메뉴 건너뛰기




Volumn 16, Issue 1, 1998, Pages 329-336

The role of heavy particles in kinetics of low current discharges in argon at high electric field to gas number density ratio

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 0032358626     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.580991     Document Type: Article
Times cited : (69)

References (55)
  • 9
    • 85034275496 scopus 로고    scopus 로고
    • personal communication
    • M. Hayashi (personal communication); M. Hayashi, Nagoya Institute of Technology Report No. IPPJ-AM-19 (1981) (unpublished).
    • Hayashi, M.1
  • 11
    • 0000768936 scopus 로고    scopus 로고
    • R. W. Wagenaar and F. J. deHeer, J. Phys. B 18, 2021 (1985); A. Chutijan and D. Cartwright, Phys. Rev. A 23, 2178 (1981); R. Panajotović, D. Filipović, and B. Marinković (unpublished); A. E. S. Green and T. Sawada, J. Atmos. Terr. Phys. 34, 1719 (1972).
    • (1985) J. Phys. B , vol.18 , pp. 2021
    • Wagenaar, R.W.1    DeHeer, F.J.2
  • 12
    • 35949023994 scopus 로고
    • R. W. Wagenaar and F. J. deHeer, J. Phys. B 18, 2021 (1985); A. Chutijan and D. Cartwright, Phys. Rev. A 23, 2178 (1981); R. Panajotović, D. Filipović, and B. Marinković (unpublished); A. E. S. Green and T. Sawada, J. Atmos. Terr. Phys. 34, 1719 (1972).
    • (1981) Phys. Rev. A , vol.23 , pp. 2178
    • Chutijan, A.1    Cartwright, D.2
  • 13
    • 0000768936 scopus 로고    scopus 로고
    • unpublished
    • R. W. Wagenaar and F. J. deHeer, J. Phys. B 18, 2021 (1985); A. Chutijan and D. Cartwright, Phys. Rev. A 23, 2178 (1981); R. Panajotović, D. Filipović, and B. Marinković (unpublished); A. E. S. Green and T. Sawada, J. Atmos. Terr. Phys. 34, 1719 (1972).
    • Panajotović, R.1    Filipović, D.2    Marinković, B.3
  • 14
    • 49649130690 scopus 로고
    • R. W. Wagenaar and F. J. deHeer, J. Phys. B 18, 2021 (1985); A. Chutijan and D. Cartwright, Phys. Rev. A 23, 2178 (1981); R. Panajotović, D. Filipović, and B. Marinković (unpublished); A. E. S. Green and T. Sawada, J. Atmos. Terr. Phys. 34, 1719 (1972).
    • (1972) J. Atmos. Terr. Phys. , vol.34 , pp. 1719
    • Green, A.E.S.1    Sawada, T.2
  • 17
    • 84915192921 scopus 로고
    • Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge
    • E. W. Thomas, Atomic Data for Controlled Fusion Research; Vol. III Particle Interaction with Surfaces (Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, 1985), R. L. Verma, J. Phys. D 10, 1167 (1977); M. E. Woods, B. J. Hopkins, G. F. Matthews, G. M. McCracken, P. M. Sewell, and H. Fahrang, J. Phys. D 20, 1136 (1987); E. J. Sternglass, Phys. Rev. 95, 345 (1954); J. Devooght, J. C. Dehaes, A. Dubus, M. Cailler, and J. P. Ganachaud, Particle Induced Electron Emission I, Springer Tracts in Modern Physics (Springer-Verlag, Berlin, 1991), p. 67.
    • (1985) Atomic Data for Controlled Fusion Research; Vol. III Particle Interaction with Surfaces , vol.3
    • Thomas, E.W.1
  • 18
    • 0005660103 scopus 로고
    • E. W. Thomas, Atomic Data for Controlled Fusion Research; Vol. III Particle Interaction with Surfaces (Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, 1985), R. L. Verma, J. Phys. D 10, 1167 (1977); M. E. Woods, B. J. Hopkins, G. F. Matthews, G. M. McCracken, P. M. Sewell, and H. Fahrang, J. Phys. D 20, 1136 (1987); E. J. Sternglass, Phys. Rev. 95, 345 (1954); J. Devooght, J. C. Dehaes, A. Dubus, M. Cailler, and J. P. Ganachaud, Particle Induced Electron Emission I, Springer Tracts in Modern Physics (Springer-Verlag, Berlin, 1991), p. 67.
