-
1
-
-
0034251174
-
-
T. Minami: MRS Bull. 25 (2000) No. 8, 38.
-
(2000)
MRS Bull
, vol.25
, Issue.8
, pp. 38
-
-
Minami, T.1
-
2
-
-
0035335158
-
-
M. Chen, Z. L. Pei, X. Wang, C. Sun, and L. S. Wen: J. Vac. Sci. Technol. A 19 (2001) 963.
-
(2001)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.19
, pp. 963
-
-
Chen, M.1
Pei, Z.L.2
Wang, X.3
Sun, C.4
Wen, L.S.5
-
3
-
-
0141525086
-
-
B. Szyszka, V. Sittinger, X. Jiang, R. J. Hong, W. Werner, A. Pflug, M. Ruske, and A. Lopp: Thin Solid Films 442 (2003) 179.
-
(2003)
Thin Solid Films
, vol.442
, pp. 179
-
-
Szyszka, B.1
Sittinger, V.2
Jiang, X.3
Hong, R.J.4
Werner, W.5
Pflug, A.6
Ruske, M.7
Lopp, A.8
-
4
-
-
0035125787
-
-
J.-M. Lee, K.-M. Chang, K.-K. Kim, W.-K. Choi, and S.-J. Park: J. Electrochem. Soc. 148 (2001) G1.
-
(2001)
J. Electrochem. Soc
, vol.148
-
-
Lee, J.-M.1
Chang, K.-M.2
Kim, K.-K.3
Choi, W.-K.4
Park, S.-J.5
-
5
-
-
0141793154
-
-
H.-K. Kim, J.-W. Bae, T.-K. Kim, K.-K. Kim, T.-Y. Seong, and I. Adesida: J. Vac. Sci. Technol. B 21 (2003) 1273.
-
(2003)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.21
, pp. 1273
-
-
Kim, H.-K.1
Bae, J.-W.2
Kim, T.-K.3
Kim, K.-K.4
Seong, T.-Y.5
Adesida, I.6
-
6
-
-
0037279239
-
-
J. S. Park, H. J. Park, Y. B. Hahn, G.-C. Yi, and A. Yoshikawa; J. Vac. Sci. Technol. B 21 (2003) 800.
-
(2003)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.21
, pp. 800
-
-
Park, J.S.1
Park, H.J.2
Hahn, Y.B.3
Yi, G.-C.4
Yoshikawa, A.5
-
7
-
-
79956057219
-
-
K. Ip, K. H. Baik, M. E. Overberg, E. S. Lambers, Y. W. Heo, D. P. Norton, S. J. Pearton, F. Ren, and J. M. Zavada: Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 3546.
-
(2002)
Appl. Phys. Lett
, vol.81
, pp. 3546
-
-
Ip, K.1
Baik, K.H.2
Overberg, M.E.3
Lambers, E.S.4
Heo, Y.W.5
Norton, D.P.6
Pearton, S.J.7
Ren, F.8
Zavada, J.M.9
-
8
-
-
0038380688
-
-
J. W. Bae, C. H. Jeong, H. K. Kim, K. K. Kim, N. G. Cho, T. Y. Seong, S. J. Park, I. Adesida, and G. Y. Yeom: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) L535.
-
(2003)
Jpn. J. Appl. Phys
, vol.42
-
-
Bae, J.W.1
Jeong, C.H.2
Kim, H.K.3
Kim, K.K.4
Cho, N.G.5
Seong, T.Y.6
Park, S.J.7
Adesida, I.8
Yeom, G.Y.9
-
9
-
-
32044470383
-
-
W. T. Lim, I. K. Baek, J. W. Lee, E. S. Lee, M. H. Jeon, G. S. Cho, Y. W. Heo, K. P. Norton, and S. J. Pearton: Appl. Phys. Lett. 83 (2003) 15.
-
(2003)
Appl. Phys. Lett
, vol.83
, pp. 15
-
-
Lim, W.T.1
Baek, I.K.2
Lee, J.W.3
Lee, E.S.4
Jeon, M.H.5
Cho, G.S.6
Heo, Y.W.7
Norton, K.P.8
Pearton, S.J.9
-
10
-
-
1342281333
-
-
H.-K. Kim, J. W. Bae, K.-K. Kim, S.-J. Park. T.-Y. Seong, and I. Adesida: Thin Solid Films 447-448 (2004) 90.
-
(2004)
Thin Solid Films
, vol.447-448
, pp. 90
-
-
Kim, H.-K.1
Bae, J.W.2
Kim, K.-K.3
Park, S.-J.4
Seong, T.-Y.5
Adesida, I.6
-
11
-
-
31044455195
-
-
S. W. Na, M. H. Shin, Y. M. Chung, J. G. Han, and N.-E. Lee: J. Vac. Sci. Technol. A 23 (2005) 898.
-
(2005)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.23
, pp. 898
-
-
Na, S.W.1
Shin, M.H.2
Chung, Y.M.3
Han, J.G.4
Lee, N.-E.5
-
12
-
-
32044468271
-
-
S. W. Na, M. H. Shin, Y. M. Chung, J. G. Han, S. H. Jeung, J. H. Boo, and N.-E. Lee: Microelectron. Eng. 83 (2006) 328.
-
(2006)
Microelectron. Eng
, vol.83
, pp. 328
-
-
Na, S.W.1
Shin, M.H.2
Chung, Y.M.3
Han, J.G.4
Jeung, S.H.5
Boo, J.H.6
Lee, N.-E.7
-
13
-
-
33947151911
-
-
M. H. Shin, M. S. Park, S. H. Jung, J. H. Boo, and N.-E. Lee: Thin Solid Films 515 (2007) 4950.
-
(2007)
Thin Solid Films
, vol.515
, pp. 4950
-
-
Shin, M.H.1
Park, M.S.2
Jung, S.H.3
Boo, J.H.4
Lee, N.-E.5
-
14
-
-
3142626623
-
-
K. Ogata, T. Honden, T. Tanite, T. Kumuro, K. Koike, S. Sasa, M. Inoue, and M. Yano: J. Vac. Sci. Technol. A 22 (2004) 531.
-
(2004)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.22
, pp. 531
-
-
Ogata, K.1
Honden, T.2
Tanite, T.3
Kumuro, T.4
Koike, K.5
Sasa, S.6
Inoue, M.7
Yano, M.8
-
15
-
-
4344680665
-
-
S.-J. Pearton, D.-P. Norton, K. Ip, Y. W. Heo, and T. Steiner: Superlattices Microstruct. 34 (2003) 3.
-
(2003)
Superlattices Microstruct
, vol.34
, pp. 3
-
-
Pearton, S.-J.1
Norton, D.-P.2
Ip, K.3
Heo, Y.W.4
Steiner, T.5
-
16
-
-
29244446786
-
-
S. H. Kim, S. W. Na, N.-E. Lee, Y. W. Nam, and Y.-H. Kim: Surf. Coat. Technol. 200 (2005) 2072.
-
(2005)
Surf. Coat. Technol
, vol.200
, pp. 2072
-
-
Kim, S.H.1
Na, S.W.2
Lee, N.-E.3
Nam, Y.W.4
Kim, Y.-H.5
|