Plasma surface interaction in integrated circuit production and biomedical applications

Journal of Optoelectronics and Advanced Materials

Volumn 11, Issue 9, 2009, Pages 1163-1169

  Petrovic, Z ^a,b   Radmilovic Radjenovic, M ^a   Radjenovic, B ^a   Maric, D ^a   Puac, N ^a   Malovic, G ^a  

^a UNIVERSITY OF BELGRADE   (Serbia)

^b SERBIAN ACADEMY OF SCIENCES AND ARTS   (Serbia)

Author keywords

Biomedical applications; Charging; Micro discharges; Nano structuring; Plasma etching

Indexed keywords

CHARGING (FURNACE); INTEGRATED CIRCUITS; MEDICAL APPLICATIONS; PLASMA ETCHING; PLASMA INTERACTIONS; TIMING CIRCUITS;

BIOMEDICAL APPLICATIONS; FUNCTIONAL APPLICATIONS; FUNDAMENTAL STUDIES; MICRODISCHARGES; MODERN TECHNOLOGIES; NANO-STRUCTURING; NONEQUILIBRIUM PLASMAS; PLASMA-SURFACE INTERACTIONS;

ELECTRIC DISCHARGES;

EID: 76149093542     PISSN: 14544164     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (40)

1. T. Makabe, Z. Lj. Petrović, Plasma Electronics, Taylor and Francis: New York (2006).
2. T. Kitajima, Y. Takeo, Z. Lj. Petrović, T. Makabe, Appl. Phys. Lett. 77, 489 (2000).
3. T. Denda, Y. Miyoshi, Y. Komukai, T.Goto, Z. Lj. Petrović, T. Makabe J. Appl. Phys. 95, 870 (2004).
4. Z. Donkó, Z. Lj. Petrović, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 8151 (2006).
5. J. Matsui, N. Nakano, Z. Lj. Petrović, T. Makabe, Appl. Phys. Lett. 78, 883 (2001).
6. T. Ohmori, T. Goto, T. Kitajima, T. Makabe, Appl. Phys. Lett. 88, 4637 (2003).
7. Z. Lj. Petrović, V. D. Stojanović, J.Vac.Sci. Technol. A 16, 329 (1998).
8. S. Samukawa, K. Sakamoto, K., Ichiki, J. Vacuum Sci. and Technol. A 20, 1566 (2002).
9. S. Panda, D. J. Economou, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 398 (2001).
10. A. Sankaran, M. J. Kushner J. Vac. Sci. Technol. A 22, 1242 (2004).
11. H. Nagai, S. Takashima, M. Hiramatsu, M. Hori, T. Goto, J. Appl. Phys. 91, 2615 (2002).
12. M. Miyauchi, Y. Miyoshi, Z. Lj. Petrović, T. Makabe, Solid-State Electronics 51, 1418 (2007).
13. Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrović, Appl. Surf. Sci. 192, 88 (2002).
14. W. Z. Collison, M. J. Kushner, IEEE Trans. Plasma Sci. 24, 135 (1996).
15. T. Makabe, K.Maeshige, App. Surf. Sci. 192, 176 (2002).
16. Z. Lj. Petrović, S. Sakadžić, N. Spasojević, J. Matsui, T. Makabe, Materials Sci. Forum 453-454, 9 (2004).
17. B. Radjenović, J. K. Lee, M. Radmilović- Radjenović, Comp. Phys. Comm. 174, 127 (2006).
18. S. Samukawa. Jpn. J. Appl. Phys. 45, 2395 (2006).
19. K. S. Kim, J.A. Hurtado, H. Tan, Phys. Rev. Lett. 83, 3872 (1999).
20. M. Mozetič, A. Zalar, P. Panjan, M. Bele, S. Pejovnik, R. Germek, Thin Solid Films 376, 5 (2000).
21. U. Cvelbar, S. Pejovnik, M. Mozetič, A. Zalar, Appl. Surf. Science 210, 255 (2003).
22. M. Radmilović-Radjenović, B. Radjenović, Z. L J. Petrović, Thin Solid Films (2008) submitted.
23. D. Marić, K. Kutasi, G. Malović, Z. Donko, Z. Lj. Petrović, Eur. Phys. J. D 21, 73 (2002).
24. M. Simor, J. Ráhel, P. Vojtek, M. Cernák, A. Brablec, Appl. Phys. Lett. 81, 2716 (2002).
25. N. Puač, T. Hoder, N. Radić, S. Lazović, J. Rahel, G. Malović, Z.Lj. Petrović, submitted to Eur. J. Phys. D (2008).
26. R. H. Stark, K .H. Schoenbach, Appl. Phys. Lett., 74, 3770 (1999).
27. E. Muñoz-Serrano, G. Hagelaar, Th. Callegari, J. P. Boeuf, L. C . Pitchford, Plasma Phys. Control. Fusion 48, B391 (2006).
28. Z. Lj. Petrović, N. Škoro, D. Marić, C. M. O. Mahony, P. D. Maguire, M. Radmilović-Radjenović, G. Malović, accepted J. Phys. D (2008).
29. A. V. Phelps, Z. Lj. Petrović, Plasma Sources Sci. Technol. 8, R21 (1999).
30. A. V. Phelps, Z. Lj. Petrović, B. M. Jelenković, Phys. Rev. E 47, 2825 (1993).
31. D. Marić, G. Malović, Z. Lj. Petrović, Journal of Physics: Conference Series 86, 012009 (2007).
32. K. H. Becker, K. H. Schoenbach, J. G. Eden, J. Phys. D: Appl. Phys. 39, R55 (2006).
33. C. M. O. Mahony, T. Gans, W. G. Graham, P. D. Maguire, Z. Lj. Petrović, Appl. Phys. Lett. 93, 011501 (2008).
34. M. Radmilović-Radjenović, J. K. Lee, F. Iza, G. Y. Park, J. Phys. D:Appl. Phys. 38, 950 (2005).
35. S. Živković, N. Puač, Z. Giba, D Grubišić, Z. Lj. Petrović, Seed Science and Technology 32, 693 (2004).
36. E. Stoffels, A. J. Flikweert, W. W. Stoffels, G. M. W. Kroesen, Plasma Sources Sci. Technol. 11, 383 (2002).
37. N. Puač, Z. Lj. Petrović, G. Malović, A. Dordević, S. Živković, Z. Giba, D Grubišić, J. Phys. D: Appl. Phys. 39, 3514 (2006).
38. S. Lazović, N. Puač, Z. Lj. Petrović, G Malović to be published.
39. R. E. J. Sladek, E Stoffels, J. Phys. D: Appl. Phys. 38, 1716 (2005).
40. A. Fridman, Proc GEC 2005 Bul. American Phys. Soc. 50 49-RW2 1 (2005).