    • (1977) J. Phys. D , vol.10 , pp. 1167
    • Verma, R.L.1
  • 19
    • 0023414869 scopus 로고
    • E. W. Thomas, Atomic Data for Controlled Fusion Research; Vol. III Particle Interaction with Surfaces (Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, 1985), R. L. Verma, J. Phys. D 10, 1167 (1977); M. E. Woods, B. J. Hopkins, G. F. Matthews, G. M. McCracken, P. M. Sewell, and H. Fahrang, J. Phys. D 20, 1136 (1987); E. J. Sternglass, Phys. Rev. 95, 345 (1954); J. Devooght, J. C. Dehaes, A. Dubus, M. Cailler, and J. P. Ganachaud, Particle Induced Electron Emission I, Springer Tracts in Modern Physics (Springer-Verlag, Berlin, 1991), p. 67.
    • (1987) J. Phys. D , vol.20 , pp. 1136
    • Woods, M.E.1    Hopkins, B.J.2    Matthews, G.F.3    McCracken, G.M.4    Sewell, P.M.5    Fahrang, H.6
  • 20
    • 36149018238 scopus 로고
    • E. W. Thomas, Atomic Data for Controlled Fusion Research; Vol. III Particle Interaction with Surfaces (Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, 1985), R. L. Verma, J. Phys. D 10, 1167 (1977); M. E. Woods, B. J. Hopkins, G. F. Matthews, G. M. McCracken, P. M. Sewell, and H. Fahrang, J. Phys. D 20, 1136 (1987); E. J. Sternglass, Phys. Rev. 95, 345 (1954); J. Devooght, J. C. Dehaes, A. Dubus, M. Cailler, and J. P. Ganachaud, Particle Induced Electron Emission I, Springer Tracts in Modern Physics (Springer-Verlag, Berlin, 1991), p. 67.
    • (1954) Phys. Rev. , vol.95 , pp. 345
    • Sternglass, E.J.1
  • 21
    • 0003892825 scopus 로고
    • Springer-Verlag, Berlin
    • E. W. Thomas, Atomic Data for Controlled Fusion Research; Vol. III Particle Interaction with Surfaces (Oak Ridge National Laboratory, Oak Ridge, 1985), R. L. Verma, J. Phys. D 10, 1167 (1977); M. E. Woods, B. J. Hopkins, G. F. Matthews, G. M. McCracken, P. M. Sewell, and H. Fahrang, J. Phys. D 20, 1136 (1987); E. J. Sternglass, Phys. Rev. 95, 345 (1954); J. Devooght, J. C. Dehaes, A. Dubus, M. Cailler, and J. P. Ganachaud, Particle Induced Electron Emission I, Springer Tracts in Modern Physics (Springer-Verlag, Berlin, 1991), p. 67.
    • (1991) Particle Induced Electron Emission I, Springer Tracts in Modern Physics , pp. 67
    • Devooght, J.1    Dehaes, J.C.2    Dubus, A.3    Cailler, M.4    Ganachaud, J.P.5
  • 25
    • 0001068880 scopus 로고    scopus 로고
    • M. V. V. S. Rao, R. J. Van Brunt, and J. Olthoff, Phys. Rev. E 54, 5641 (1996); S. B. Radovanov, R. J. Van Brunt, J. K. Olthoff, and B. M. Jelenković, Phys. Rev. E 51, 6036 (1995).
    • (1996) Phys. Rev. E , vol.54 , pp. 5641
    • Rao, M.V.V.S.1    Van Brunt, R.J.2    Olthoff, J.3
  • 28
    • 0001471348 scopus 로고
    • J. K. Olthoff, R. J. Van Brunt, S. B. Radovanov, J. A. Rees, and R. Surowiec, J. Appl. Phys. 75, 115 (1994); A. Mannenschijn and W. J. Goedheer, J. Appl. Phys. 69, 2923 (1991); A. Mannenschijn, G. C. A. M. Jenssen, E. van der Drift, and S. Radelaar, J. Appl. Phys. 69, 1253 (1991).
    • (1994) J. Appl. Phys. , vol.75 , pp. 115
    • Olthoff, J.K.1    Van Brunt, R.J.2    Radovanov, S.B.3    Rees, J.A.4    Surowiec, R.5
  • 29
    • 0009984888 scopus 로고
    • J. K. Olthoff, R. J. Van Brunt, S. B. Radovanov, J. A. Rees, and R. Surowiec, J. Appl. Phys. 75, 115 (1994); A. Mannenschijn and W. J. Goedheer, J. Appl. Phys. 69, 2923 (1991); A. Mannenschijn, G. C. A. M. Jenssen, E. van der Drift, and S. Radelaar, J. Appl. Phys. 69, 1253 (1991).
