Am. Ceram. Soc. 1998, 81, 1995.
9. Chou, T. C.; Nieh, T. G. Thin Solid Films 1992, 221, 89.
10. Lacks, D. J. Phys. Rev. Lett. 2000, 84, 4629.
11. Lee, S. K.; Eng, P. J.; Mao, H. K.; Meng, Y.; Newville, M.; Hu, M. Y.; Shu, J. F. Nat. Mater. 2005, 4, 851.
12. Lee, S. K.; Mibe, K.; Fei, Y.; Cody, G. D.; Mysen, B. O. Phys. Rev. Lett. 2005, 94, 165507.
13. Youngman, R. E.; Haubrich, S. T.; Zwanziger, J. W.; Janicke, M. T.; Chmelka, B. F. Science 1995, 269, 1416.
14. Ferlat, G.; Charpentier, T.; Seitsonen, A. P.; Takada, A.; Lazzeri, M.; Cormier, L.; Calas, G.; Mauri, F. Phys. Rev. Lett. 2008, 101.
15. Greaves, G. N.; Sen, S. Adv. Phys. 2007, 56, 1.
16. Sato, T.; Funamori, N. Phys. Rev. Lett. 2008, 101, 255502.
17. Murakami, M.; Bass, J. D. Phys. Rev. Lett. 2010, 104.
18. Rosenflanz, A.; Frey, M.; Endres, B.; Anderson, T.; Richards, E.; Schardt, C. Nature 2004, 430, 761.
19. Swallen, S. F.; Kearns, K. L.; Mapes, M. K.; Kim, Y. S.; McMahon, R. J.; Ediger, M. D.; Wu, T.; Yu, L.; Satija, S. Science 2007, 315, 353.
20. Dupree, R.; Farnan, I.; Forty, A. J.; Elmashri, S.; Bottyan, L. J. Phys. (Paris) 1985, 46, 113.
21. Kimoto, K.; Matsui, Y.; Nabatame, T.; Yasuda, T.; Mizoguchi, T.; Tanaka, I.; Toriumi, A. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 4306.
22. Leskela, M.; Ritala, M. Thin Solid Films 2002, 409, 138.
23. Frydman, I.; Harwood, J. S. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 5367.
24. Lee, S. K.; Deschamps, M.; Hiet, J.; Massiot, D.; Park, S. Y. J. Phys. Chem. B 2009, 113, 5162.
25. Massiot, D.; Touzo, B.; Trumeau, D.; Coutures, J. P.; Virlet, J.; Florian, P.; Grandinetti, P. J. Solid State Nucl. Magn. Reson. 1996, 6, 73.
26. Stebbins, J. F.; Xu, Z. Nature 1997, 390, 60.
27. Lee, S. K.; Lee, S. B.; Park, S. Y.; Yi, Y. S.; Ahn, C. W. Phys. Rev. Lett. 2009, 103, 095501.
28. Elliot, S. R. Physics of Amorphous Materials; John Wiley & Sons: New York, 1988.
29. Lim, J. W.; Yun, S. J. Electrochem. Solid-State Lett. 2004, 7, F45.
30. Yun, S. J.; Lim, J. W.; Lee, J. H. Electrochem. Solid-State Lett. 2004, 7, C13.
31. Groner, M. D.; Fabreguette, F. H.; Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater. 2004, 16, 639.
32. Lim, J. W.; Yun, S. J.; Lee, J. H. Electrochem. Solid-State Lett. 2005, 8, F25.
33. Madhu, P. K.; Goldbourt, A.; Frydman, L.; Vega, S. Chem. Phys. Lett. 1999, 307, 41.
34. Vosegaard, T.; Massiot, D.; Grandinetti, P. J. Chem. Phys. Lett. 2000, 326, 454.
35. Stebbins, J. F.; Kroeker, S.; Lee, S. K.; Kiczenski, T. J. J. Non- Cryst. Solids 2000, 275, 1.
36. Yarger, J. L.; Smith, K. H.; Nieman, R. A.; Diefenbacher, J.; Wolf, G. H.; Poe, B. T.; McMillan, P. F. Science 1995, 270, 1964.
37. Huggins, B. A.; Ellis, P. D. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 2098.
38. Lippmaa, E.; Samoson, A.; Magi, M. J. Am. Chem. Soc. 1986, 108, 1730.
39. Wang, J. A.; Bokhimi, X.; Morales, A.; Novaro, O.; Lopez, T.; Gomez, R. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 299.
40. Kim, H. J.; Lee, H. C.; Lee, J. S. J. Phys. Chem. C 2007, 111, 1579.
41. Baltisberger, J. H.; Xu, Z.; Stebbins, J. F.; Wang, S.; Pines, A. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 7209.
42. Kentgens, A. P. M.; Igua, D.; M., K.; Koller, H. J. Am. Chem. Soc. 2001, 123, 2925.
43. Bak, M.; Rasmussen, J. T.; Nielsen, N. C. J. Magn. Reson. 2000, 147, 296.
44. Lee, S. K. J. Phys. Chem. B 2004, 108, 5889.
45. Lee, S. K.; Cody, G. D.; Fei, Y. W.; Mysen, B. O. J. Phys. Chem. B 2008, 112, 11756.
46. Lee, S. K.; Stebbins, J. F. Geochim. Cosmochim. Acta 2009, 73, 1109.
47. Lee, S. K.; Lee, B. H. J. Phys. Chem. B 2006, 110, 16408.
48. Lee, S. K.; Eng, P.; Mao, H. K.; Shu, J. F. Phys. Rev. B 2008, 78, 214203.