Study of bismuth alkoxides as possible precursors for ALD

Dalton Transactions

Volumn 39, Issue 13, 2010, Pages 3219-3226

  Hatanpää, Timo ^a   Vehkamäki, Marko ^a   Ritala, Mikko ^a   Leskelä, Markku ^a  

^a UNIVERSITY OF HELSINKI   (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

1-FORMS; ALD GROWTH; ALKOXIDES; DEPOSITION EXPERIMENTS; DIMERIC STRUCTURE; POLYMERIC STRUCTURES; STRUCTURE SOLUTIONS; TETRAMERS; THERMAL STABILITY;

BISMUTH; CARBOXYLATION; CRYSTAL STRUCTURE; DEPOSITION; FILM PREPARATION; HEXANE; OXYGEN; THERMOGRAVIMETRIC ANALYSIS; TOLUENE;

BISMUTH COMPOUNDS;

EID: 77949538001     PISSN: 14779226     EISSN: 14779234     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b918175j     Document Type: Article

References (45)

1. M. Mehring Coord. Chem. Rev. 2007 251 974
2. M. Ritala and M. Leskelä, in Handbook of Thin Film Materials, ed., H. S. Nalwa, Academic Press, 2002, vol. 1, pp 108-11
3. C. Bedoya G. G. Condorelli G. Anastasi A. Baeri F. Scerra I. L. Fragala J. G. Lisoni D. Wouters Chem. Mater. 2004 16 3176
4. T. Kijima M. Ushikubo H. Matsunaga Jpn. J. Appl. Phys. 1999 38 127
5. J. F. Roeder B. C. Hendrix F. Hintermaier D. A. Desrochers T. H. Baum G. Bhandari M. Chappuis P. C. Van Buskirk C. Dehm E. Fritsch N. Nagel H. Wendt H. Cerva W. Hönlein C. Mazure J. Eur. Ceram. Soc. 1999 19 1463
6. H. Funakubo K. Ishikawa T. Watanabe M. Mitsuya N. Nukaga Adv. Mater. Opt. Electron. 2000 10 193
7. J. Y. Hyeon M. Lisker M. Silinskas E. Burte F. T. Edelmann Chem. Vap. Deposition 2005 11 213
8. P. A. Williams A. C. Jones M. J. Crosbie P. J. Wright J. F. Bickley A. Steiner H. O. Davies T. J. Leedham G. W. Critchlow Chem. Vap. Deposition 2001 7 205
9. M. A. Matchett M. Y. Chiang W. E. Buhro Inorg. Chem. 1990 29 358
10. C. Isobe K. Hironaka S. Hishikava Adv. Mater. Opt. Electron. 2000 10 183
11. M. Schuisky K. Kukli M. Ritala A. Hårsta M. Leskelä Chem. Vap. Deposition 2000 6 139
12. M. Schuisky, CVD and ALD in the Bi-Ti-O system, Acta Univ. Ups. Comprehensive summaries of Uppsala Dissertations from the Faculty of Science and Technology 594, Uppsala, 2000
13. W. C. Shin S. O. Ryu I. K. You S. M. Yoon S. M. Cho N. Y. Lee K. D. Kim B. G. Yu W. J. Lee K. J. Choi S. G. Yoon Electrochem. Solid-State Lett. 2004 7 F31
14. J. Harjuoja S. Väyrynen M. Putkonen L. Niinistö E. Rauhala J. Cryst. Growth 2006 286 376
15. M. Vehkamäki T. Hatanpää M. Ritala M. Leskelä J. Mater. Chem. 2004 14 3191
16. G. W. Hwang W. D. Kim Y.-S. Min Y. J. Cho C. S. Hwang J. Electrochem Soc. 2006 153 F20
17. E. Østereng, K. B. Gandrud, O. Nilsen and H. Fjellvåg, BALD2009, book of abstracts, Uppsala, 2009
18. R. C. Mehrotra A. K. Rai Indian J. Chem. 1966 4 537
19. V. G. Kessler N. Y. Turova E. P. Turevskaya Inorg. Chem. Commun. 2002 5 549
20. T. J. Boyle D. M. Pedrotty B. Scott J. W. Ziller Polyhedron 1998 17 1959
21. A. Haaland H. P. Verne H. V. Volden R. Papiernik L. G. Hubert-Pfalzgraf Acta Chem. Scand. 1993 47 1043
22. W. A. Herrmann N. W. Huber R. Anwander T. Priermeier Chem. Ber. 1993 126 1127
23. M.-C. Massiani R. Papiernik L. G. Hubert-Pfalzgraf J.-C. Daran J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1990 301
24. M.-C. Massiani R. Papiernik L. G. Hubert-Pfalzgraf J.-C. Daran Polyhedron 1991 10 437
25. S. I. Troyanov A. P. Pisarevsky Koord. Khim. 1991 17 909
26. A. P. Pisarevskii L. I. Martynenko N. G. Dzyubenko Russ. J. Inorg. Chem. 1990 35 843
27. S. I. Troyanov A. P. Pisarevsky J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1993 335
28. A. P. Pisarevskii L. I. Martynenko N. G. Dzyubenko Russ. J. Inorg. Chem. 1992 37 38
29. N. N. Sauer E. Garcia R. Ryan Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1990 180 921
30. P. C. Andrews P. C. Junk I. Nuzhnaya L. Spiccia Dalton Trans. 2008 2557
31. W. J. Evans J. H. Hain Jr. J. W. Ziller J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1989 1628
32. J. H. Thurston D. C. Swenson L. Messerie Chem. Commun. 2005 4228
33. S. Parola R. Papiernik L. G. Hubert-Pfalzgraf C. Bois J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1998 737
34. S. Parola R. Papiernik L. G. Hubert-Pfalzgraf S. Jagner M. Hakansson J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1997 4631
35. S. Shimada M. L. N. Rao M. Tanaka Organometallics 2000 19 931
36. M. Mehring D. Mansfeld B. Costisella M. Schurmann Eur. J. Inorg. Chem. 2006 735
37. M. Veith Eung-Chul Yu V. Huch Chem.-Eur. J. 1995 1 26
38. G. K. Fukin A. P. Pisarevskii A. I. Yanovskii Yu. T. Struchkov Russ. J. Inorg. Chem. 1993 38 1205
39. T. Imamoto N. Takiyama K. Nakamura T. Matajima Y. Kamiya J. Am. Chem. Soc. 1989 111 4392
40. T. Kottke D. Stalke J. Appl. Crystallogr. 1993 26 615
41. G. M. Sheldrick, SADABS, Program for area detector adsorption correction, Institute for Inorganic Chemistry, University of Göttingen, Germany, 1996
42. G. M. Sheldrick, SHELX97, Program for the Solution and Refinement of Crystal Structures, University of Göttingen, Germany, 1997
43. G. M. Sheldrick, SHELXTL-Plus, Release 5.03, Siemens Analytical X-ray Instruments Inc., Madison, WI, 1994
44. T. Suntola Thin Solid Films 1992 216 84
45. J. Jokinen J. Keinonen P. Tikkanen A. Kuronen T. Ahlgren K. Nordlund Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 1996 119 533