    • (1991) J. Appl. Phys. , vol.69 , pp. 2923
    • Mannenschijn, A.1    Goedheer, W.J.2
  • 30
    • 34548625667 scopus 로고
    • J. K. Olthoff, R. J. Van Brunt, S. B. Radovanov, J. A. Rees, and R. Surowiec, J. Appl. Phys. 75, 115 (1994); A. Mannenschijn and W. J. Goedheer, J. Appl. Phys. 69, 2923 (1991); A. Mannenschijn, G. C. A. M. Jenssen, E. van der Drift, and S. Radelaar, J. Appl. Phys. 69, 1253 (1991).
    • (1991) J. Appl. Phys. , vol.69 , pp. 1253
    • Mannenschijn, A.1    Jenssen, G.C.A.M.2    Van Der Drift, E.3    Radelaar, S.4
  • 34
    • 0023385282 scopus 로고
    • L. Peccoud, Ph. Laporte, J. Arroyo, and B. Charlet, J. Phys. D 20, 851 (1987); C. B. Zarowin, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 1537 (1984); T. R. Hayes, M. A. Dreisbach, P. M. Thomas, W. C. Dautremont-Smith, and L. A. Heimbrook, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1130 (1989); W. M. Greene, D. W. Hess, and W. G. Oldham, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1570 (1988).
    • (1987) J. Phys. D , vol.20 , pp. 851
    • Peccoud, L.1    Laporte, Ph.2    Arroyo, J.3    Charlet, B.4
  • 35
    • 0021506443 scopus 로고
    • L. Peccoud, Ph. Laporte, J. Arroyo, and B. Charlet, J. Phys. D 20, 851 (1987); C. B. Zarowin, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 1537 (1984); T. R. Hayes, M. A. Dreisbach, P. M. Thomas, W. C. Dautremont-Smith, and L. A. Heimbrook, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1130 (1989); W. M. Greene, D. W. Hess, and W. G. Oldham, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1570 (1988).
    • (1984) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.2 , pp. 1537
    • Zarowin, C.B.1
  • 37
    • 0023385282 scopus 로고
    • L. Peccoud, Ph. Laporte, J. Arroyo, and B. Charlet, J. Phys. D 20, 851 (1987); C. B. Zarowin, J. Vac. Sci. Technol. A 2, 1537 (1984); T. R. Hayes, M. A. Dreisbach, P. M. Thomas, W. C. Dautremont-Smith, and L. A. Heimbrook, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 1130 (1989); W. M. Greene, D. W. Hess, and W. G. Oldham, J. Vac. Sci. Technol. B 6, 1570 (1988).
    • (1988) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.6 , pp. 1570
    • Greene, W.M.1    Hess, D.W.2    Oldham, W.G.3
  • 39
    • 0345417978 scopus 로고
    • K. Kadota and Y. Kaneko, Jpn. J. Appl. Phys. 13, 1554 (1974); D. B. Medved, P. Mahadevan, and J. K. Layton, Phys. Rev. 129, 2086 (1963).
    • (1974) Jpn. J. Appl. Phys. , vol.13 , pp. 1554
    • Kadota, K.1    Kaneko, Y.2
  • 47
    • 0000044491 scopus 로고
    • A. D. Richards, B. E. Thompson, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 50, 492 (1987); T. Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi, Phys. Rev. E 45, 2520 (1992); F. Tochikubo, Z. Lj. Petrović, S. Kakuta, N. Nakano, and T. Makabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4271 (1994); Z. Lj. Petrović, S. Bzenić, J. Jovanović, and S. Djurović, J. Phys. D 28, 2287 (1995); P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994); A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira, J. Phys. D 25, 442 (1992).
    • (1987) Appl. Phys. Lett. , vol.50 , pp. 492
    • Richards, A.D.1    Thompson, B.E.2    Sawin, H.H.3
  • 48
    • 0001438811 scopus 로고
    • A. D. Richards, B. E. Thompson, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 50, 492 (1987); T. Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi, Phys. Rev. E 45, 2520 (1992); F. Tochikubo, Z. Lj. Petrović, S. Kakuta, N. Nakano, and T. Makabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4271 (1994); Z. Lj. Petrović, S. Bzenić, J. Jovanović, and S. Djurović, J. Phys. D 28, 2287 (1995); P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994); A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira, J. Phys. D 25, 442 (1992).
