Monocrystalline zinc oxide films grown by atomic layer deposition

Thin Solid Films

Volumn 518, Issue 16, 2010, Pages 4556-4559

  Wachnicki, Ł ^a   Krajewski, T ^a   Luka G ^a   Witkowski, B ^c   Kowalski, B ^a   Kopalko, K ^a   Domagala, J Z ^a   Guziewicz, M ^b   Godlewski, M ^a,c   Guziewicz, E ^a  

^a INSTITUTE OF PHYSICS   (Poland)

^b ukasiewicz Research Network Institute of Microelectronics and Photonics   (Poland)

^c CARDINAL STEFAN WYSZY SKI UNIVERSITY   (Poland)

Author keywords

Atomic layer deposition; Diethylzinc; Epitaxy; Monocrystalline; Zinc oxide

Indexed keywords

ATOMIC LAYER; DIETHYLZINC; EPITAXY; GAN TEMPLATE; HIGH RESOLUTION X RAY DIFFRACTION; LOW TEMPERATURE PHOTOLUMINESCENCE; MONOCRYSTALLINE; OXYGEN PRECURSORS; ROCKING CURVES; ZINC PRECURSOR; ZNO FILMS; ZNO LAYERS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; ATOMS; DEIONIZED WATER; EPITAXIAL GROWTH; GALLIUM NITRIDE; METALLIC FILMS; OXYGEN; X RAY DIFFRACTION; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS; ZINC; ZINC OXIDE;

OXIDE FILMS;

EID: 77955596374     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.tsf.2009.12.030     Document Type: Conference Paper

References (18)

1. C. Klingshirn Phys. Status Solidi, B 244 9 2007 3027
2. S.J. Pearton, D.P. Norton, K. Ip, Y.W. Heo, and T. Steiner Superlattices Microstruct. 34 2003
3. M. Godlewski, E. Guziewicz, G. Łuka, T. Krajewski, M. Łukasiewicz, Ł. Wachnicki, A. Wachnicka, K. Kopalko, A. Sarem, and B. Dalami Thin Solid Films 518 2009 1145
4. I.A. Kowalik, E. Guziewicz, K. Kopalko, S. Yatsunenko, A. Wójcik-Głodowska, M. Godlewski, P. Dłuzewski, E. Łusakowska, and W. Paszkowicz J. Cryst. Growth 311 2009 1096
5. E. Guziewicz, I.A. Kowalik, M. Godlewski, K. Kopalko, V. Osinniy, A. Wójcik, S. Yatsunenko, E. Łusakowska, W. Paszkowicz, and M. Guziewicz J. Appl. Phys. 103 2008 033515
6. M. Godlewski, E. Guziewicz, J. Szade, A. Wójcik-Głodowska, Ł. Wachnicki, T. Krajewski, K. Kopalko, R. Jakieła, S. Yatsunenko, E. Przezdziecka, P. Kruszewski, N. Huby, G. Tallarida, and S. Ferrari Microelectron. Eng. 85 2008 2434
7. T. Krajewski, E. Guziewicz, M. Godlewski, Ł. Wachnicki, I.A. Kowalik, A. Wojcik-Glodowska, M. Łukasiewicz, K. Kopalko, V. Osinniy, and M. Guziewicz Microelectron. J. 40 2009 293
8. E. Guziewicz, M. Godlewski, T. Krajewski, Ł. Wachnicki, A. Szczepanik, K. Kopalko, A. Wójcik-Głodowska, E. Przeździecka, W. Paszkowicz, E. Łusakowska, P. Kruszewski, N. Huby, G. Tallarida, and S. Ferrari J. Appl. Phys. 105 2009 1
9. M. Godlewski, E.M. Goldys, M. Philips, T. Böttcher, and S. Figge Acta Phys. Pol., A 102 2002 627
10. T. Suntola D.T.J. Hurle, Handbook of Crystal Growth. Part 3b-Growth Mechanisms and Dynamics 1994 Elsevier Amsterdam 605
11. A. Szczerbakow, E. Dynowska, M. Godlewski, and K. Swiatek J. Cryst. Growth 183 1998 708
12. A. Szczerbakow, E. Dynowska, K. Swiatek, and M. Godlewski J. Cryst. Growth 207 1999 148
13. K. Kopalko, M. Godlewski, J.Z. Domagala, E. Lusakowska, R. Minikayev, W. Paszkowicz, and A. Szczerbakow Chem. Mater. 16 2004 1447
14. C. Zhao, T. Witters, P. Breimer, J. Maes, M. Caymax, and S. De Gendt Microelectron. Eng. 84 2007 7
15. R. Triboulet, and J. Perrière Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 47 2003 65
16. B.K. Meyer, J. Sann, D.M. Hofmann, C. Neumann, and A. Zeuner Semicond. Sci. Technol. 20 2005 S62
17. D.C. Look, D.C. Reynolds, C.W. Litton, R.L. Jones, D.B. Eason, and G. Cantwell Appl. Phys. Lett. 81 2002 1830
18. E. Przezdziecka, T. Krajewski, L. Wachnicki, A. Szczepanik, A. Wójcik-Głodowska, S. Yatsunenko, E. Lusakowska, W. Paszkowicz, E. Guziewicz, and M. Godlewski Acta Phys. Pol., A 114 2008 1303