Growth and characterization of ZnO:Al thin film using RF sputtering for transparent conducting oxide

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 49, Issue SUPPL. 2, 2006, Pages

  Ali, A I ^a,b   Kim, C H ^a   Cho, J H ^a   Kim, Bog G ^a  

^a Pusan National University   (South Korea)

^b HELWAN UNIVERSITY   (Egypt)

Author keywords

Electrical properties; Optical properties; Photo luminescence; Transparent conducting oxide; Zinc oxide thin film

Indexed keywords

EID: 33846382402     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (23)

1. B. Lin, F. Zhuxi and Y. Jia, Appl. Phys. Lett. 79, 943 (2001).
2. A. Suzuki, T. Matsushita, N. Wada, Y. Sakamoto and M. Okuda, Jap. J. Appl. Phys. 35, L56 (1996).
3. D. K. Hwang, H. S. Kim, J. H. Lim, J. Y. Oh, J. H. Yang, S. J. Park, K. K. Kim, D. C. Look and Y. S. Park, Appl. Phys. Lett. 86, 151917 (2005).
4. S. T. Shiyanu, O. L. Lupan, E. V. Monaico, V. V. Ursaki, T. S. Shiyanu and I. M. Tiginyanu, Thin Solid Films 488, 15 (2005).
5. V. Srikant and D. Clarke, J. Appl. Phys. 81, 6357 (1997).
6. T. Minami, H. Nato and S. Takata, Thin Solid Films 124, 43 (1985).
7. P. Nunes, B. Fernandez, E. Fortunato, P. Vilarinho and R. Martins, Thin Solid Films 337, 176 (1999).
8. G. D. Hong and Y. S. Chang, J. Korean Phys. Soc. 45, 1000 (2004).
9. T. Minami, H. Nanto and S. Takata, Jap. J. Appl. Phys. 24, L605 (1995).
10. U. Manna, J. Yoo, S. K. Dhungel, M. Gowtham, U. Gangopadhyay, K. Kim, J. Yi and H. Saha, J. Korean Phys. Soc. 46, 1378 (2005).
11. D. J. Kwak, K. L Park, B. S. Kim, S. H. Lee, S. J. Lee and D. G. Lim, J. Korean Phys. Soc. 45, 206 (2004).
12. S. J. Kwon, H. J. Lee, Y. W. Seo and H. S. Jeong, J. Korean Phys. Soc. 43, 709 (2003).
13. F. K. Shan, B. C. Shin, S. C. Kim and Y. S. Yu, J. Korean Phys. Soc. 42, 1374 (2003).
14. C. Agashe, O. Kluth, J. Hupkes, U. Zastrow, B. Rech and M. Wuttig, J. Appl. Phys. 95, 1911 (2004).
15. H. S. Jeong, I. S. Kim, J. K. Kim and B. T. Lee, J. Crystal Growth 264, 327 (2004).
16. Z. L. Pei, C. Sun, M. H. tan, J. Q. guan, R. F. Huang and L. S. Wen, J. Appl. Phys. 90, 3432 (2001).
17. O. Pagni and A. W. R. Leitch, Phys. Stat. Sol. 201, 2213 (2004).
18. A. Abu El-Fadl, E. M. El-Maghraby and G. A. Mohamed, Cryst. Res. Technol. 39, 143 (2004).
19. J. Cho, J. Nah, M. S. Oh, J. H. Song, K. H. Yoon, H. J. Jung and W. K. Choi, Jpn. J. Appl. Phys. 40, L1040 (2001).
20. J. I. Pankove, Phys. Rev. 140 2059(1965).
21. M. Munoz, F. H. Pollak, M. Kahn, D. Ritter, L. Kronik and G. M. Cohen, Phys. Rev. B 63, 233302 (1963).
22. R. Pino, Y. Ko, P. S. Dutta, S. Guha and L. P. Gonzalez, J Appl. Phys. 96, 5349 (2004).
23. W. Shan, W. Walukiewicz, J. W. Ager III, K. M. Yu, H. B. Yuan, H. P. Xin, G. Cantwell and J. J. Song, Appl. Phys. 86, 191911 (2005).