SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Applied Physics A: Materials Science and Processing

Volumn 94, Issue 4, 2009, Pages 905-910

Rapid-thermal-anneal-based internal gettering for germanium-doped Czochralski silicon

(4) Chen, Jiahe a Yang, Deren a Ma, Xiangyang a Que, Duanlin a

a ZHEJIANG UNIVERSITY (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CLARIFICATION; COOLING; DOPING (ADDITIVES); GERMANIUM; NONMETALS; NUCLEATION; OXYGEN; PRECIPITATION (CHEMICAL); RAPID THERMAL PROCESSING; SEMICONDUCTING SILICON COMPOUNDS; SILICON; SILICON WAFERS; VACANCIES;

CONVENTIONAL FURNACES; CRITICAL RADIUS; CZOCHRALSKI SILICONS; DENUDED ZONES; GERMANIUM DOPING; HETEROGENEOUS NUCLEATIONS; HIGH TEMPERATURES; INTERNAL GETTERING; LOW HIGHS; OXYGEN PRECIPITATES; OXYGEN PRECIPITATIONS; PRE TREATMENTS; RAPID COOLING; RAPID THERMAL ANNEAL; SI WAFERS; VACANCY COMPLEXES; VACANCY CONCENTRATIONS;

OXYGEN VACANCIES;

EID: 59649130492 PISSN: 09478396 EISSN: 14320630 Source Type: Journal
DOI: 10.1007/s00339-008-4847-x Document Type: Article

Times cited : (8)

References (21)

1
- 0000561824
- K. Honda A. Ohsawa N. Toyokura 1985 Appl. Phys. Lett. 46 582
- (1985) Appl. Phys. Lett. , vol.46 , pp. 582
- Honda, K.¹ Ohsawa, A.² Toyokura, N.³

2
- 5244378887
- T. Y Tan E.E. Gardner W.K. Tice 1977 Appl. Phys. Lett. 30 175
- (1977) Appl. Phys. Lett. , vol.30 , pp. 175
- Tan, T.Y.¹ Gardner, E.E.² Tice, W.K.³

3
- 59749089643
- K. Sueoko M. Akatsuka M. Yonemura T. Ono E. Asayama Y. Koike S. Sasamistu 2002 Solid State Phenom. 82-84 49
- (2002) Solid State Phenom. , vol.8284 , pp. 49
- Sueoko, K.¹ Akatsuka, M.² Yonemura, M.³ Ono, T.⁴ Asayama, E.⁵ Koike, Y.⁶ Sasamistu, S.⁷

4
- 36549090752
- M.L. Polignano G.F. Cerofolini H. Bender C. Claeys 1988 J. Appl. Phys. 64 869
- (1988) J. Appl. Phys. , vol.64 , pp. 869
- Polignano, M.L.¹ Cerofolini, G.F.² Bender, H.³ Claeys, C.⁴

5
- 36449003040
- M. Aoki T. Itakura N. Sasaki 1995 Appl. Phys. Lett. 66 2709
- (1995) Appl. Phys. Lett. , vol.66 , pp. 2709
- Aoki, M.¹ Itakura, T.² Sasaki, N.³

6
- 0001552583
- J.L. Benton P.A. Stolk D.J. Eaglesham D.C. Jacobson J.Y. Cheng J.M. Poate N.T. Ha T.E. Haynes S.M. Myers 1996 J. Appl. Phys. 80 3275
- (1996) J. Appl. Phys. , vol.80 , pp. 3275
- Benton, J.L.¹ Stolk, P.A.² Eaglesham, D.J.³ Jacobson, D.C.⁴ Cheng, J.Y.⁵ Poate, J.M.⁶ Ha, N.T.⁷ Haynes, T.E.⁸ Myers, S.M.⁹

7
- 0000537024
- Q. Sun K.H. Yao H.C. Gatos J. Lagowski 1992 J. Appl. Phys. 71 3760
- (1992) J. Appl. Phys. , vol.71 , pp. 3760
- Sun, Q.¹ Yao, K.H.² Gatos, H.C.³ Lagowski, J.⁴

8
- 0036640203
- X. Yu D. Yang X. Ma J. Yang D. Que 2002 J. Appl. Phys. 92 194
- (2002) J. Appl. Phys. , vol.92 , pp. 194
- Yu, X.¹ Yang, D.² Ma, X.³ Yang, J.⁴ Que, D.⁵

