Properties of indium-zinc-oxide thin films prepared by facing targets sputtering at room temperature

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 54, Issue 3, 2009, Pages 1267-1272

  Rim, You Seung ^a   Kim, Sang Mo ^a   Kim, Kyung Hwan ^a  

^a Gachon University   (South Korea)

Author keywords

FTS; Indium zinc oxide; Low temperature process; TCO

Indexed keywords

EID: 64549161636     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.54.1267     Document Type: Article

References (17)

1. Z. L. Pei, C. Sun, M. H. Tan, J. Q. Xiao, R. F. Huang and L. S. Wen, J. Appl. Phys. 90, 3432 (2001).
2. J. S. Hong, B. R. Rhee, H. M. Kim, K. C. Je, Y. J. Kang and J. S. Ahn, Thin Solid Films 467, 158 (2004).
3. T. Minami, T. Kakumu and S. Takata, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1704 (1996).
4. Y. Shigesato, D. C. Paine and T. E. Haynes, Adv. Mater. 4, 503 (1994).
5. A. I. Ali, C. H. Kim, J. H. Cho and B. G. Kim, J. Korean Phys. Soc. 49, S652 (2006).
6. K. E. Cheon, D. Y. Lee, Y. R. Cho, G. H. Lee and P. K. Song, J. Korean Phys. Soc. 53, 1 (2008).
7. A. Wang, J. Dai, J. Cheng, M. P. Chudzik, T. J. Marks, R. P. H. Chang and C. R. Kannewurf, Appl. Phys. Lett. 73, 327 (1998).
8. S. M. Kim, M. J. Keum and, K. H. Kim, J. Korean Phys. Soc. 51, 1023 (2007).
9. Y. S. Kim, W. H. Park, S. H. Kong, S. Nakagawa and K. H. Kim, Surface & Coatings Technology 532, 169 (2003).
10. W. W. Wang, X. G. Diao, Z. Wang, M. Yang, T. M. Wang and Z. Wu, Thin Solid Films 491, 54 (2005).
11. Y. S. Jung, J. Y. Seo, D. W. Lee and D. Y. Jeon, Thin Solid Films 445, 63 (2003).
12. D. Vaufrey, M. B. Khalifa, M. P. Besland, J. Tardy, C. Sandu, M. G. Blanchin and J. A. Roger, Mater. Sci. Eng. C 21, 265 (2002).
13. W. J. Lee, Y. K. Fang, J. J. Ho, C. Y. Chen, L. H. Chiou, S. J. Wang, F. Dai, T. Hsieh, R.Y. Tsai, D. Huang and F. C. Ho, Solid-State Electronics 46, 477 (2002).
14. M. Bendera, W. Seelig, C. Daube, H. Frankenberger, B. Ocker and J. Stollenwerk, Thin Solid Films 326, 72 (1998)
15. A. Yonesu, S. Watashi, K. Kagawa and Y. Yamashiro, Vacuum 74, 521 (2004).
16. N. Serpone, D. Lawless and R. Khairutdinov, J. Phys. Chem. 99, 16646 (1995).
17. I. K. E. Zawawi and R. A. A. Alla, Thin Solid Films 339, 314 (1999).