    • (1992) Phys. Rev. E , vol.45 , pp. 2520
    • Makabe, T.1    Nakano, N.2    Yamaguchi, Y.3
  • 49
    • 0028461066 scopus 로고
    • A. D. Richards, B. E. Thompson, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 50, 492 (1987); T. Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi, Phys. Rev. E 45, 2520 (1992); F. Tochikubo, Z. Lj. Petrović, S. Kakuta, N. Nakano, and T. Makabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4271 (1994); Z. Lj. Petrović, S. Bzenić, J. Jovanović, and S. Djurović, J. Phys. D 28, 2287 (1995); P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994); A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira, J. Phys. D 25, 442 (1992).
    • (1994) Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 , vol.33 , pp. 4271
    • Petrović, Z.Lj.1    Kakuta, S.2    Nakano, N.3    Makabe, T.4
  • 50
    • 0009777449 scopus 로고
    • A. D. Richards, B. E. Thompson, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 50, 492 (1987); T. Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi, Phys. Rev. E 45, 2520 (1992); F. Tochikubo, Z. Lj. Petrović, S. Kakuta, N. Nakano, and T. Makabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4271 (1994); Z. Lj. Petrović, S. Bzenić, J. Jovanović, and S. Djurović, J. Phys. D 28, 2287 (1995); P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994); A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira, J. Phys. D 25, 442 (1992).
    • (1995) J. Phys. D , vol.28 , pp. 2287
    • Petrović, Z.Lj.1    Bzenić, S.2    Jovanović, J.3    Djurović, S.4
  • 51
    • 0000044491 scopus 로고
    • A. D. Richards, B. E. Thompson, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 50, 492 (1987); T. Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi, Phys. Rev. E 45, 2520 (1992); F. Tochikubo, Z. Lj. Petrović, S. Kakuta, N. Nakano, and T. Makabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4271 (1994); Z. Lj. Petrović, S. Bzenić, J. Jovanović, and S. Djurović, J. Phys. D 28, 2287 (1995); P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994); A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira, J. Phys. D 25, 442 (1992).
    • (1994) J. Vac. Sci. Technol. B , vol.12 , pp. 461
    • Ventzek, P.L.G.1    Hoekstra, R.J.2    Kushner, M.J.3
  • 52
    • 0026836008 scopus 로고
    • A. D. Richards, B. E. Thompson, and H. H. Sawin, Appl. Phys. Lett. 50, 492 (1987); T. Makabe, N. Nakano, and Y. Yamaguchi, Phys. Rev. E 45, 2520 (1992); F. Tochikubo, Z. Lj. Petrović, S. Kakuta, N. Nakano, and T. Makabe, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4271 (1994); Z. Lj. Petrović, S. Bzenić, J. Jovanović, and S. Djurović, J. Phys. D 28, 2287 (1995); P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra, and M. J. Kushner, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 461 (1994); A. Date, K. Kitamori, Y. Sakai, and H. Tagashira, J. Phys. D 25, 442 (1992).
    • (1992) J. Phys. D , vol.25 , pp. 442
    • Date, A.1    Kitamori, K.2    Sakai, Y.3    Tagashira, H.4
  • 53
    • 0000821535 scopus 로고
    • T. Tokonami and T. Makabe, J. Appl. Phys. 72, 3323 (1992); V. A. Godyak, R. B. Piejak, and B. M. Alexandrovich, J. Appl. Phys. 69, 3455 (1991); D. W. Hess, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1677 (1990).
    • (1992) J. Appl. Phys. , vol.72 , pp. 3323
    • Tokonami, T.1    Makabe, T.2
  • 54
    • 0001456356 scopus 로고
    • T. Tokonami and T. Makabe, J. Appl. Phys. 72, 3323 (1992); V. A. Godyak, R. B. Piejak, and B. M. Alexandrovich, J. Appl. Phys. 69, 3455 (1991); D. W. Hess, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1677 (1990).
    • (1991) J. Appl. Phys. , vol.69 , pp. 3455
    • Godyak, V.A.1    Piejak, R.B.2    Alexandrovich, B.M.3
  • 55
    • 0000620438 scopus 로고
    • T. Tokonami and T. Makabe, J. Appl. Phys. 72, 3323 (1992); V. A. Godyak, R. B. Piejak, and B. M. Alexandrovich, J. Appl. Phys. 69, 3455 (1991); D. W. Hess, J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1677 (1990).
    • (1990) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.8 , pp. 1677
    • Hess, D.W.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.