9
- 0037400042
- X. Yu D. Yang X. Ma H. Li Y. Shen D. Tian L. Li D. Que 2003 J. Cryst. Growth 250 359
- (2003) J. Cryst. Growth , vol.250 , pp. 359
- Yu, X.¹ Yang, D.² Ma, X.³ Li, H.⁴ Shen, Y.⁵ Tian, D.⁶ Li, L.⁷ Que, D.⁸

10
- 7544237922
- H. Li D. Yang X. Ma X. Yu D. Que 2004 J. Appl. Phys. 96 4161
- (2004) J. Appl. Phys. , vol.96 , pp. 4161
- Li, H.¹ Yang, D.² Ma, X.³ Yu, X.⁴ Que, D.⁵

11
- 33645903864
- J. Chen D. Yang H. Li X. Ma D. Que 2006 J. Appl. Phys. 99 073509
- (2006) J. Appl. Phys. , vol.99 , pp. 073509
- Chen, J.¹ Yang, D.² Li, H.³ Ma, X.⁴ Que, D.⁵

12
- 0002879794
- R. Flaster D. Gambaro M. Olmo M. Cornara H. Korb 1998 Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 510 27
- (1998) Mater. Res. Soc. Symp. Proc. , vol.510 , pp. 27
- Flaster, R.¹ Gambaro, D.² Olmo, M.³ Cornara, M.⁴ Korb, H.⁵

13
- 27744609121
- X. Ma L. Fu D. Tian D. Yang 2005 J. Appl. Phys. 98 084502
- (2005) J. Appl. Phys. , vol.98 , pp. 084502
- Ma, X.¹ Fu, L.² Tian, D.³ Yang, D.⁴

14
- 33847123548
- J. Chen D. Yang X. Ma H. Li D. Que 2007 J. Appl. Phys. 101 033526
- (2007) J. Appl. Phys. , vol.101 , pp. 033526
- Chen, J.¹ Yang, D.² Ma, X.³ Li, H.⁴ Que, D.⁵

15
- 0036724234
- D. Yang X. Yu X. Ma J. Xu L. Li D. Que 2002 J. Cryst. Growth 243 371
- (2002) J. Cryst. Growth , vol.243 , pp. 371
- Yang, D.¹ Yu, X.² Ma, X.³ Xu, J.⁴ Li, L.⁵ Que, D.⁶

16
- 0032206825
- V.V. Voronkov R. Falster 1998 J. Cryst. Growth 194 76
- (1998) J. Cryst. Growth , vol.194 , pp. 76
- Voronkov, V.V.¹ Falster, R.²

17
- 0010690043
- M. Pagani R.J. Falster G.R. Fisher G.C. Ferrero M. Olmo 1997 Appl. Phys. Lett. 70 1572
- (1997) Appl. Phys. Lett. , vol.70 , pp. 1572
- Pagani, M.¹ Falster, R.J.² Fisher, G.R.³ Ferrero, G.C.⁴ Olmo, M.⁵

18
- 21544446903
- A. Borghesi B. Pivac A. Sassella A. Stella 1995 J. Appl. Phys. 77 4169
- (1995) J. Appl. Phys. , vol.77 , pp. 4169
- Borghesi, A.¹ Pivac, B.² Sassella, A.³ Stella, A.⁴

19
- 0034336203
- R. Falster V.V. Voronkov F. Quast 2000 Phys. Status Solidi B 222 219
- (2000) Phys. Status Solidi B , vol.222 , pp. 219
- Falster, R.¹ Voronkov, V.V.² Quast, F.³

20
- 33847099865
- R. Flaster V.V. Voronkov 2000 Mater. Sci. Eng. B 73 87
- (2000) Mater. Sci. Eng. B , vol.73 , pp. 87
- Flaster, R.¹ Voronkov, V.V.²

21
- 0000961936
- S. McHugo E. Weber M. Mizuno F. Kirscht 1995 Appl. Phys. Lett. 66 2840
- (1995) Appl. Phys. Lett. , vol.66 , pp. 2840
- McHugo, S.¹ Weber, E.² Mizuno, M.³ Kirscht, F.⁴

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.