메뉴 건너뛰기




Volumn 104, Issue 9, 2008, Pages

Calculation of gas heating in a dc sputter magnetron

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC PHYSICS; ATOMS; GAS HEATING; HEATING; MAGNETRONS; SPUTTERING; THREE DIMENSIONAL;

EID: 56349172298     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2970166     Document Type: Article
Times cited : (32)

References (38)
  • 3
    • 33645062416 scopus 로고    scopus 로고
    • 0022-3727 10.1088/0022-3727/39/7/012.
    • S. D. Ekpe and S. K. Dew, J. Phys. D 0022-3727 10.1088/0022-3727/39/7/012 39, 1413 (2006).
    • (2006) J. Phys. D , vol.39 , pp. 1413
    • Ekpe, S.D.1    Dew, S.K.2
  • 4
    • 0018442927 scopus 로고
    • 0022-5355 10.1116/1.569903.
    • R. S. Robinson, J. Vac. Sci. Technol. 0022-5355 10.1116/1.569903 16, 185 (1979).
    • (1979) J. Vac. Sci. Technol. , vol.16 , pp. 185
    • Robinson, R.S.1
  • 5
    • 21844496176 scopus 로고
    • 0734-2101 10.1116/1.579537.
    • G. M. Turner, J. Vac. Sci. Technol. A 0734-2101 10.1116/1.579537 13, 2161 (1995).
    • (1995) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.13 , pp. 2161
    • Turner, G.M.1
  • 7
    • 0031374015 scopus 로고    scopus 로고
    • 0021-8979 10.1063/1.366497.
    • V. Serikov and K. Nanbu, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.366497 82, 5948 (1997).
    • (1997) J. Appl. Phys. , vol.82 , pp. 5948
    • Serikov, V.1    Nanbu, K.2
  • 12
    • 28844436444 scopus 로고    scopus 로고
    • 1063-651X 10.1103/PhysRevE.72.056402.
    • I. Kolev, A. Bogaerts, and R. Gijbels, Phys. Rev. E 1063-651X 10.1103/PhysRevE.72.056402 72, 056402 (2005).
    • (2005) Phys. Rev. e , vol.72 , pp. 056402
    • Kolev, I.1    Bogaerts, A.2    Gijbels, R.3
  • 13
    • 56349126638 scopus 로고    scopus 로고
    • Ph.D. thesis, University of Antwer
    • I. Kolev, Ph.D. thesis, University of Antwerp, 2007.
    • (2007)
    • Kolev, I.1
  • 23
    • 36849106990 scopus 로고
    • 0021-9606 10.1063/1.1679379.
    • M. Bour̀ne and J. Le Calve, J. Chem. Phys. 0021-9606 10.1063/1.1679379 58, 1452 (1973).
    • (1973) J. Chem. Phys. , vol.58 , pp. 1452
    • Bour̀ne, M.1    Le Calve, J.2
  • 24
    • 0001225792 scopus 로고    scopus 로고
    • 0021-8979 10.1063/1.361023.
    • A. Bogaerts, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.361023 79, 1279 (1996).
    • (1996) J. Appl. Phys. , vol.79 , pp. 1279
    • Bogaerts, A.1
  • 28
    • 0001718015 scopus 로고
    • 1050-2947 10.1103/PhysRevA.18.441.
    • H. A. Hyman, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.18.441 18, 441 (1978).
    • (1978) Phys. Rev. A , vol.18 , pp. 441
    • Hyman, H.A.1
  • 29
    • 0001029513 scopus 로고
    • 1050-2947 10.1103/PhysRevA.20.855.
    • H. A. Hyman, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.20.855 20, 855 (1979).
    • (1979) Phys. Rev. A , vol.20 , pp. 855
    • Hyman, H.A.1
  • 30
    • 50549221211 scopus 로고
    • 0031-9163
    • L. Vriens, Phys. Lett. 8, 260 (1964). 0031-9163
    • (1964) Phys. Lett. , vol.8 , pp. 260
    • Vriens, L.1
  • 31
    • 0000280809 scopus 로고
    • 1050-2947 10.1103/PhysRevA.38.2975.
    • A. V. Phelps and B. M. Jelenkovic, Phys. Rev. A 1050-2947 10.1103/PhysRevA.38.2975 38, 2975 (1988).
    • (1988) Phys. Rev. A , vol.38 , pp. 2975
    • Phelps, A.V.1    Jelenkovic, B.M.2


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.